近兩年,美國政府針對中國電子半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,出臺了一系列的限制打壓政策,對于這些不斷升級的舉措,中國產(chǎn)業(yè)界,以及政府相關部門也在持續(xù)研究,想辦法應對,且開始逐步適應這種非正常狀態(tài)。
面對美國的限制政策,中國半導體產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)都在探尋解決方法,以便使相關芯片產(chǎn)線,以及下游的電子設備系統(tǒng)“有米下鍋”。其中,最為重要的兩個環(huán)節(jié)是芯片設計和半導體設備,只要能在這兩方面快速提升,就可以很好地緩解美國禁售政策所形成的壓力。
但就我們關注的半導體設備領域,本土半導體設備廠商在涂膠顯影、刻蝕、離子注入、薄膜沉積、CMP(化學機械拋光)、清洗等關鍵設備方面加大、加強、加快研發(fā)投入,并取得了明顯成績,為本土晶圓廠解決燃眉之急提供著助力。從今年的SEMICON CHINA的展會中也可窺到端倪,國產(chǎn)設備廠商如雨后春筍般蓬勃發(fā)展。
半導體晶圓制造工藝流程包括晶圓加工-氧化-光刻-刻蝕-薄膜沉積-互連-測試-封裝,那么這些流程需要各類清洗設備、勻膠顯影設備、***、刻蝕設備、薄膜沉積設備、劃片機、測試機等等,這些流程不斷重復加工,直到最終完成成品,在這個重復的過程中各個工藝流程各個設備之間對晶圓片運輸?shù)母咝屎蜐崈舫潭扔蟹浅8叩囊?,直接影響成品的品質(zhì)。
工欲善其事,必先利其器。翼菲科技全系列Lobster晶圓搬運機器人,可助力半導體和泛半導體相關行業(yè)的工藝設備廠商,快速形成產(chǎn)能、降低成本和提升效率,賦予您強大的競爭力。
l高中低檔次配置,靈活的搭配組合
翼菲Lobster晶圓搬運機器人,采用平臺化設計開發(fā),滿足潔凈度ISO Class 1 @0.1um。按驅(qū)動方式可分為具有直驅(qū)電機版本(高精度/高動態(tài)響應/主動防撞)、伺服電機版本(行業(yè)標準版本)和步進電機版本(高性價比之選),從而滿足涵蓋前道和后道的多種工藝單元的應用需求。
同時,所有機器人的手臂和基座可以互換,面對某些工藝修改和增容的要求,可單獨訂購手臂和基座,快速完成適配。
l豐富的配置
手臂支持單臂、雙臂的配置,同時我們也可以提供樣式豐富的末端執(zhí)行器,包括真空吸附式、邊框夾持式、邊緣夾持式、翻轉(zhuǎn)式、疊層式和伯努利吸盤式等。
機器人可選裝多種Mapping傳感器和橫移軸,形成不同的組合形式
l極致節(jié)省空間
機器人有220框和260框兩種省空間的基座配置,并且支持控制箱內(nèi)置的版本。
l支持客制化定制
支持客制化定制和改造,以滿足客戶的個性化需求。
從目前的情況來看,半導體制裁的整體狀況還不樂觀,有些措施和辦法只是權宜之計,“三板斧”過后,要想實現(xiàn)更大程度的“芯片自由”,還有很長的路要走,需要付出更多的心血,且要耐得住寂寞,肯坐冷板凳,潛心研究。翼菲科技也將和行業(yè)內(nèi)的客戶和合作伙伴一起,精誠團結(jié),砥礪前行,形成更強的合力,為祖國獨立自主的半導體事業(yè)開創(chuàng)貢獻力量。
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原文標題:翼菲晶圓搬運機器人勇立潮頭—助力半導體晶圓智造
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