據韓國媒體ETNews透露,三星電子正在研究將非導電膠(NCF)更換為模塑底部填膠(MUF),以提升公司的封裝技術水平。
此前,三星一直利用非導電膠來完成半導體間的垂直連接。盡管NCF能有效避免芯片變形,但其難度較大且生產率低下的缺點使其未受到廣泛認同。
據報道,三星電子擬在硅通孔(through-silicon electrode,TVS)的制造過程中引用MUF材料。TVS可以在晶圓或裸晶表面鉆出許多微小的孔洞,提供垂直連接通道。而MUF則可以填充這些孔洞,減小半導體間的空隙,從而讓各種垂直堆疊的半導體更加穩定。
據悉,三星已從日本引進相關設備,以推進MUF的應用。此外,SK海力士也在第三代HBM(HBM2E)之后改用MUF,尤其是針對MR-MUF進行了調整。
業內人士評價說:“相較于NCF,MR-MUF具有更高的導熱性能,對工藝速度及良品率均有顯著改善。
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