如下圖所示為目前國際上最為主流的IGBT芯片俯視圖和截面示意圖,其中黃色區域代表型半導體,綠色區域代表型半導體。
在平面,IGBT可以劃分為元胞區和終端區(后面會詳細介紹其作用);z方向又可以劃分為芯片正面和芯片背面。
平面內可能存在四種類型的PN結,
:處于元胞區,與電極(發射極)相連;
:處于元胞區,與電極不相連;
:處于元胞區與終端區的過渡區;
:處于終端區,與電極不相連。
z方向的背面還有一個PN結,
:處于芯片背面,與電極(集電極)相連。
在理解IGBT內部的若干PN結如何協作之前,我們先看單個PN結是如何工作的。第二章中,我們闡述了熱平衡狀態下的PN結存在一個內部勢壘,阻礙PN結兩側的多子(P型中的空穴和N型中的電子)向對方擴散。
顯然,若要促進多子能夠進一步擴散,就必須克服這個勢壘,所采用的辦法就是在P區施加一個正向電壓,以形成一個與內建電場相反方向的電場;反之,若要進一步阻礙多子擴散,也可以通過在N區施加一個正向電壓,從而增加PN結的內部勢壘。這兩個狀態分別對應PN結的導通狀態和阻斷狀態。
如下圖所示的一個PN結,假設P區摻雜濃度為,N區摻雜濃度為。P區因為部分空穴擴散到N區而有部分區域帶負電,其寬度用表示;反之N區因為部分電子擴散到P區而有部分區域帶正電,其寬度用表示。
原本都處于電中性的P區和N區,因為多子擴散,在相交的PN結區域分別有部分空間帶電了,這個空間被稱為“空間電荷區”,又被稱為“耗盡區”,其寬度為: (為depletion的縮寫)。
定義P型半導體所連接電極為陽極,對應的N型半導體所連接電極為陰極。假設陽極施加的外界電壓為負,那么感生的電場方向由N型指向P型,顯然會增強PN結的內建電場,使得耗盡區邊界處的多子在電場作用下漂移至對面,留下更大的空間電荷區;同時增大的內建電場會進一步阻礙多子擴散。這個過程可以用靜電學的高斯定律和泊松方程進行描述,
其中,表示空間電荷密度,表示介電常數,表示電勢差。兩個方程的物理意義是:有電荷存在的地方,就會存在電場,其方向為正電荷指向負電荷;而電場在空間的積分就是電勢。所以,空間電荷區會存在N區(正電)指向P區(負電)的電場。因此當外加電壓為正,感生與原來向反方向的電場,那么空間電荷區變窄,內建電場減弱,PN結導通;反之,當外加電壓為負,感生與原來相同方向的電場那么空間電荷區變寬,內建電場增強,PN結就可以承受更高的電勢,直到電場峰值材料的臨界擊穿電場。這就是IGBT能承受高電壓的原因。
進一步地,根據高斯定律和泊松方程,電勢的梯度正比于電場強度,而電場的梯度正比于空間電荷區的濃度。顯然當外加電壓為負,空間電荷區濃度越低,那么電場衰減越慢,相應所對應的耗盡區就越寬,達到臨界電場強度所對應的絕對值就越高,也就是可承受電壓越高。這就是為何電壓等級越高的IGBT,其襯底濃度需要越低的緣故。
下面簡要推導PN結阻斷狀態下的峰值電場強度、耗盡區寬度與摻雜濃度以及外加電壓之間的關系。
引用高斯定理的積分形式:
即電場沿閉合空間的積分正比于其內部電荷之和。
如下圖所示,將閉合四邊形的四邊分別標記為,
顯然,1.,因此電場在和方向的積分相互抵消;
- ;
- ;
因此,
所以,
的表達式中利用了平衡態下的電中性原理,即,
當半導體為均勻摻雜時(絕大多數都是這種情況,但也有例外,如經擴散而形成的高斯分布摻雜,后面講到工藝時會進一步分析),隨空間線性變化,其在耗盡區內的積分即為PN結兩側的電勢差,即
其中, ,內建電勢
綜上可以推算出P區和N區內耗盡區的寬度分別為:
當半導體為非均勻摻雜時,推算過程相同,但稍微繁雜一些。
舉例:以Si為例,假設P型摻雜濃度為,N型摻雜濃度為,,,,計算的耗盡區寬度變化趨勢。 相對的絕對值是個小量,計算過程中可以忽略掉,或者以0.7V替換。
計算結果如下圖所示。
可以看出,承受1200V的電壓,大約需要140的厚度。
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