在電池生產過程中，熱擴散工藝經常會影響TOPCon太陽能電池性能中的眾多因素，從而導致電池性能發生變化。為了科學評估熱擴散工藝對TOPCon太陽能電池性能的影響程度，了解其擴散后的方阻/電阻率是否符合產業化標準，就必須通過精密的檢測儀器來進行科學檢測。「美能光伏」生產了美能在線四探針電阻測試儀，該設備可實現與產線自動化完美銜接，并在對電池的檢測過程中實現科學測量并保障零碎片率，從而助力電池廠商生產高質量的TOPCon太陽能電池！

熱擴散及其對TOPCon性能因素的影響

熱擴散工藝是TOPCon太陽能電池制備過程中的一個重要步驟，它主要用于在硅片表面形成摻雜區域，從而實現P-N結的形成和載流子選擇性收集。熱擴散工藝主要有兩種類型：替位式擴散和間隙式擴散。替位式擴散是指雜質原子取代硅原子的位置，形成摻雜區域；間隙式擴散是指雜質原子填充硅晶格中的空隙，形成摻雜區域。

在對TOPCon太陽能電池進行熱擴散工藝后，電池廠商通常會使用檢測設備對TOPCon太陽能電池進行科學檢測，以了解其熱擴散后電池的電阻率/方阻等性能參數。為此，「美能光伏」生產了美能在線四探針電阻測試儀。該設備可完美銜接于產業化生產工序當中，并可保證在使用全自動5點、9點掃描測量的同時實現零碎片率，使電池廠商后續的生產不受影響，從而實現真正的無損檢測！

對TOPCon界面鈍化效果的影響

熱擴散工藝會影響硅片表面的界面態密度，從而影響界面鈍化效果。界面態密度越低，界面鈍化效果越好，載流子復合越少，開路電壓就越高。一般來說，替位式擴散比間隙式擴散更有利于降低界面態密度，因為替位式擴散會減少晶格畸變和空位缺陷。因此，在TOPCon太陽能電池中，采用替位式擴散工藝可以獲得更好的界面鈍化效果。

對TOPCon載流子選擇性收集的影響

熱擴散工藝會影響硅片表面的載流子選擇性收集能力，從而影響填充因子和短路電流。載流子選擇性收集能力越強，填充因子和短路電流就會越高。在熱擴散工藝中，電池廠商通常會用間隙式擴散來進行制備，因為間隙式擴散比替位式擴散更容易實現工藝穩定性和可控性。間隙式擴散的反應速率和摻雜濃度與溫度的關系更為簡單和線性。因此，在TOPCon太陽能電池中，采用間隙式擴散工藝可以獲得更高的工藝穩定性和可控性。

對TOPCon工藝穩定性和可控性的影響

熱擴散工藝會受到溫度、時間、壓力、氣氛等多種因素的影響，從而影響工藝穩定性和可控性。工藝穩定性和可控性越高，電池性能就越均勻額可靠。運用兩種擴散類型進行熱擴散工藝時，需要了解的是，間隙式擴散比替位式擴散更容易實現工藝穩定性和可控性，因為間隙式擴散的反應速率和摻雜濃度與溫度的關系更為簡單和線性。

美能在線四探針電阻測試儀

FPP230 Auto是專為光伏工藝監控設計的在線四探針方阻儀，可以對樣品進行快速、自動的掃描，獲得樣品不同位置的方阻分布信息，可根據客戶樣品大小定制測量尺寸。

● 測量范圍滿足1μΩ~100MΩ的薄層電阻

●能夠匹配自動化設備，并可隨時溯源

●與產線自動化生產工序完美銜接

● 提供良好的電接觸同時保證零碎片

●測量點數可根據客戶需求定制

美能在線四探針測量演示視頻

熱擴散工藝在TOPCon太陽能電池的生產中具有顯著的應用價值，它能有效的提升TOPCon太陽能電池的性能。然而如若要進一步了解其性能參數，就必須通過科學、高效的檢測設備進行檢測。「美能光伏」生產的美能在線四探針電阻測試儀，可通過與產線的完美銜接，幫助TOPCon太陽能電池在大規模生產中大大減少檢測時間，提高產線生產速率！

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「美能光伏」涵蓋太陽能光伏的整個產業鏈：從機理研究到組件以及發電廠的質量保證。我們的研發范圍旨在與行業合作，促進在市場上推出新的創新產品。我們的目標是降低制造成本并支持中國光伏產業參與國際競爭。公司研發出美能HJT微晶晶化率測試儀、美能量子效率測試儀、美能三次元影像測試儀、美能3D顯微鏡、美能TLM接觸電阻率測試儀、美能接觸式四探針方阻儀、美能在線接觸式四探針檢測儀等一系列先進光伏電池片檢測設備。同時針對光伏組件IEC61215、IEC61730測試標準以及BIPV光伏建筑一體化提供專業的光伏組件綜合測試解決方案。目前公司代理多家國際知名檢測分析儀器品牌如Horiba、Sinton等。公司擁有18名行業應用專家，以及超過30名資深研發工程師，能為廣大客戶提供光伏測試整體解決方案。