MEMS突出的優點是利用微電子技術把傳感器、執行器和處理電路這三部分集成在一起，組成單片集成傳感器或系統，更可以實現傳感器芯片的大規模批量制造，已廣泛用于信息、汽車、消費、工控等領域，并成為國際競爭的戰略制高點。那么功率放大器如何為MEMS傳感器測試提供激勵信號呢？今天Aigtek安泰電子就為大家答疑解惑~

深究傳感器和MEMS的發展過程，二十世紀六十年代剛出現微加工器件，七十年代主要研究新的技術和擴展應用方面，八十年代系列生產更為復雜的器件，九十年代是集成敏感系統的發展，2000年以后無線微系統開始發展。

什么是MEMS傳感器？

傳感器是當今數字世界的重要組成部分之一。由于所有的計算和處理都是在數字信號上完成的，因此在模擬世界和數字電子設備之間應該有一個媒介。傳感器彌合了這一差距，因為它們用于觀察模擬物理參數的時間效應并產生有意義的信息（對計算機）。

傳感器的現代定義有時令人困惑，但簡單來說，傳感器是一種包含基本傳感元件的設備，這些元件感測溫度或濕度等物理量并將其轉換為電信號。傳感器還由信號處理單元（如放大器、濾波器或ADC）或這些元件的組合組成。

不同類型的MEMS傳感器

MEMS技術的主要實施者之一是汽車行業。現代汽車使用大量傳感器，其中大多數是基于MEMS的設備。以下是現代汽車中使用的MEMS傳感器列表。

l加速度計–用于電子穩定控制和安全氣囊展開。

l慣性測量單元或IMU（它們是MEMS加速度計和MEMS陀螺儀的組合）-用于測量自動駕駛的偏航，俯仰和滾動。

l磁力計–用于導航中使用的方向。

l壓力和慣性傳感器–用于制動控制。

l壓力傳感器–胎壓監測系統。

l氣流傳感器–進氣監測。

l燃油傳感器–燃油液位指示器。

l碰撞和碰撞傳感器–碰撞檢測和安全氣囊展開。

lMEMS麥克風–用于通信和降噪。

l溫度傳感器–用于自動氣候控制和發動機溫度監控。

l還有許多其他基于MEMS的器件適用于各種應用。

前置微小信號放大器如何為MEMS傳感器測試提供激勵信號？

確定MEMS傳感器的輸入規格：包括頻率、功率、阻抗等參數。

選擇合適的功率放大器類型：根據MEMS傳感器的需求，選擇適當的功率放大器類型，在MEMS傳感器測試過程中我們常會用到ATA-5620前置微小信號放大器，來進行信號的放大。

ATA-5620前置微小信號放大器

帶寬：（-3dB）1kHz~100MHz

電壓：2Vp-p（50Ω）

電壓增益：60dB

連接前置微小信號放大器和MEMS傳感器：將功率放大器的輸出端與MEMS傳感器的輸入端正確連接。

調整功率放大器的參數：根據MEMS傳感器的需求，調整功率放大器的增益、輸出功率、輸出阻抗等參數，以確保提供適當的激勵信號。

進行測試：使用適當的測試儀器和軟件，對MEMS傳感器進行測試，觀察其響應和性能。

審核編輯：湯梓紅