5X高分辨率遠心鏡頭
工業鏡頭相當于機器視覺系統中的眼睛,它能將目標成像在圖像傳感器的光敏面上,對視覺圖像成像發揮著重要作用。今天我們來看看Moritex的5X高分辨率遠心鏡頭——MML5-HR80DVI-43M58。
MML5-HR80DVI-43M58在傳統高倍遠心鏡頭的基礎上,提升了分辨率用以匹配高像素相機,倍率更高、像面更大、分辨率更高,應用于搭配大靶面相機的高精度檢測時表現優異。
同時,5X高分辨率遠心鏡頭具有優異的色差校正性能及內同軸亮度均勻性,做了復消色差設計將軸向色差控制在景深范圍內,實現切換光源而無需對焦。鏡頭的小尺寸設計還能更好地控制設備的緊湊性。
01更高的分辨率
MML5-HR80DVI-43M58分辨率高,光圈開到最大達到F14.7, 比起常規F19,分辨率從2.6μm提高至2μm。
02優異的色差校正
做了復消色差后,物方的色差控制在了5μm以內(中心波長R 660nm/G 520nm/B 470nm),即使460~660nm范圍內,總的色差也控制在了7μm以內。
03更緊湊的尺寸
MML5-HR80DVI-43M58將物像距控制在了395mm內,甚至遠小于同級的鏡頭本體長度,在性能維持甚至更高的情況下,卻更有效的幫助控制了設備的緊湊性。
當MML5-HR80DVI-43M58搭配6500萬,2500萬或4500萬等高分辨率相機時,是晶圓段的臟污、顆粒、劃痕、圖案缺陷和電極偏移等等瑕疵檢測的不二選擇。
晶圓實測圖
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