當(dāng)我們想要描述一個原子的結(jié)構(gòu)時,每次繪制下圖所示的這樣的圖表時都不是非常的方便。更常見的做法是寫出分子式的方式來進(jìn)行表達(dá)。對于水分子,它的分子式是我們熟悉的H2O。這個公式準(zhǔn)確地告訴了我們這個分子的構(gòu)成元素和它們在其中具體的個數(shù)。化學(xué)家使用更精確的術(shù)語“化合物”來描述元素的不同組合。因此,H2O(水),NaCl(氯化鈉或鹽),過氧化氫(過氧化氫)和As2O3都是不同的化合物,它們都是由單個分子的集合體組成的。
雙原子分子是一個由同一元素的兩個原子組成的相對來說較為簡單的分子,通常是氣態(tài)的,例如氧氣,氮和氫在自然狀態(tài)下都是由雙原子組成的分子。因此,它們的公式是O2, N2和H2。
材料還有另外兩種形式:混合物和溶液。混合物是由兩種或兩種以上的物質(zhì)組成,但這些物質(zhì)仍保持各自的特性屬性。鹽和胡椒的混合物就是一個典型的例子。
溶液是固體溶解在液體中的混合物。液體中,固體是穿插著分布的,溶液呈現(xiàn)出獨特的性質(zhì)。然而,這些物質(zhì)在溶液中不會形成新的分子。鹽水就是一種非常典型的例子。它可以重新恢復(fù)到它的起始狀態(tài):鹽和水。
漿料被認(rèn)為是混合物的一種亞型。漿料是固體和固體的混合物液體。固體不溶解,每個單獨的材料都保留了它們的個人屬性。漿料用于拋光操作,如化學(xué)機械拋光。典型的加工漿料含有細(xì)小的二氧化硅(玻璃)懸浮在溫和的堿溶液中,如氫氧化銨。
離子
術(shù)語“離子”常用于與半導(dǎo)體加工有關(guān)的領(lǐng)域。這個術(shù)語指的具有不平衡電量的的物質(zhì)中的原子或分子。離子由元素或分子的化學(xué)符號來表示,后面跟著一個上標(biāo)的正號或負(fù)號(例如,Na+, Cl-。在半導(dǎo)體加工過程中一個最為常見的問題是,移動離子污染比如鈉(Na+)離子污染.這個問題源于離子攜帶的正電荷,當(dāng)鈉進(jìn)入半導(dǎo)體材料或器件時,就變得非常嚴(yán)重了。在某些工藝過程中,如離子注入過程中,必須產(chǎn)生離子,如硼(B+),以完成該過程。
固體,液體和氣體
物質(zhì)有四種不同的狀態(tài)。它們是固體、液體、氣體和等離子體(如下圖所示)。固體被定義為具有確定的形狀和體積的物體,前提是它們是在正常的溫度和壓力條件下。液體的體積是確定的,但形狀是可變的。一升水,舉個例子來說,它的形狀將取決于存儲它的容器的形狀。氣體既沒有一定的形狀,也沒有一定的體積。他們也會隨著容器的形狀不斷變化,但不像液體,它們會膨脹或壓縮到完全裝滿容器。
物質(zhì)的狀態(tài)與它的壓力和溫度有很大關(guān)系。溫度是材料所含總能量的量度。我們知道水可以以三種狀態(tài)存在(冰、液態(tài)水和蒸汽),我們只需改變溫度和/或壓力就可以實現(xiàn)這幾種狀態(tài)的變化。
審核編輯:湯梓紅
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原文標(biāo)題:半導(dǎo)體行業(yè)(二百二十四)之半導(dǎo)體材料特性(九)
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