長鑫存儲“半導體設備生產效率的評估方法及裝置”專利獲授權
長鑫存儲技術有限公司申請了“半導體設備生產效率的評估方法及裝置”的專利。申請公告日為9月8日，申請公告號為cn113673812b。
根據專利摘要，本申請提供如下評價半導體設備生產效率的方法及裝置：評價半導體設備生產效率的方法是：提供1個半導體設備，半導體設備至少包括1個制造單元。半導體設備獲得按順序生產多個晶圓的生產參數，并根據生產參數決定連續批次生產結束時間之間的時間間隔。每片配置的每片晶圓獲得進入每片生產單位的時間，每片配置的所有晶片決定每片生產單位的時間。為了測定半導體設備的生產效率，測定存在時間和存在時間之間的比率。
即，迅速找出瓶頸單元，并將限制設備生產效率的單元和其他單元能夠提高的范圍一眼就能反映出來。
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