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Zemax不同面型的歸一化半徑如何設置

LD18688690737 ? 來源:光電資訊 ? 2023-09-04 10:14 ? 次閱讀

Zemax中有一些表面定義的時候使用了歸一化半徑,而不是原本的位置坐標(即不使用 Z= f(x,y) 或 Z= f (r)的方式來定義)。

對于使用歸一化半徑的那些表面,大多數sag的表達式在系數表示方面用的是 Z= f(ρ) 。這里的可以是 ρ= x/Norm radius, 或ρ= y/Norm radius 或ρ= r/Normradius.歸一化半徑是沒有量綱的。默認的歸一化半徑值是100,下面介紹一下如果需要在已經定義好的表面基礎上更改歸一化半徑,在保證矢高不變的情況下系數該如何更改。

例如常見的擴展多項式面型的矢高定義如下所示:

21ff41a4-4a00-11ee-97a6-92fbcf53809c.png

假設當前表面中設置的歸一化半徑的值為 M ,那么根據參數14的說明,把多項式的前幾項為:

222d98ba-4a00-11ee-97a6-92fbcf53809c.png

即要將歸一化半徑從M變為1時,要保證不改變 Ze 對應系數的變更應該如下表所示:

歸一化半徑 系數1 系數2 系數3 系數4 系數5 系數6
M A1 A2 A3 A4 A5 A6
1 A1/M A2/M A3/M/M A4/M/M A5/M/M A5/M/M/M

對于Zernike Standard Sag 表面,是由與偶次非球面(支持平面、球面、圓錐面和多項式非球面)相同的多項式加上附加 Zernike Standard 系數定義的附加非球面項組成,面矢高的形式為:

225c4836-4a00-11ee-97a6-92fbcf53809c.png

可以看到附加項矢高是通過 Z=f(ρ,φ)(“Zernike Standard 系數”)來描述的,其中的ρ是歸一化徑向坐標,假設設置的歸一化半徑是N,那么(r,θ)處的歸一化坐標ρ = r/N, 其中r = srqt(x*x+y*y),對應的Zernike Standard 多項式的系數如下圖所示:

227750ae-4a00-11ee-97a6-92fbcf53809c.png

與上面討論的擴展多項式類似,上面的附加項展開是Z= A1*Term1 + A2*Term2+A3*Term3+ A4*Term4+…,但如果按照上面的思路來進行系數的換算的話,觀察Z4項/Z11就會發現,對于包含了有常數項的Zernike項,還要復原參數帶來的常數項影響。

例如對Zernike Standard Sag 更改Norm radius如果通過更改系數來維持表面矢高不變,為簡單起見僅使用Zernike項到第5項,假設一個表面初始的歸一化半徑設定為10,現在要更改到100,原Zernike項的系數A1=A2=A3=A4=A5=1根據上面擴展多項式的例子,可以知道Z2~Z5系數的對應關系如下:

歸一化半徑 A2 A3 A4 A5
10 1 1 1 1
100 10 10 100 100

由于Z4是有常數項的,系數縮放后常數項(也被縮放)與原來的值不同,我們可通過更改Z1的系數A1把這個影響消除掉。原來式子中的常數項為 1-sqrt(3),現在式子中的常數項為 A1*1 - 100*sqrt(3)。

上下兩式相等計算得到新的A1=1-sqrt(3) +100*sqrt(3)=172.473。

如下圖所示在軟件中設置相應的參數來驗證:

1、新建空白文件,將表面1設置為Zernike Standard Sag 表面,設置表面1的半直徑為100, 參數13 最大項數# = 5

2、添加兩個多重結構,輸入上表不同歸一化半徑的系數,其中結構1代表歸一化半徑 = 10,結構2代表歸一化半徑 = 100。

228a3ebc-4a00-11ee-97a6-92fbcf53809c.png

對于更改歸一化半徑之后的Z1的系數,可以通過軟件來計算,在評價函數中添加如下操作數,利用SSAG實現在兩種不同的結構中計算同一個位置的矢高值,優化目標是讓兩種設置中的sag值一樣(通過第5行DIFF實現,注意第5行設置了權重)

22c39c52-4a00-11ee-97a6-92fbcf53809c.png

在Multi configurationeditor將結構2中的參數A1設置為變量,優化后軟件計算得到正是上面分析的理論值。

通過以上的方法,可在需要將已經設計好的表面重新調整Norm 但不想面型改變時,來指導系數的修改。但實際上Norm Radius不改變通光孔徑,只是一種定義面型的方法。

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審核編輯:湯梓紅

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原文標題:Zemax不同面型的歸一化半徑如何設置

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