蔡司三坐標測量機即通常所說的cmm、三次元、三坐標測量儀，是一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統(如光柵尺)經數據處理器或計算機等計算出工件的各點(x，y，z)及各項功能測量。

蔡司三坐標測量機以三維測量為主，可以測量形狀復雜的機械零件的尺寸、形位公差和自由曲面等。Mars三坐標測量儀配備高精度的導軌、測頭和控制系統，并結合計算機程序來自動控制檢測流程，從而計算輸出測量結果，支持測頭更換架以及影像相機，同時支持精密轉臺等，能夠對各種零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測，也可以對軟材質或復雜零件進行光學掃描測量。

對于形狀復雜的機械零件，需要測量自由曲面的，cmm三次元測量儀更適合。