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通過物理氣相沉積法生長出高質量、大尺寸的SiC單晶材料

MEMS ? 來源:未知 ? 作者:佚名 ? 2017-10-16 16:55 ? 次閱讀

聽多了虛擬貨幣、虛擬現實、虛擬主機……有沒有聽過虛擬生長?

“要長出高質量的碳化硅(SiC),我們需要對生產工藝進行設計、調試和優化。”晶體材料國家重點實驗室教授陳秀芳帶領的課題組有一項重要任務——通過物理氣相沉積法生長出高質量、大尺寸的SiC單晶材料。

“但實際的生長耗時、耗料,可能也不穩定,通過計算機模擬‘虛擬生長’過程,可提前獲知溫度、生長速率等信息,”陳秀芳說。這個方法就像“戰爭推演系統”和實打實地實戰一樣奏效。

近日,國家重點研發計劃“中低壓SiC材料器件及其在電動汽車充電設備中的應用示范”項目召開年中總結會,由山東大學等單位承擔的課題一,僅用一年時間就獲得了低雜質的6英寸SiC晶體,單晶區直徑大于15厘米,為了讓這些晶圓能夠批量生產,課題組還搭建了擁有自主知識產權的6英寸SiC單晶爐。

項目負責人、浙江大學教授盛況介紹,項目以應用需求為牽引,將實現材料—芯片—模塊—充電設備—示范應用的全產業鏈創新。也就是說,高品質的SiC材料和芯片將成為充電設備的核心部件,經過封裝、設計等工藝,為電動汽車高效、高能地充滿電力。

“項目組由SiC領域內各環節多個實力較強的單位組成。截至目前,課題二開發了650V和1200V SiC MOSFET芯片,課題三開展了前沿的高K柵極介質的技術研究,研制出了1700V SiC MOSFET芯片,課題四完成了全SiC半橋功率模塊的試制,課題五有2臺充電樣機在北京試運行?!笔r告訴記者,五個課題組就像一個產業鏈條上的五個關節,互為協作、互為支撐,將共同呈現出SiC從材料獲得直到產業落地的全鏈條。

“今年下半年,課題一要給課題二、三的承擔單位‘供貨’,初步完成芯片封裝和模塊設計。”在盛況的任務文件中,有一張七彩的點線圖,時間節點和課題任務頭連頭、尾接尾,有并行推進的,也有順序完成的。項目甚至制定了“項目上下游課題間的送樣計劃和標準”。

“每次湊在一起都是奔著解決問題來的?!笔r說,前一年的研究正在穩步推進,現階段我們要做的是在明確的方向下攻克核心技術,進一步落實關鍵任務。

如果整個項目是一艘行駛向“新型充電方式”的大船,課題五就是這個船上的舵手,“它明確地提出應用需求、實現目標,而上中游的研發團隊則圍繞目標制定具體的推進方案?!笔r說。

作為落地的具體實施者之一,泰科天潤半導體科技(北京)有限公司吳海雷告訴科技日報記者,“與現在的充電樁相比,新型SiC充電模塊能達到最高96%的電能轉化效率。”

高溫環境和空載是傳統充電樁的“痛點”,第三代半導體的應用將解決這個問題。吳海雷說,研究表明,傳統SiC器件充電模塊的工作環境溫度達到55℃時,開始降功率輸出或停機,新型SiC充電模塊在65℃時,才開始降低功率輸出,“這基本杜絕了夏天宕機的情況?!?/p>

《節能與新能源汽車產業發展規劃(2012—2020年)》顯示,到2020年,純電動汽車和插電式混合動力汽車累計產銷量超過500萬輛,“這意味著需要建480萬個分布式充電樁、1.2萬座集中式充換電站?!眳莵喞渍f。這是一個不斷擴張和不斷完善相結合的產業,為能源結構的重大調整和新能源對化石能源的革命性顛覆,它的起點是一種名為SiC的完美晶體的生長,緊隨其后的是一條嚴密布局、創新涌動的產業鏈。

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原文標題:第三代半導體:“虛擬生長”引發充電革命

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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