技術創新攻關一個個行業“堵點”，讓裝備制造企業迸發出新活力。6月6日，拜安科技與核電運行研究院聯袂發布工業級壓力變送器產品，該項目具有完全自主知識產權，填補國內相關領域空白。

此次核電運行研究院和拜安科技的聯合攻關，依托MEMS（Micro Electro Mechanical Systems微機電系統）光纖傳感技術，結合我國自主化三代核電機組對核級壓力變送器的需求，開展具有完全自主知識產權的工業級光纖傳感器研發。歷經2年時間，已經研發設計出符合核電環境條件下可靠的壓力變送器產品。為此，拜安科技還將在嘉定投資1.5億元，建設一條芯片級模組自動化封裝和壓力標定的產線。

4平方毫米能做什么？

在上海拜安半導體有限公司的展示廳，工作人員向記者展示了一顆用于工業級壓力變送器的MEMS光纖壓力計芯片，僅僅4平方毫米的這一顆芯片，就能完成一臺大型傳統光學干涉儀的精確測量功能。

“這就是我們的MEMS光纖壓力計芯片，它通過異質聚集成的方式將基礎的硅材料、玻璃材料、光學膜集成在一起。就是把大型的光學干涉儀芯片化，相當于把大象的體積壓縮到螞蟻的體積大小。高精度的壓力傳感器的應用場景是非常廣闊的。”上海拜安半導體有限公司技術人員介紹。

“MEMS光纖傳感器”作為工業級壓力變送器的核心技術之一，實現了核電工業對高精度、高安全級壓力變送器的需求，是一次質的突破。

近年來，數智化的升級對重大裝備領域為代表的重點基礎設備的實時健康監測，提出了更高要求。但傳統MEMS傳感器在高溫、電磁干擾等極端環境中仍存在局限性。隨著光纖傳感技術的蓬勃發展，拜安科技的MEMS光纖傳感技術有望解決這一難題。

“一個核電機組大概會用到幾千個壓力變送器，一個壓力變送器大概有4-6顆核心的傳感器芯片。如果從整個市場規模來說，高端的壓力變送器每年的市場規模近100億元。目前，拜安科技的產品除了在國內不斷拓展市場之外，在東南亞以及歐洲一些地方已經有批量性出貨。我們計劃在嘉定半導體產線上面再投資建立一條標準化、自動化的芯片級模組封裝和壓力標定產線，預計年產值達10億元左右。”上海拜安半導體有限公司總經理郭涼杰介紹。

據介紹，拜安科技是國家級專精特新“小巨人”企業，國家高新技術企業，建設有CNAS實驗室和投資2億元的6吋MEMS工藝線，其產品已廣泛應用于船舶、風電、石油化工、航空航天、電力、軌道交通等領域。

可以期待的是，這里將會有一項項“卡脖子”技術得到突破，一個個“專精特新”產品進入市場。

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