嘉興嘉善世博開元名都酒店成功舉行嘉山復旦研究院開園儀式。本次活動由加山縣人民政府和復旦大學共同主辦,嘉善復旦研究院承辦。復旦大學黨委書記裘新,復旦大學校長、中科院院士金力,復旦大學常務副校長許征,浙江省科技廳二級巡視員曹華芬,嘉興市委書記陳偉,嘉興市副市長倪滬平,嘉興市委常委、嘉善縣委書記江海洋,嘉善復旦研究院院長張衛等人參加的開院儀式、活動現場,近200人見證了佳善復旦研究院的正式開院。在開院儀式上,萬基企業(600641)旗下的嘉芯半導體設備科技有限公司(以下簡稱“嘉芯半導體”)與資產復旦研究院達成了戰略合作。嘉善復旦研究院副院長丁士進先生、嘉芯半導體設備科技有限公司董事長兼CEO周偉芳女士等領導參加戰略簽約儀式。
根據戰略合作協議的內容,雙方將在公平自愿,平等互利共贏的開放優勢互補”的原則,建立戰略合作伙伴關系,共同集成電路領域的科學研究、產業合作、人才交流等方面長期穩定的合作關系,充分發揮各自的資源優勢,共同發展戰略目標的實現。合作,圍繞重點科技合作、產業合作、人員交流三個方面的技術突破,創新平臺項目申報,科技成果轉化推廣、研發及服務資源開放共享、產-學-研深度融合等領域的全方位互利合作促進儲存及資產集成電路發展高品質“里”。
從整體實力看,戰略合作雙方在各自領域積累了長期經驗和技術,具有廣泛優勢集成和合作互補的基礎。作為本半導體芯片半導體核心裝備的新銳本土企業之一,2021年4月,半導體裝備上市公司與企業攜手,世界著名產業專家共同投資成立,總投資規模20億元,用地109無公司開發制造刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理等集成電路成熟工藝的關鍵設備,產品范圍包括芯片制造核心設備的多個重要品種。從2022年下半年開始,嘉芯半導體多次中標客戶特色工程生產線,包括氮化硅等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、深槽刻蝕機、側墻等離子刻蝕機;高密度等離子薄膜沉積設備(HDP-CVD)、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學沉積設備(SACVD)、鈦/氮化鈦沉積設備(MOCVD)、鋁銅金屬濺射設備(Metal Sputter(Al/Ti/TiN));快速熱處理(RTP)設備以及雙燃燒+雙水洗尾氣處理等各種設備。
嘉善復旦研究院是為響應和實行《長三角一體化發展規劃綱要》國家戰略而建設的重點實驗室。依托復旦大學集成電路產業鏈學科優勢,研究院致力于高能創新載體建設,科研攻關和成果轉化,地區產業升級,協同創新生態構建,數字化改革等。作為第一屆國家集成電路創新中心浙江分中心重點建設,研究院承擔起復旦大學人才資源,創新資源,產業資源與浙江地區特色經濟相銜接的“橋頭堡”,推進長江三角洲一體化協同創新產業體系建設。
在戰略合作象征著雙方深化合作、協同發展的路上新的里程碑作用充分發揮產業+學術研究輪子驅動功能,提高技術創新能力,實現雙向優勢賦予可以加快科研成果轉化,同時在線技術開發、人才培養、學校開拓市場等方面產生的強大協同效應為我國集成電路行業的發展注入了芯片的活力。
展望未來,芯片半導體集成電路領域的發展方向,繼續聚焦在嘉善復旦研究院和持續有深度的合作,開拓關鍵產業鏈條、關鍵技術、關鍵產品的能量水平持續提高,中國集成電路產業的快速發展不斷貢獻智慧和力量,為實現的。
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