SELA是通過刻痕和斷裂的雙重過程制備樣品,獲得高質量截面。標準的制備過程包括以下兩個主要階段:
? 通過一個兩級精密微裂解的設備,來制備已經預設定寬度并已做好裂解位置標記點的晶片段;
? 通過精密的納米裂解設備,來制備已經做好裂解位置標記點的截面樣品。
季豐電子可以精準、快速地獲得樣品截面,并在一分鐘內完成單個樣品的裂解(包括切割目標的兩側),并確保樣品擁有微米級的精度和極高的截面質量。配備軟件和算法,可實現在半自動裂解過程中精確地完成定點裂片。
設備規格指標
硅晶片:任何標準的晶片材料,單芯片。
硅片類型:<100>
截面精度:±5 微米,1西格瑪(單工藝和SDO工藝)
附加材料:砷化鎵、磷化銦、或者其他具有正交晶體矢量的單晶結構。
晶片樣品厚度:80~1000um
審核編輯:劉清
-
硅晶片
+關注
關注
0文章
74瀏覽量
15192 -
SDO
+關注
關注
0文章
5瀏覽量
5739 -
季豐電子
+關注
關注
2文章
69瀏覽量
1735
原文標題:季豐電子新引入精密芯片裂片設備SELA—MC10
文章出處:【微信號:zzz9970814,微信公眾號:上海季豐電子】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。
發布評論請先 登錄
相關推薦
評論