鎢絲掃描電子顯微鏡的總發(fā)射電流和光斑大,抗干擾能力和穩(wěn)定性好。可在低真空下不充電對非導電樣品進行成像,并可用于形貌觀察、微觀結(jié)構(gòu)分析,以及斷口形貌分析。分析,在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域有著廣泛的用途。
工作原理:
通過向電子槍中的鎢絲施加高電壓,使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài)。在陽極的作用下,熱激發(fā)電子槍可以激發(fā)電子束。電子束在掃描線圈的磁場控制下,在樣品表面逐點掃描,激發(fā)出二次電子和背散射電子等物理信號,被探測器收集,經(jīng)放大器放大,對圖像進行調(diào)制。。鎢絲掃描電鏡適用于大量的常規(guī)檢查。
鎢絲掃描電子顯微鏡使用時的一些注意事項:
(1) 新長絲的表面可以吸收一定量的空氣和水蒸氣。當安裝在電子顯微鏡燈管中時,會慢慢從燈絲表面釋放出來,影響燈管的真空度,腐蝕燈絲。因此,新長絲在更換前必須進行“除濕脫氣”。可將其置于45°C的電熱箱中加熱數(shù)小時,然后放入透射電子顯微鏡抽膜腔中預排氣數(shù)小時,以除去新燈絲上吸附的灰塵。殘余空氣和水蒸氣
(2) 如果干燥后的樣品暫時不用,可以存放在干燥器或真空中。樣品貼附臺后,最好將其放入透射電子顯微鏡膜提取腔中,預抽真空數(shù)小時后再放入電子顯微鏡中觀察。
(3)降低飽和點以滿足要求。掃描電子顯微鏡的鎢絲有兩個飽和點:第二飽和點用于高分辨率觀測和攝影。如果對圖像要求不高或者做EDS的話,可以在第一個飽和點下功夫,這樣可以延長燈絲的壽命。
(4)抽高真空后等待幾分鐘,使真空度更高。。在放氣前等幾分鐘,讓燈絲冷卻下來,然后再放氣,以避免燈絲因接觸大氣而過熱而氧化。
(5) 加速電壓不宜過高,滿足要求即可。如果能用低電壓,就不要用高電壓。。當放大倍數(shù)不超過10,000倍時,15-20 Kv通常就足夠了。同時,工作電壓和工作距離應保持相對穩(wěn)定。如無特殊需要,不要頻繁改變電壓和工作距離。電子顯微鏡工作參數(shù)的頻繁變化不利于電子顯微鏡的穩(wěn)定運行。
(6)盡可能少地頻繁開關(guān)燈絲。次數(shù)過多會對燈絲不利。。它不僅大大降低了維護成本,而且保證了電子顯微鏡的高效穩(wěn)定運行。
審核編輯 黃宇
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掃描電鏡
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