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IGBT的終端耐壓結構—平面結和柱面結的耐壓差異(1)

冬至子 ? 來源:橘子說IGBT ? 作者:orange ? 2023-12-01 15:23 ? 次閱讀

IGBT是要耐受高電壓的,在《IGBT的若干PN結》一章中,我們從高斯定理、泊松方程推演了PN結的耐壓,主要取決于PN結的摻雜濃度。

在之前的討論中,我們并未考慮PN結的邊界變化,即只考慮了PN結作為平面結存在的情況。

但在實際的IGBT結構中,PN結是存在邊界的,如圖所示,在一維方向,PN結的邊界為曲面結;進一步地,在二維方向為柱面結,在三維方向為球面結。這種幾何結構的改變,會導致PN邊緣處的電場不同于芯片內部平面結的電場,因此無法承受高的電壓。

這就是包括IGBT在內的高壓功率半導體芯片需要引入終端耐壓結構的原因。下面我們以二維柱面結為例,分一下柱面PN結與平面PN結在電場分布和耐受電壓之間的差異。(本章只對引入終端結構的原因做分析,而不針對具體的終端結構做分析,這方面可以找到大量的文獻資料。)

前面分析PN結耐壓用的直角坐標系,顯然分析柱面結使用柱坐標系更為方便。

圖片

將泊松方程]圖片變換為如圖所示的圖片的柱坐標系,如下,

圖片

簡化模型,認為PN結在圖片圖片方向的擴散速度相同,即柱面結的界面為標準的1/4圓形,這種情況下顯然(7-1)的第二項和第三項為零。

同時考慮圖片,(7-1)簡化為

圖片

對(7-2)式積分,并利用邊界條件:耗盡區邊沿電場為零,即圖片,可計算出柱面PN結耗盡區內任意位置的電場強度

圖片

其中, 圖片,表示空間電荷濃度。電場最大值出現在PN結界面處,即圖片,同時考慮到承受高電壓時,耗盡區的寬度圖片遠大于PN結深度圖片,所以電場峰值可以近似表達為:

圖片

回顧《IGBT的若干PN結》,在平面PN結中,同樣考慮耗盡區寬度為圖片,電場峰值的表達式為:

圖片

將(7-4)與(7-5)相比,就可以得出柱面PN結與平面PN結之間的關系,

圖片

因為圖片,所以相同耗盡區寬度的情況下,顯然柱面PN結的電場峰值大于平面PN結的電場峰值。

即,在相同承壓情況下,元胞過渡區PN結所承受的電場強度會明顯大于元胞區,而且這個比值會隨著耗盡區寬度的增加而增加,隨著PN結深的增加而減小。

舉例來說,對于1200V的IGBT來說,滿額承壓的時候耗盡區寬度大于100μm,一般元胞區的PN結深為3μm左右,那么過渡區的PN結電場強度比元胞區的平面PN結電場強度大30倍以上。

顯然,必須對IGBT的過渡區做處理,降低柱面結所在位置的電場強度,才能承受高電壓,終端結構的引入就是為了達到這個目的。

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