在現(xiàn)代電子設(shè)備的制造過(guò)程中，電磁干擾（EMI）成為了一個(gè)不可忽視的問(wèn)題。特別是在集成電路的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)過(guò)程中，隨著電子設(shè)備的普及和發(fā)展，電磁干擾（EMI）對(duì)芯片性能的影響變得越來(lái)越重要，而芯片上的EMI表面掃描則變得尤為重要。本文將向您介紹我們公司所推出的OI-EASU321型EMI掃描儀，為了確保芯片的穩(wěn)定性和可靠性，我們推薦使用OI-EASU321型EMI掃描儀，結(jié)合IEC61967-3標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)行芯片EMI表面掃描以及它在芯片EMI表面掃描方面等實(shí)際場(chǎng)景的應(yīng)用。

主要設(shè)備

OI-EASU321型EMI掃描儀和軟件：該掃描儀是一款高效、精確的設(shè)備，專(zhuān)門(mén)用于測(cè)量和分析芯片的電磁輻射。配備先進(jìn)的EMI掃描軟件，可以提供全面的數(shù)據(jù)分析和報(bào)告生成功能。

FSV3044信號(hào)分析儀：作為EMI掃描儀的配套設(shè)備之一，F(xiàn)SV3044信號(hào)分析儀能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)和記錄芯片發(fā)出的電磁波形，為后續(xù)的數(shù)據(jù)處理和分析提供支持。

ICE40ICH40近場(chǎng)探頭組：這款近場(chǎng)探頭組是EMI表面掃描的關(guān)鍵工具。它能夠準(zhǔn)確地接收芯片發(fā)出的電磁輻射信號(hào)，并將其傳輸?shù)綊呙鑳x進(jìn)行處理。探頭組的設(shè)計(jì)使其適用于各種尺寸和類(lèi)型的芯片。

IEC61967-3標(biāo)準(zhǔn)IEC61967-3是國(guó)際電工委員會(huì)（IEC）制定的用于測(cè)量和評(píng)估設(shè)備輻射性能的標(biāo)準(zhǔn)之一。該標(biāo)準(zhǔn)提供了一套全面的測(cè)試方法和要求，確保芯片在實(shí)際使用中不會(huì)對(duì)其他設(shè)備產(chǎn)生不必要的電磁干擾。使用OI-EASU321型EMI掃描儀結(jié)合IEC61967-3標(biāo)準(zhǔn)，可以更好地評(píng)估芯片的性能和符合度。

IEC61967-3測(cè)試方法（輻射發(fā)射的測(cè)量-表面掃描法）

測(cè)試條件基礎(chǔ)條件：試驗(yàn)條件應(yīng)符合IEC 61967-1的要求。此外，還應(yīng)適用以下試驗(yàn)條件。電源電壓：電源電壓應(yīng)遵循IC制造商的規(guī)范。如果用戶(hù)使用其他電壓，應(yīng)在測(cè)試報(bào)告中記錄。頻率范圍：這個(gè)輻射發(fā)射測(cè)量程序的有效頻率范圍是150khz到6ghz。如果單個(gè)探頭無(wú)法覆蓋整個(gè)頻率范圍，則可以將頻率范圍劃分為子范圍，以允許使用多個(gè)探頭，每個(gè)探頭適合單獨(dú)的頻率子范圍。

測(cè)試設(shè)備

基礎(chǔ)條件：試驗(yàn)設(shè)備應(yīng)符合IEC 61967-1的要求。此外，應(yīng)適用以下測(cè)試設(shè)備要求。

屏蔽：探頭與測(cè)量設(shè)備之間的互連建議使用雙屏蔽或半剛性同軸電纜。根據(jù)當(dāng)?shù)氐沫h(huán)境條件，也可能需要在屏蔽室內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。

RF測(cè)量?jī)x：用于該測(cè)試方法的RF測(cè)量?jī)x器取決于所選探頭的類(lèi)型以及是否要獲取相位或時(shí)間信息。在使用電場(chǎng)或磁場(chǎng)探頭并僅測(cè)量發(fā)射幅值的情況下，使用單輸入設(shè)備，如頻譜分析儀、EMI接收機(jī)或示波器應(yīng)使用。對(duì)于時(shí)域測(cè)量，可以使用示波器。在利用電場(chǎng)或磁場(chǎng)探頭測(cè)量發(fā)射幅值和相位的情況下，一個(gè)雙輸入設(shè)備，如矢量信號(hào)測(cè)量?jī)x器應(yīng)使用。NOTE用矢量信號(hào)測(cè)量?jī)x測(cè)量相位和幅度時(shí)，需要使用參考輸入(R)和另一個(gè)輸入(a或B)。s參數(shù)端口一般不能用于此測(cè)量。應(yīng)調(diào)整頻譜分析儀或接收機(jī)的分辨率帶寬，以確保有足夠的噪聲裕度(大于6dB)，同時(shí)允許足夠的掃描時(shí)間，這取決于所選擇的測(cè)試程序。視頻帶寬不應(yīng)小于分辨率帶寬的三倍。分辨率帶寬和視頻帶寬應(yīng)在測(cè)試報(bào)告中描述。

前置放大器：低噪聲高增益前置放大器可用于提高靈敏度或滿(mǎn)足測(cè)試環(huán)境要求（下文環(huán)境條件有詳細(xì)說(shuō)明）。為了使測(cè)量噪聲最低，前置放大器應(yīng)以盡可能短的電纜連接到探頭。其特性(如增益、噪聲系數(shù)等)應(yīng)包括在測(cè)試報(bào)告中。近場(chǎng)探測(cè)器的回波損耗通常很低。如果探頭沒(méi)有很好的阻抗匹配，系統(tǒng)的噪聲系數(shù)和增益將被修改。為了避免不必要的影響，如振蕩或前置放大器損壞，在選擇前置放大器時(shí)要特別注意其在近場(chǎng)掃描設(shè)置環(huán)境中的穩(wěn)定性。

電纜：探針的掃描運(yùn)動(dòng)需要在設(shè)置的某些元素之間使用柔性電纜。除了保持其高頻性能外，還應(yīng)注意選擇耐久的探頭掃描運(yùn)動(dòng)電纜。電纜損耗作為頻率的函數(shù)應(yīng)包括在測(cè)試報(bào)告中。由于電纜的反復(fù)運(yùn)動(dòng)，會(huì)加速其劣化，應(yīng)定期對(duì)電纜進(jìn)行校準(zhǔn)。當(dāng)測(cè)試頻率高于1ghz或需要進(jìn)行相位測(cè)量時(shí)，每次測(cè)試前應(yīng)對(duì)電纜進(jìn)行校準(zhǔn)。

近場(chǎng)探頭

基本條件：用于表面掃描的近場(chǎng)探頭可以根據(jù)用戶(hù)的偏好、要測(cè)量的場(chǎng)的類(lèi)型、測(cè)量設(shè)備的能力和所需的測(cè)量空間分辨率采取各種形式。有些探頭只在特定的方向上接收?qǐng)?。為了在幾個(gè)方向上接收?qǐng)?，需要?掃描過(guò)程中改變探頭或旋轉(zhuǎn)探頭。測(cè)試報(bào)告中應(yīng)包括用于測(cè)量的探頭的簡(jiǎn)要說(shuō)明。適用的頻率范圍取決于探頭的結(jié)構(gòu)和校準(zhǔn)方法。

磁(H)場(chǎng)探頭：對(duì)于磁場(chǎng)測(cè)量，常使用單匝、微型磁環(huán)探頭。典型的探頭由導(dǎo)線(xiàn)、同軸電纜、PCB或任何其他合適的材料組成。

電(E)磁場(chǎng)探頭：對(duì)于電場(chǎng)測(cè)量，通常使用微型電場(chǎng)探頭。探頭可以由電線(xiàn)、同軸電纜、PCB走線(xiàn)或任何其他合適的材料構(gòu)成。

電磁聯(lián)合(E/H)場(chǎng)探頭：對(duì)于聯(lián)合電場(chǎng)和磁場(chǎng)測(cè)量，通常使用單圈微型磁環(huán)探頭。探頭可以由電線(xiàn)、同軸電纜、PCB走線(xiàn)或任何其他合適的材料構(gòu)成。

探頭定位和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)：需要一個(gè)精確的探頭定位系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。探頭定位系統(tǒng)應(yīng)能夠在至少兩個(gè)軸上移動(dòng)探頭(平行于DUT表面)， 并且能夠用比最小要求步長(zhǎng)至少小十倍的機(jī)械步長(zhǎng)定位探頭。近場(chǎng)探頭的x、y、z位置在旋轉(zhuǎn)后可能會(huì)出現(xiàn)錯(cuò)位。應(yīng)注意通過(guò)重新定位探頭來(lái)補(bǔ)償由此產(chǎn)生的偏移。

測(cè)試設(shè)置

基礎(chǔ)：測(cè)試裝置應(yīng)符合IEC 61967-1中描述的要求。此外，應(yīng)適用以下測(cè)試設(shè)置要求。

測(cè)試配置

第一種測(cè)試配置只允許測(cè)量大小，其余兩種允許相位或時(shí)域測(cè)量幅度，對(duì)于相位或時(shí)域測(cè)量，需要一個(gè)參考信號(hào)。該信號(hào)可以被外部應(yīng)用到設(shè)備的引腳上，通過(guò)引腳從設(shè)備輸出或用固定的輔助探針捕獲。

為了計(jì)算DUT上的電流分布，需要相位信息。如果只需要輻射場(chǎng)的幅值，則不需要相位信息。

測(cè)試電路板：安裝和掃描DUT的測(cè)試電路板可以是掃描探針可以接觸到的任何電路板。如果要對(duì)集成電路進(jìn)行比較評(píng)估，則應(yīng)在相同的PCB上進(jìn)行測(cè)試。PCB可以是應(yīng)用PCB或按照IEC 61967-1設(shè)計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試電路板。測(cè)試線(xiàn)路板應(yīng)牢固地安裝在測(cè)頭定位系統(tǒng)中，以增強(qiáng)測(cè)試的可重復(fù)性。這應(yīng)該通過(guò)使用對(duì)輻射場(chǎng)有有限影響的測(cè)試夾具來(lái)實(shí)現(xiàn)

探頭定位系統(tǒng)軟件設(shè)置：在DUT及其測(cè)試PCB設(shè)置好后，驗(yàn)證探頭定位系統(tǒng)軟件是否配置了所需的掃描參數(shù)，特別是與所需掃描區(qū)域有關(guān)的參數(shù)。確保在期望的掃描區(qū)域內(nèi)沒(méi)有可能損壞探針的障礙物。一些掃描儀軟件需要參考點(diǎn)來(lái)補(bǔ)償校準(zhǔn)誤差、原點(diǎn)偏移等，以及提高測(cè)量的可重復(fù)性。攝像機(jī)、激光器和其他類(lèi)似的裝置可用于輔助校準(zhǔn)。DUT的圖像也可以被記錄下來(lái)，并用作現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量的背景。測(cè)試報(bào)告中應(yīng)包括對(duì)此類(lèi)程序的簡(jiǎn)要描述。

DUT軟件：在測(cè)量期間，應(yīng)在DUT中實(shí)施適當(dāng)?shù)能浖詽M(mǎn)足IEC 61967-1的要求。軟件的描述應(yīng)包含在測(cè)試報(bào)告中。

測(cè)試程序

基本：試驗(yàn)程序應(yīng)符合IEC 61967-1，除非在此作了修改。這些默認(rèn)的測(cè)試條件旨在確保一個(gè)一致的測(cè)試環(huán)境。如果本程序的用戶(hù)同意其他條件，則應(yīng)在測(cè)試報(bào)告中予以記錄。

環(huán)境條件：應(yīng)測(cè)量環(huán)境RF噪聲級(jí)，以建立測(cè)試裝置的噪聲底限。只有測(cè)量結(jié)果，至少高于噪聲底面6分貝，才被認(rèn)為是可靠的。被測(cè)裝置應(yīng)安裝在測(cè)試裝置中，用于測(cè)試。被測(cè)裝置不應(yīng)被激活(例如電源電壓斷開(kāi))。應(yīng)調(diào)整測(cè)試設(shè)備以進(jìn)行操作掃描。應(yīng)進(jìn)行掃描以測(cè)量環(huán)境噪聲，結(jié)果應(yīng)在測(cè)試報(bào)告中描述。

如果環(huán)境RF噪聲水平過(guò)高，則應(yīng)檢查整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的完整性，特別是互連電纜和連接器。必要時(shí)，屏蔽外殼、低噪聲和/或更高增益的前置放大器或更窄的分辨率帶寬應(yīng)使用

操作檢查：被測(cè)裝置應(yīng)通電并進(jìn)行運(yùn)行檢查，以確保設(shè)備正常運(yùn)行(即運(yùn)行IC測(cè)試代碼)。

測(cè)試技術(shù)

在IC測(cè)試板通電并且DUT在預(yù)期測(cè)試模式下工作的情況下，在每個(gè)期望的頻率、位置和場(chǎng)方向上測(cè)量探頭輸出端的信號(hào)電平。

所使用的程序?qū)⑷Q于DUT的配置、測(cè)試設(shè)備、定位系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，以及任何用戶(hù)的偏好。例如，可以將探頭定位在特定位置，以一系列頻率測(cè)量數(shù)據(jù)，然后移動(dòng)到下一個(gè)位置。然而，在改變測(cè)量頻率并重新掃描整個(gè)表面之前，可能更傾向于在整個(gè)表面上測(cè)量特定頻率的數(shù)據(jù)。

在特定位置，測(cè)量可以在特定頻率下進(jìn)行(即頻譜分析儀以單一固定頻率或“零幅”模式工作)，或在接收機(jī)或頻譜分析儀掃描的頻帶內(nèi)進(jìn)行(即中心頻率/幅模式或啟動(dòng)/停止頻率模式)。應(yīng)謹(jǐn)慎選擇掃描頻帶、分辨率帶寬、視頻帶寬和掃描時(shí)間，以便允許集成電路工作的一個(gè)完整周期。

當(dāng)使用頻譜分析儀時(shí)，啟用“最大保持”功能，并允許分析儀在IC工作周期執(zhí)行時(shí)執(zhí)行至少三次掃描。掃描時(shí)間應(yīng)該遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于IC工作周期時(shí)間，以確保捕獲所有預(yù)期事件(脈沖、爆發(fā)等)。

說(shuō)明頻譜分析儀上的“最大保持”設(shè)置保持每個(gè)跟蹤數(shù)據(jù)點(diǎn)的最大電平，如果在連續(xù)掃描中檢測(cè)到新的最大電平，則更新每個(gè)點(diǎn)。

當(dāng)使用接收機(jī)時(shí)，在每個(gè)測(cè)試位置停留一段大于或等于6倍IC工作周期時(shí)間的時(shí)間，并記錄檢測(cè)到的最大電平。

當(dāng)使用矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行相位和幅度測(cè)量時(shí)，調(diào)整參數(shù)，如分辨率帶寬，平均，掃描時(shí)間等，以獲得最佳的測(cè)量精度，這取決于正在進(jìn)行的測(cè)量類(lèi)型。

當(dāng)使用示波器進(jìn)行時(shí)域測(cè)量時(shí)，調(diào)整采樣頻率、觸發(fā)條件、掃描時(shí)間、濾波器的使用等，以獲得所需的精度和測(cè)量時(shí)間。這些參數(shù)應(yīng)包括在測(cè)試報(bào)告中。

在能夠測(cè)量單個(gè)場(chǎng)方向的探頭的情況下，它可以在每個(gè)位置自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，以允許測(cè)量，例如，x場(chǎng)和y場(chǎng)。如果旋轉(zhuǎn)是手動(dòng)的，通常是用探針在一個(gè)位置掃描整個(gè)表面，并在重新掃描表面之前將其旋轉(zhuǎn)90度。如果必須改變探頭以從xy平面上的測(cè)量場(chǎng)切換到Z平面上的場(chǎng)，則使用類(lèi)似的程序。在所有情況下，應(yīng)注意確保各種探頭相對(duì)于DUT的正確旋轉(zhuǎn)和定位。

也可以在每個(gè)位置旋轉(zhuǎn)探頭以找到最大場(chǎng)(例如在xy平面上)。然后將視場(chǎng)角包含在測(cè)試報(bào)告中。

掃描可以在平行或垂直于IC表面的平面上進(jìn)行，也可以在一系列平面上進(jìn)行，從而形成三維映射。測(cè)量頻率可以改變，以評(píng)估DUT發(fā)射源模式的頻率依賴(lài)性。測(cè)量平面與集成電路表面之間的距離可以改變，以創(chuàng)建集成電路的三維發(fā)射圖案。掃描平面和探頭的步進(jìn)可以任意確定，以達(dá)到測(cè)量的目的。雖然掃描通常在DUT上方的恒定高度進(jìn)行，但它們也可以遵循DUT及其周?chē)鷧^(qū)域的輪廓。

數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)存儲(chǔ)在每個(gè)位置探頭輸出處測(cè)量的信號(hào)電平、探頭方向和頻率。后處理可以考慮由前置放大器和電纜引起的增益、損耗和相位偏移。探頭校準(zhǔn)數(shù)據(jù)可以允許從測(cè)量信號(hào)電平到磁場(chǎng)或電場(chǎng)強(qiáng)度的轉(zhuǎn)換。

OI-EASU321型EMI掃描儀的應(yīng)用案例

芯片生產(chǎn)過(guò)程中的質(zhì)量控制：使用OI-EASU321型EMI掃描儀進(jìn)行芯片EMI表面掃描，可以及早發(fā)現(xiàn)電磁干擾問(wèn)題，提高芯片的質(zhì)量。

設(shè)備維修與故障排除：當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)故障或性能下降時(shí)，使用OI-EASU321型EMI掃描儀對(duì)芯片進(jìn)行EMI表面掃描，可以快速定位問(wèn)題，并采取相應(yīng)的修復(fù)措施。

芯片設(shè)計(jì)優(yōu)化：在芯片設(shè)計(jì)階段，使用OI-EASU321型EMI掃描儀對(duì)不同設(shè)計(jì)方案進(jìn)行EMI表面掃描，可以評(píng)估其電磁兼容性，并優(yōu)化設(shè)計(jì)方案。

實(shí)驗(yàn)室研發(fā)測(cè)試：便于工程師有針對(duì)性地采取干擾抑制措施，在設(shè)計(jì)過(guò)程及早識(shí)別EMC問(wèn)題，優(yōu)化設(shè)計(jì)，有效減少成本，縮短研發(fā)周期。

結(jié)論

隨著電子設(shè)備的不斷發(fā)展，芯片EMI表面掃描變得越來(lái)越重要。通過(guò)使用OI-EASU321型EMI掃描儀，結(jié)合IEC61967-3標(biāo)準(zhǔn)，我們可以更好地評(píng)估芯片的性能和符合度。這將有助于確保芯片的穩(wěn)定性和可靠性，提高產(chǎn)品質(zhì)量，為用戶(hù)提供更好的使用體驗(yàn)。您可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在的EMI問(wèn)題，提高產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。