精品国产人成在线_亚洲高清无码在线观看_国产在线视频国产永久2021_国产AV综合第一页一个的一区免费影院黑人_最近中文字幕MV高清在线视频

0
  • 聊天消息
  • 系統消息
  • 評論與回復
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學習在線課程
  • 觀看技術視頻
  • 寫文章/發帖/加入社區
會員中心
創作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領取20積分哦,立即完善>

3天內不再提示

激光測溫法概述

中科院半導體所 ? 來源:睞芯科技LightSense ? 2024-01-14 14:22 ? 次閱讀

本文從應用、原理和主要技術三個方面簡單介紹激光測溫法。

激光測溫應用

激光測溫是溫度量測中的一個新分支,以滿足越來越高質量控制的要求。利用各種光學現象,目前有多種光學測溫方法。

激光測溫法應用在金屬制造,半導體加工過程包括等離子蝕刻、光刻、薄膜生長等領域。

激光測溫原理

每一種激光測溫法,都是非接觸測量材料的溫度相關光學參數,然后根據相關參數模型推算溫度。

材料的溫度相關參數,例如,可以是折射率、尺寸、電子帶隙、激發態等等。

為了確定溫度,用一個光束(通常是激光)照射待測物,測量一個或多個參數:固定波長的反射和或透射系數、反射和或透射光譜、反射光的偏振態等等。

下表對比傳統測溫和激光測溫的優劣

方法

優勢

劣勢

接觸測溫
  1. 簡單的信號生成

  2. 可以在任何表面上進行測量

  1. 一些信號受到電氣干擾的影響

  2. 難以建立可靠的熱接觸

  3. 探測器對接觸區溫度的影響

  4. 難以應用于移動的物體

  5. 測量延遲

  6. 在腐蝕介質中使用有限制

輻射測溫

  1. 通用方法

  2. 非接觸測量

  3. 溫度范圍廣

  4. 可記錄溫度模式

  1. 紅外探測器的敏感光譜范圍內,缺乏許多材料的發射率數據

  2. 受外部輻射影響

  3. 對表面細節敏感

  4. 不能在低溫下使用

激光測溫

  1. 高抗噪性

  2. 非接觸測量

  3. 溫度范圍寬靈敏度高

  4. 高空間分辨率

  5. 可以記錄溫度模式

  6. 某些方法的響應時間短于1 ps

  1. 每個方法的應用范圍很窄

  2. 對表面特性敏感

  3. 某些方法中復雜的光學方案

  4. 大多數方法都需要對每種新材料進行校準

激光測溫主要技術

  1. 干涉測溫

  2. 橢圓偏振測量測溫

  3. 光熱輻射測溫

  4. 熱反射測溫

1b8ebcca-b290-11ee-8b88-92fbcf53809c.png

上圖是基于光學干涉非接觸式測溫(OICT)的實時溫度測量系統原理圖


聲明:本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內容侵權或者其他違規問題,請聯系本站處理。 舉報投訴
  • 激光
    +關注

    關注

    19

    文章

    3004

    瀏覽量

    64017
  • 紅外探測器
    +關注

    關注

    5

    文章

    286

    瀏覽量

    17915
  • 激光測溫
    +關注

    關注

    0

    文章

    3

    瀏覽量

    5446

原文標題:激光測溫法概述

文章出處:【微信號:bdtdsj,微信公眾號:中科院半導體所】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

收藏 人收藏

    評論

    相關推薦

    闡述基于激光三角測距激光雷達原理

    激光三角測距作為低成本的激光雷達設計方案,可獲得高精度、高性價比的應用效果,并成為室內服務機器人導航的首選方案,本文將對激光雷達核心組件進行介紹并重點闡述基于
    的頭像 發表于 12-27 18:20 ?1232次閱讀
    闡述基于<b class='flag-5'>激光</b>三角測距<b class='flag-5'>法</b>的<b class='flag-5'>激光</b>雷達原理

    利用光譜測量飛秒激光脈沖寬度研究

    基于光譜對飛秒激光振蕩器的脈沖寬度進行了測量,并與自相關儀的測量進行對比。研究結果表明光譜與自相關儀測量的脈沖寬度值相吻合,建立一種實驗室內飛秒激光脈沖寬度的測量方法。【關鍵詞】:
    發表于 05-04 08:04

    基于FPGA延遲線插入的半導體激光測距[

    為了提高系統的集成度,同時兼顧精度,介紹用FPGA延遲線插入來實現較高精度的脈沖激光測時、測距的原理和技術途徑。FPGA延遲線插入是在直接計數的基礎上,采用FPGA內部延時單元將
    發表于 05-13 09:04

    關于激光測距測溫APD放大問題

    APD前端放大電路,主要用于激光測距測溫激光器參數為10ns脈寬和0-200ma的可調功率,重復頻率是10KHZ(脈沖電流)該電路要求:1.整體電路帶寬100MHz以上2.輸出方波復制700mv
    發表于 08-08 07:29

    光學薄膜制備中的激光測溫技術

    概述激光測溫技術在光學薄膜制備中的應用及其在自動化方面的新進展。
    發表于 09-09 15:50 ?17次下載

    激光三角測距傳器的設計與實現

    激光三角測距傳器的
    發表于 01-07 17:24 ?99次下載
    <b class='flag-5'>激光</b>三角<b class='flag-5'>法</b>測距傳器的設計與實現

    相位激光測距技術研究概述

    相位激光測距技術研究概述,有需要的下來看看
    發表于 01-02 19:33 ?28次下載

    相位激光測距的實現

    相位激光測距的實現,有需要的額可以下來看看
    發表于 01-02 19:33 ?68次下載

    用于相位激光測距的電路系統設計

    用于相位激光測距的電路系統設計
    發表于 06-14 15:19 ?146次下載

    鐵路專用輕便型紅外測溫儀的規程標準資料概述

    鐵路專用輕便型紅外測溫儀(以下簡稱測溫儀)用于鐵路機車、車輛軸溫和鐵路其他設備溫度的非接觸式快速測量。測溫儀主要由光學系統、探測器、信號處理和顯示部分組成。根據結構分為可調發射率和固定發射率、帶有
    發表于 03-02 16:59 ?9次下載

    無線測溫系統概述_無線測溫系統組成

    本文主要闡述無線測溫系統的概念及無線測溫系統的組成。
    發表于 03-10 10:48 ?3756次閱讀

    解決方案|先進合金激光焊接測溫

    前言升溫速度快,對測溫儀響應速度要求較高光路上有粉塵影響測溫一、要解決的問題激光波段一般為近紅外,若與測溫儀響應范圍相同或近似則會嚴重影響測溫
    的頭像 發表于 11-23 17:03 ?555次閱讀
    解決方案|先進合金<b class='flag-5'>激光</b>焊接<b class='flag-5'>測溫</b>

    基于激光三角測距激光雷達原理

    目前激光雷達的測量原理主要有脈沖、相干法和三角3種,脈沖和相干光激光雷達的硬件要求高,
    發表于 12-25 10:04 ?659次閱讀
    基于<b class='flag-5'>激光</b>三角測距<b class='flag-5'>法</b>的<b class='flag-5'>激光</b>雷達原理

    表帶式無線測溫傳感器測溫系統概述

    表帶式無線測溫傳感器,通過無線射頻技術將測溫數據發送到收發器,再由收發器將數據傳送至測溫終端顯示,測溫終端可將溫度數據傳送到監控系統。避免了傳統紅外線
    的頭像 發表于 01-08 09:52 ?877次閱讀
    表帶式無線<b class='flag-5'>測溫</b>傳感器<b class='flag-5'>測溫</b>系統<b class='flag-5'>概述</b>

    激光測溫之干涉測溫技術知識簡析

    干涉測溫技術是幾種主要的激光測溫方法之一。
    的頭像 發表于 01-16 09:30 ?1127次閱讀
    <b class='flag-5'>激光</b><b class='flag-5'>測溫</b>之干涉<b class='flag-5'>測溫</b>技術知識簡析