4月11日,青禾晶元官方宣布,公司近日通過技術(shù)創(chuàng)新,在SiC鍵合襯底的研發(fā)上取得重要進(jìn)展,在國內(nèi)率先成功制備了8英寸SiC鍵合襯底。
對比6英寸SiC晶圓,8英寸SiC晶圓可用面積幾乎增加一倍,芯片產(chǎn)出可增加80-90%,SiC晶圓升級到8英寸將會給汽車和工業(yè)客戶帶來重大收益。因此,SiC晶圓走向8英寸是業(yè)界公認(rèn)的發(fā)展趨勢。
SiC長晶受限于生長良率低、周期長等瓶頸導(dǎo)致成本無法有效降低。先進(jìn)SiC鍵合襯底技術(shù)可以將高、低質(zhì)量SiC襯底進(jìn)行鍵合集成,有效利用低質(zhì)量長晶襯底,與長晶技術(shù)一同推進(jìn)SiC材料成本顯著降低,實現(xiàn)高效地將過剩的傳統(tǒng)生產(chǎn)力轉(zhuǎn)化為新質(zhì)生產(chǎn)力。
青禾晶元表示,通過技術(shù)創(chuàng)新,進(jìn)一步鞏固了青禾晶元在該領(lǐng)域的引領(lǐng)地位,有望加速8英寸SiC襯底量產(chǎn)進(jìn)程,為產(chǎn)業(yè)界客戶提供更具競爭力的價格。
青禾晶元集團(tuán)是國際上少數(shù)掌握全套先進(jìn)半導(dǎo)體襯底鍵合集成技術(shù)的半導(dǎo)體公司之一,致力于將國際前沿的半導(dǎo)體材料融合技術(shù)產(chǎn)業(yè)化,獲得了多家知名產(chǎn)業(yè)方和社會資本的廣泛認(rèn)可。
青禾晶元半導(dǎo)體成立于2020年7月,公司采用具有自主知識產(chǎn)權(quán)的先進(jìn)技術(shù),可實現(xiàn)半導(dǎo)體材料生長、異質(zhì)融合與先進(jìn)封裝,有效的解決先進(jìn)半導(dǎo)體材料或器件良率低、成本高、性能受限等痛點問題。
公司致力于成為領(lǐng)先的晶圓異質(zhì)集成技術(shù)與方案的提供商,面向第三代半導(dǎo)體、先進(jìn)封裝、功率模塊集成等應(yīng)用領(lǐng)域,專注于新型半導(dǎo)體材料的研發(fā)生產(chǎn)制造和先進(jìn)技術(shù)研究。公司核心團(tuán)隊包含教授級專家、海外高層次人才、市場戰(zhàn)略專家、資深生產(chǎn)專家和管理專家等。從2020年至今相繼投資設(shè)立了專注于滿足市場需求的鍵合復(fù)合襯底生產(chǎn)線、技術(shù)研發(fā)中心等平臺。
青禾晶元的Emerald-SiC產(chǎn)品是基于公司創(chuàng)新的先進(jìn)晶圓鍵合與剝離轉(zhuǎn)移技術(shù)實現(xiàn)的高/低質(zhì)量SiC復(fù)合襯底材料,可以有效降低現(xiàn)有SiC襯底材料的成本,并在一定程度上提高器件性能。Emerald-SiC的推廣與普及將進(jìn)一步打開SiC器件的應(yīng)用場景,助力SiC行業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。
青禾晶元的Obsidian-POI產(chǎn)品是基于公司創(chuàng)新的先進(jìn)晶圓鍵合與剝離轉(zhuǎn)移技術(shù)實現(xiàn)的壓電復(fù)合襯底材料,可以有效提升聲表面波器件性能,可以廣泛應(yīng)用于5G手機(jī)與基站等應(yīng)用場景。公司的創(chuàng)新鍵合技術(shù)和產(chǎn)品可實現(xiàn)晶圓、芯片的室溫或低溫鍵合,降低熱應(yīng)力影響。
以鍵合技術(shù)為核心,依托其它半導(dǎo)體加工領(lǐng)域的核心技術(shù)如離子注入、表面處理、清洗、檢測、修復(fù)等,公司面向晶圓級材料異質(zhì)集成、三維堆疊、先進(jìn)封裝、超精密加工等領(lǐng)域提供技術(shù)服務(wù)和整體解決方案,可實現(xiàn)多種材料和芯片的異質(zhì)異構(gòu)融合。
審核編輯:劉清
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原文標(biāo)題:青禾晶元突破8英寸SiC鍵合襯底制備!
文章出處:【微信號:第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),微信公眾號:第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。
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