國內半導體產業的行業盛會將在上海如期舉行，華林科納將為您帶來超全面且領先的濕法解決方案，并攜泛半導體濕法裝備服務平臺亮相SEMICON China，與上下游企業進行一對一交流，為企業發展瓶頸找到“痛點”根源，并提出合理可行的解決方案。

展會信息

展會時間：6月29日-7月1日

展會地點：上海新國際博覽中心

華林科納展位：E4館 E4155

濕法解決方案

濕法清洗:

Wafer Clean / Glass Clean / Film Frame Clean / Wafer Edge Clean / Mask Clean / Post-CMP Clean...

濕法刻蝕：

Si Etch / SiGe Etch / GaAs Etch / Glass Etch / Al Etch / Cu Foil Etch / Inp Etch / TGV Etch...

高純流體解決方案

1.PFA接頭

入珠接頭：1/8"-1"

擴口接頭：1/4"-1"

焊接接頭：1/4"-1-1/2"

接頭類型：直通、彎頭、三通以及對應的外牙接頭和變徑型號等組合

2.PFA管

CSE-PFA-SA系列管件在高滲透、滲透性的化學溶液(鹽酸、氟、硝酸類化學溶液、氟類表面活性劑等) 和高溫過程中的滲透減少。

3.隔膜閥

·連接尺寸：1/2”、3/4”、1”

·高流量緊湊型設計

·優良的耐腐蝕性能

·工作周期經上萬次測試

4.PTFE風囊泵

·型號：CSE30、CSE60、CSE120

·專為半導體行業、電子行業而定制

·無金屬設計，安全無泄漏

·壽命長，可滿足200萬以上的形成周期使用

·過程安全的PTFE和PFA通道

·加入了減少脈動過高的裝置

·潔凈室裝配、測試、封裝

5.PFA加熱絲

·導體為進口品牌單股高強度鎳鉻合金絲

·護套采用PFA材質

·加熱絲壽命相比其他產品長約30%

6.在線加熱器

·根據客戶需求定制，應對各種復雜場景

·能耐所有強酸、強堿、強氧化劑

·低表面功率設計，確保產品使用壽命

·帶有華林科納自研的控制器，更加安全有效的工作

7.磁制液位計

·無機械可動部分，故無摩擦，無磨損

·變換器封閉在管內，和測量介質非接觸

·測量精度高，分辨率優于0.01% F.S.

·易于安裝，維護簡單

·便于系統自動化工作

8.PFA材質PTFE膜折疊濾芯

·超高流速

·更長的使用壽命（延長15%-20%）

·優異的溫度耐受性能

·優秀的化學兼容性

·全氟結構，最大限度地減少金屬析出物

·便捷的預濕選項，減少預操作時間

·全程在潔凈室環境中制造

·出廠前通過100%完整性測試

9.溫度傳感器（PT100）

·精準測量，精度達0.1℃或更高

·快速響應，具有超高敏感度

·可有效避免干擾，使測溫更加精準

·測溫范圍廣（-50℃-200℃）

·進口芯片，使用壽命更長

·歐式冷壓接線端子，穩定性是普通端子的2-3倍

·PFA材質包裹，進口原料，耐高溫，防腐蝕（含鹽酸）

·極低的金屬離子析出

10.PFA保護層電線

·導體采用優良鍍錫銅、鍍鎳銅

·外層絕緣采用PFA材質

·額定電壓、額定溫度可按需求定制

·外觀粗細均勻、柔軟

11.加工件

·多年加工經驗和研發能力

·具有成本效益的加工計劃

·原材料品質保證

·確保產品批量生產的一致性

·質量管控（來料檢驗、過程檢驗、成品檢驗）

泛半導體濕法裝備服務平臺

1.共享行業知識

技術資料庫、行業人才庫、典型案例庫等

其中包括濕法領域的招/中標信息、行業觀察、工藝資料、裝備資料、電子期刊等。未來還將繼續完善，實現知識資產化、知識場景化和知識智慧化，從而更有效得知識賦能。

2.服務新品開發

濕法實驗室、仿真流體分布和熱場分布、監理團隊

濕法工藝實驗室面積 1000 平米，購置實驗室平臺所必需的實驗和檢測設備及耗材，并配相應的工藝技術人員。

利用仿真技術可對未來可能發生的情況進行系統的、科學的、合理的推算，有效避免造成人力、物力的浪費。

監理團隊成員擁有多年半導體行業項目實施、監督、控制、檢查經驗，可對項目建設全過程或分階段進行專業化管理與服務，實現高質量監理，降本增效。

3.重構行業生態

華林科納成立流體國產化部門，進一步強化氟塑料流體領域的創新能力和產品研發能力，加快實現產業鏈協同設計和供應鏈聯合創新的能力。

4.交流行業知識

定期舉辦、形式多樣（線上、線下）、內容廣泛

形式：線上交流、講座會議、實操交流、產品展廳學習交流、“一對一”交流等

內容：半導體濕法工藝、行業現狀、濕法領域的技術挑戰、企業發展的困難與機遇、上下游合作需求等

截至目前，平臺已成功舉辦了多期交流會。

第六期交流會

2023年6月29日-7月1日，SEMICON China將在上海新國際博覽中心舉辦，是中國半導體行業的盛事之一，華林科納借此機會，舉辦第六期交流會。

為了強化交流會的針對性、互動性、專業性，本期交流會采取一對一交流的形式。

針對企業提出的問題，行業專家和資深從業者均結合企業的實際情況進行深度剖析，為企業發展瓶頸找到“痛點”根源，并提出合理可行的解決方案。

審核編輯 黃宇