9月1日,荷蘭最新芯片出口管制措施正式生效,但***巨頭ASML卻表示,年底前仍能向中國(guó)客戶交付部分先進(jìn)芯片制造裝備。
據(jù)路透社報(bào)道,ASML已經(jīng)獲得了荷蘭官方的允許,將在今年年底前向中國(guó)客戶出口其部分先進(jìn)工具。
按照ASML的說(shuō)法,在2023年的剩余時(shí)間里,該公司將能繼續(xù)向中國(guó)出貨其N(xiāo)XT:2000i和更先進(jìn)的DUV型號(hào)的產(chǎn)品(這些產(chǎn)品原本從9月1日起就要受到限制了)。
不過(guò),至于2024年是否可以繼續(xù),ASML則表示暫時(shí)不能確定。
根據(jù)ASML官網(wǎng)信息顯示,該公司目前在售的主流浸沒(méi)式DUV***產(chǎn)品共有三款,分別是TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。
其中,關(guān)于TWINSCAN NXT:1980Di,其官網(wǎng)介紹中寫(xiě)道“在分辨率方面大于等于38nm(可以支持到7nm左右)”,而這是指一次曝光的分辨率,事實(shí)上***是可以進(jìn)行多次曝光的。
▲圖片來(lái)源:ASML官網(wǎng)
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原文標(biāo)題:ASML:7nm高端DUV光刻機(jī)仍可向中國(guó)出口!
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