鈣鈦礦太陽(yáng)能電池(PSCs)是第三代高效薄膜電池的代表，憑借良好的吸光性、電荷傳輸速率、巨大的開(kāi)發(fā)潛力，實(shí)現(xiàn)了高效率、高柔性、低成本，被譽(yù)為“光伏領(lǐng)域的新希望”。鈣鈦礦太陽(yáng)能電池還可通過(guò)與晶硅電池疊層進(jìn)一步提升光電轉(zhuǎn)換效率，是未來(lái)產(chǎn)業(yè)化的重點(diǎn)發(fā)展方向。

與晶硅電池的產(chǎn)業(yè)化路徑相同，鈣鈦礦電池產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程將經(jīng)歷從0-1再?gòu)?-N過(guò)程，即從實(shí)驗(yàn)室、中試線、100MW產(chǎn)線到GW量產(chǎn)線逐步實(shí)現(xiàn)大規(guī)模化。目前鈣鈦礦電池產(chǎn)業(yè)仍處于從0-1階段，但產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程不斷提速。

鈣鈦礦產(chǎn)業(yè)化技術(shù)路線

鈣鈦礦電池吸光層制備工藝總體可參照硅基薄膜、銅銦鎵硒薄膜等薄膜光伏制備工藝，分為濕法工藝和干法工藝兩大類。其中，濕法工藝又包括狹縫涂布和絲網(wǎng)印刷。濕法工藝溶液涂布法具有原料利用率高，成本較低，生產(chǎn)速率快，設(shè)備兼容度較高，鈣鈦礦層配方變化對(duì)涂布設(shè)備無(wú)底層改動(dòng)要求等優(yōu)勢(shì);而干法工藝真空鍍膜法具有大面積厚度和均勻性更好控制，對(duì)基底平整度要求低等優(yōu)勢(shì)，理論上或適合晶硅疊層路線。目前大多數(shù)企業(yè)選用濕法工藝進(jìn)行大面積100MW中試產(chǎn)線，少數(shù)企業(yè)選擇干法或涂布加蒸鍍兩步法工藝。

涂布法鈣鈦礦電池整線工藝流程

鈣鈦礦電池制備中的激光工藝

鈣鈦礦電池生產(chǎn)過(guò)程中需要分別進(jìn)行4次激光加工，P1/P2/P3/P4，涉及到整個(gè)鈣鈦礦薄膜電池的制備流程，是整個(gè)生產(chǎn)流程中的必備環(huán)節(jié)。

其中進(jìn)行3次平行激光劃線(P1-P3)，使材料氣化并形成槽線，將整面膜層分割成一個(gè)個(gè)相互串聯(lián)的寬約4-12mm的子電池，從而形成阻斷電流導(dǎo)通的單獨(dú)模塊，以實(shí)現(xiàn)增大電壓和串聯(lián)電池的效果。P4是將靠玻璃邊緣約10mm寬度的膜層清除，形成絕緣區(qū)域，作為后段封裝區(qū)域。

激光工藝關(guān)系到薄膜的損傷缺陷以及被切面的平整光滑程度，這類因素會(huì)共同影響電池的效率和壽命。

鈣鈦礦電池中的激光刻蝕

飛秒激光是鈣鈦礦劃線工序最佳解決方案

飛秒激光是指脈寬為fs(1 fs=10-15s)的脈沖激光。

相較于其他激光，飛秒激光加工精度更高。飛秒激光其脈寬很短，峰值功率極高(脈沖能量/脈寬)，作用于材料時(shí)，能引起各種非線性效應(yīng)。

飛秒激光最大的優(yōu)點(diǎn)在于：能在極短時(shí)間內(nèi)聚集高脈沖能量，形成極高的峰值功率，因此，其加工方式是一種“冷加工”，不會(huì)產(chǎn)生熔化、開(kāi)裂、汽化或者其它有害熱效應(yīng)，加工效果和質(zhì)量極佳，能夠在極微小的作用區(qū)域?qū)崿F(xiàn)對(duì)金屬、玻璃、鉆石、陶瓷、電介質(zhì)、半導(dǎo)體、塑料、聚合物、樹(shù)脂等各種類型的柔性材料或硬脆性材料進(jìn)行穿孔、切割或表面蝕刻等精密微納尺寸加工，具有其它激光器無(wú)法比擬的優(yōu)勢(shì)。

飛秒激光在加工閾值附近有可確定性的光分解和損傷，以及可控的材料切除，在柔性鈣鈦礦薄膜加工制造上能滿足其跨尺度、高精度、高性能和多樣性的加工要求。

飛秒激光對(duì)鈣鈦礦電池加工的優(yōu)勢(shì)明顯：切線質(zhì)量高、一致性好、表面無(wú)殘留，且不對(duì)基板造成損傷。

不同脈寬激光在100 μm厚的不銹鋼薄片上打孔的效果

全球首臺(tái)飛秒鈣鈦礦薄膜太陽(yáng)能加工裝備

青島自貿(mào)作為全國(guó)最早探索飛秒激光鈣鈦礦加工工藝的單位，其團(tuán)隊(duì)突破了德國(guó)壟斷的卡脖子技術(shù)，在基于自主研發(fā)的飛秒種子源鎖模技術(shù)上成功研發(fā)了世界首臺(tái)飛秒激光鈣鈦礦薄膜太陽(yáng)能加工裝備，研制開(kāi)發(fā)的大面積10 cmx10 cm玻璃基板鈣鈦礦太陽(yáng)能電池組件，獲得了17.4%(2016年)的認(rèn)證效率。

青島自貿(mào)激光科技有限公司

青島自貿(mào)激光科技有限公司成立于2018年，專業(yè)從事飛秒激光器及其核心元器件的研發(fā)、生產(chǎn)、應(yīng)用、銷售。公司在青島建有生產(chǎn)車(chē)間，在武漢建有研發(fā)中心。

公司主要產(chǎn)品包括光纖飛秒激光種子源、摻鉺系列光纖飛秒激光器、摻鐿系列光纖飛秒激光器，采用光通信行業(yè)模塊化集成封裝技術(shù)，可穩(wěn)定工作在7*24小時(shí)模式下，防震易維護(hù)。公司在青島和武漢均設(shè)有售后服務(wù)中心，2小時(shí)內(nèi)在線響應(yīng)、48小時(shí)內(nèi)排除故障。

公司將持續(xù)關(guān)注國(guó)際前沿技術(shù)，為全球客戶提供具備競(jìng)爭(zhēng)力的飛秒激光產(chǎn)品和行業(yè)解決方案。

鈣鈦礦專用飛秒激光器 TCR-FS-515-10

TCR-FS-515-10是一款高功率高能量摻 Yb 飛秒激光器，基于獨(dú)特的混合鎖模技術(shù)、超高精度色散補(bǔ)償技術(shù)、非線性啁啾脈沖放大技術(shù)開(kāi)發(fā)而成。激光器內(nèi)部集成了高轉(zhuǎn)換效率的 SHG 倍頻模塊，可將 1030nm 基頻光轉(zhuǎn)換成 515nm 倍頻光，基頻光和倍頻光可通過(guò)軟件進(jìn)行快速切換。激光器還可通過(guò)內(nèi)置的聲光調(diào)制器進(jìn) 一步調(diào)節(jié)輸出功率和重復(fù)頻率參數(shù)。TCR-FS-515-10 是一款穩(wěn)定的商業(yè)飛秒激光光源，已廣泛應(yīng)用于材料精密加工、生物醫(yī)療、科研等領(lǐng)域。此外該產(chǎn)品可根據(jù)客戶需求定制參數(shù)指標(biāo)，并支持工藝打樣，為用戶提供全套技術(shù)解決方案。

TCR-FS-515-10榮獲2023激光星銳獎(jiǎng)·最佳超快激光器技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)項(xiàng)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、脈沖重頻和能量可調(diào)

2、支持脈沖串模式

3、515 / 343 nm 波長(zhǎng)可選

4、24/7工業(yè)可靠性

5、模塊化設(shè)計(jì)

產(chǎn)品應(yīng)用：

1、精密加工

2、納米科學(xué)

3、超快現(xiàn)象研究

4、生物醫(yī)療研究

5、醫(yī)學(xué)手術(shù)

消息來(lái)源：自貿(mào)激光

審核編輯：湯梓紅