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IGBT中都有哪些PN結?PN結的組合會給IGBT帶來哪些特性?

冬至子 ? 來源:橘子說IGBT ? 作者:古老師 ? 2023-11-28 16:24 ? 次閱讀

如下圖所示為目前國際上最為主流的IGBT芯片俯視圖和截面示意圖,其中黃色區域代表圖片型半導體,綠色區域代表圖片型半導體。

圖片

圖片平面,IGBT可以劃分為元胞區和終端區(后面會詳細介紹其作用);z方向又可以劃分為芯片正面和芯片背面。

圖片平面內可能存在四種類型的PN結,

圖片:處于元胞區,與電極(發射極)相連;

圖片:處于元胞區,與電極不相連;

圖片:處于元胞區與終端區的過渡區;

圖片:處于終端區,與電極不相連。

z方向的背面還有一個PN結,

圖片:處于芯片背面,與電極(集電極)相連。

在理解IGBT內部的若干PN結如何協作之前,我們先看單個PN結是如何工作的。第二章中,我們闡述了熱平衡狀態下的PN結存在一個內部勢壘,阻礙PN結兩側的多子(P型中的空穴和N型中的電子)向對方擴散。

顯然,若要促進多子能夠進一步擴散,就必須克服這個勢壘,所采用的辦法就是在P區施加一個正向電壓,以形成一個與內建電場相反方向的電場;反之,若要進一步阻礙多子擴散,也可以通過在N區施加一個正向電壓,從而增加PN結的內部勢壘。這兩個狀態分別對應PN結的導通狀態和阻斷狀態。

如下圖所示的一個PN結,假設P區摻雜濃度為圖片,N區摻雜濃度為圖片。P區因為部分空穴擴散到N區而有部分區域帶負電,其寬度用圖片表示;反之N區因為部分電子擴散到P區而有部分區域帶正電,其寬度用圖片表示。

圖片

原本都處于電中性的P區和N區,因為多子擴散,在相交的PN結區域分別有部分空間帶電了,這個空間被稱為“空間電荷區”,又被稱為“耗盡區”,其寬度為:圖片 (圖片為depletion的縮寫)。

定義P型半導體所連接電極為陽極,對應的N型半導體所連接電極為陰極。假設陽極施加的外界電壓圖片為負,那么感生的電場方向由N型指向P型,顯然會增強PN結的內建電場,使得耗盡區邊界處的多子在電場作用下漂移至對面,留下更大的空間電荷區;同時增大的內建電場會進一步阻礙多子擴散。這個過程可以用靜電學的高斯定律和泊松方程進行描述,

圖片

其中,圖片表示空間電荷密度,圖片表示介電常數,圖片表示電勢差。兩個方程的物理意義是:有電荷存在的地方,就會存在電場,其方向為正電荷指向負電荷;而電場在空間的積分就是電勢。所以,空間電荷區會存在N區(正電)指向P區(負電)的電場。因此當外加電壓圖片為正,感生與原來向反方向的電場,那么空間電荷區變窄,內建電場減弱,PN結導通;反之,當外加電壓圖片為負,感生與原來相同方向的電場那么空間電荷區變寬,內建電場增強,PN結就可以承受更高的電勢,直到電場峰值圖片材料的臨界擊穿電場。這就是IGBT能承受高電壓的原因。

進一步地,根據高斯定律和泊松方程,電勢的梯度正比于電場強度,而電場的梯度正比于空間電荷區的濃度。顯然當外加電壓圖片為負,空間電荷區濃度越低,那么電場衰減越慢,相應圖片所對應的耗盡區就越寬,達到臨界電場強度圖片所對應的圖片絕對值就越高,也就是可承受電壓越高。這就是為何電壓等級越高的IGBT,其襯底濃度需要越低的緣故。

下面簡要推導PN結阻斷狀態下的峰值電場強度、耗盡區寬度與摻雜濃度以及外加電壓之間的關系。

引用高斯定理的積分形式:

圖片

即電場沿閉合空間的積分正比于其內部電荷之和。

如下圖所示,將閉合四邊形的四邊分別標記為,圖片

圖片

顯然,1.圖片,因此電場在圖片圖片方向的積分相互抵消;

  1. 圖片
  2. 圖片;

因此,

圖片

所以,

圖片

圖片的表達式中利用了平衡態下的電中性原理,即,

圖片

當半導體為均勻摻雜時(絕大多數都是這種情況,但也有例外,如經擴散而形成的高斯分布摻雜,后面講到工藝時會進一步分析),圖片隨空間線性變化,其在耗盡區內的積分即為PN結兩側的電勢差,即

圖片

其中, 圖片,內建電勢

綜上可以推算出P區和N區內耗盡區的寬度分別為:

圖片

圖片

當半導體為非均勻摻雜時,推算過程相同,但稍微繁雜一些。

舉例:以Si為例,假設P型摻雜濃度為圖片,N型摻雜濃度為圖片,圖片圖片圖片,計算圖片的耗盡區寬度變化趨勢。 圖片相對圖片的絕對值是個小量,計算過程中可以忽略掉,或者以0.7V替換。

計算結果如下圖所示。

圖片

可以看出,承受1200V的電壓,大約需要140圖片的厚度。

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