三坐標測量儀三次元測量機是由X軸、Y軸、Z軸組成的三個導軌，具有測量功能。目前主要運用于機械、電子、模具、汽車、航空航天、零部件等工業領域中，可以對零部、部件進行尺寸、形狀公差、位置公差、同心度、平行度等方面的測量。當今主要使用的三坐標測量機分為四類，即橋式測量機、龍門式測量機、水平臂測量機以及便捷式測量機。

三坐標測量儀三次元測量機主要通過探針系統與工件的相對移動，探測出工件表面的點。主要是通過接觸式測量系統和非接觸式測量系統獲得被測工件的空間數據，再傳輸到計算機系統進行自動化檢測，從而獲得想要測量的幾何數據。

在測量過程中的關鍵在于配備的軟件系統，目前蔡司代理三本精密儀器的三坐標測量儀在市場上是很受歡迎的。由于它秉承了全球行業內標桿計量軟件的核心技術，實現了全自動化檢測，操作簡單，憑借測量數據精度高、應用范圍廣以及強大的數據分析功能和數據輸出功能（可圖形化、表格化、CAD建模）等方面被譽為“三坐標測量中心”。