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白光干涉儀測三維形貌怎么測

中圖儀器 ? 2023-07-21 11:03 ? 次閱讀

白光干涉儀測量的結果通常以二維形貌圖或三維形貌圖的形式展示。二維形貌圖是對干涉條紋進行圖像處理得到的,顯示出被測物體表面的高低起伏。而三維形貌圖則是在二維圖像的基礎上,進一步還原出物體表面的立體形貌。通過這些三維形貌圖可以直觀地展示出被測物體的形狀、幾何特征等信息

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工作方式

干涉儀主體通過分光裝置將白光分成不同的顏色,然后將分光后的光束分別照射到被測物體表面。被測物體會反射和透射出不同的光束,形成干涉光。然后相機會記錄下干涉光的圖像,同時將其轉換成數字信號。最后計算機會對圖像進行處理,將干涉光的特征轉化為被測物體的形貌數據,并提供精確的測量結果。

wKgZomS59RGATPQIAADet1mJi8w513.pngSuperViewW1白光干涉儀儀器架構

在用白光干涉儀測三維形貌時,要注意一些問題:

1、被測物體表面應當具有一定的光滑度,以確保干涉光的質量和穩定性。

2、被測物體的大小和形狀也會對測量結果產生影響,需要根據具體情況選擇適當的測量參數和方法。

3、在進行測量時,應注意避免或校正任何可能導致誤差的因素,以確保測量結果的準確性和可靠性。

4、通過合理調整儀器參數,進行準確測量,并進行適當的數據處理,可以獲取到物體表面的詳細形貌信息。

隨著科技的進步和應用需求的不斷增加,材料表面粗糙度、薄膜厚度、形狀檢測等測量要求越來越高,白光干涉儀以其測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣等優點在各個領域中的應用越來越廣泛。

例如在制造業中,白光干涉儀可以用于測量機械零件的形貌,以確保產品的質量和精度;在電子行業中,它可以用于檢測芯片表面的缺陷和變形;在醫療領域,白光干涉儀可以用于眼科手術中的角膜形狀測量等。為許多行業的形貌測量提供了重要的支持。

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