為了保障鈣鈦礦太陽能電池的性能與質量，電池廠商往往都會關注其沉積薄膜的各種參數信息，從而采取有效的方式進行薄膜優化，提升鈣鈦礦太陽能電池的性能。「美能光伏」擁有的美能探針式臺階儀，憑借其出色和強大的數據處理功能，并使用不同位置的多點自動測量確認ITO薄膜等各種類型薄膜的高度、薄膜應力等一系列參數信息，通過這些參數信息的反饋，更好的幫助電池廠商進行太陽能電池性能的提升！本期「美能光伏」將給您介紹美能探針式臺階儀出色和強大的數據處理功能！

美能探針式臺階儀

美能探針式臺階儀是一款先進的微納測量儀器，采用了出色的儀器系統構造和最優化的測量及數據處理軟件，從而實現可靠、高效、簡易以及完善的樣品測量。相對于傳統表面形貌測量，美能探針式臺階儀采用的接觸式表面形貌測量是一個突破性的發展，其接觸力最小可達1mg，且對襯底材料沒有什么特別的要求，具有充分的采樣靈活性。

● 配備500W像素高分辨率彩色攝像機

● 臺階高度重復性1nm

● 超高直線度導軌、反應樣品微小形貌

● 亞埃級分辨率、13μm量程下可達0.01埃

● 高低噪比與低線性誤差

薄膜粗糙度、波紋度

高效測量

在測量鈣鈦礦太陽能電池的沉積薄膜方面，美能探針式臺階儀可通過2D/3D紋理，量化薄膜的粗糙度以及波紋度，并運用出色的數據處理軟件中的軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分，從而計算出諸如均方根（RMS）粗糙度等20余項粗糙度參數。

薄膜粗糙度示意圖

與傳統的薄膜測量方式不同，美能探針式臺階儀可測量薄膜表面的2D/3D形狀或翹曲，包括對晶圓翹曲的測量。通過對這些角度的針對性測量，生成實時數據于電腦軟件，清晰客觀的給予電池廠商準確的測量結果。

薄膜應力

針對樣品精密計算

由于在產業化生產過程中，太陽能電池的薄膜沉積工藝經常會出現薄膜應力，薄膜應力是指沿截面厚度均勻分布的應力成分，它等于沿所考慮截面厚度的應力平均值，薄膜應力會對薄膜的機械性能產生較大的影響，嚴重時還會使薄膜發生變形，大大影響到了測量效率與測量結果。

薄膜沉積的形狀變化示意圖

為了對薄膜應力的具體情況進行深度剖析，「美能光伏」憑借自身豐富的檢測經驗，生產了具有全新探針式表面輪廓測量技術的美能探針式臺階儀，該設備能夠測量在產業化生產中包括多個工藝層的薄膜沉積后的鈣鈦礦太陽能電池的薄膜應力，并使用應力卡盤樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。然后通過應用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應力。

「美能光伏」憑借在光伏檢測行業獨特的檢測技術與高效的品質服務，贏得了廣大光伏企業的盛贊！在鈣鈦礦太陽能電池的薄膜沉積生產工藝方面，「美能光伏」生產了可在產業化生產中檢測薄膜性能，獲取各種薄膜參數信息的美能探針式臺階儀。未來，「美能光伏」還將繼續為光伏企業生產高品質的檢測設備，助力“碳中和”的宏偉方針早日達成！