激光干涉儀檢測機床的方法（以線性檢測為例）

1.進行線性測量的一般步驟
（1）安裝設置激光干涉儀
（2）將激光束與被測量的軸校準
（3）啟動測量軟件，并輸入相關參數（如材料膨脹系數）。
（4）在機床上輸入測量程序，啟動干涉儀測量，并記錄數據。
（5）用測量軟件分析測量數據，生產補償文件。

2.光束快速準直步驟
（1）沿著運動軸將反射鏡與干涉鏡分開。
（2）移動機床工作臺，當光束離開光靶外圓時停止移動，
垂直光束調整
（3）使用激光頭后方的指形輪使兩道光束回到相同的高度。
（4）使用三腳架中心主軸上的高度調整輪使激光頭上下旋轉，直到兩道光束都擊中光靶中心。
水平光束調整
（5）用三腳架左后方的小旋鈕，調整激光頭的角度偏轉，使兩道光束彼此重疊。
（6）用三腳架左邊中間的大旋鈕，調整激光頭的水平位置，使兩道光束擊中光靶的中心。
（7）沿著運動軸重新開始移動機床工作臺。在看到光束移開光靶時再次停止。重復步驟3到6，直到完成整個軸向的光鏡準直。
（8）達到軸的末端時，將機床移回，使反光鏡及線性反射鏡互相靠近。注：若其中一道光束離開光閘的光靶，是由于反光鏡側向偏移所造成。上下左右移動反光鏡，使從反光鏡返回的光束與干涉鏡的光束在光閘的光靶上互相重疊。
重復步驟1到8，直到兩道光束在整個運動軸長度范圍內都保持在光靶的中心。
（9）保持光束和測量軸準直。將光閘旋轉到其測量位置。當反光鏡沿著機床的整個運動長度移動時，檢查線性數據采集軟件中顯示的信號強度。

3.測量誤差的產生及消除方法
在使用激光干涉儀對數控機床的位置精度檢測中，導致測量精度偏差的因素很多，必須采取措施分析消除。外界環境的變化將會對測量數據的準確性參數影響，如空氣溫度變化1 ℃、空氣壓力變化0.3 kpa、相對濕度變化30%。尤其是振動對測量準確性的影響，振動產生的影響主要表現在測量數據的分散，重復測量精度差，甚至導致無法測量。

因此，應保證外界環境的穩定性，*好在恒溫環境中測量。在外界環境偏離測量要求的標準條件時，可使用相關的補償參數加以修正，測量軟件可自動對溫度、壓力、濕度等條件進行補償。盡量減少熱源（照明燈、機床工作燈）。盡可能的減少外界的各種振動，可以在下班后比較安靜的環境下測量。干涉儀的安裝位置盡量靠近機床，并用較短的加長桿固定光學元件。磁力表座應直接吸在機床床身或刀架等表面，避免吸裝在機床護罩或護蓋較薄弱的部分，確保吸裝的表面平坦且沒有油漬及塵土。

中圖sj6000激光干涉儀技術參數

本產品的加工定制是否，類型是激光干涉儀，品牌是中圖，型號是sj6000，品種是激光干涉儀，測量范圍是40m，測量分辨率是1nm，*近工作距離是1（mm），用途是檢測和校準機床三坐標機等。如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。