如果說,“ 沒有IC制造就沒有中國的IC產業”是成立的,那么“沒有IC裝備就沒有中國的IC制造業”,也是順理成章的。只可惜,目前的中國IC裝備業與國際水平整體差距可不是一點點。不過,以北方華創為代表的國內設備商的持續努力,也讓國人對“高端裝備中國造”的信心與日俱增。整合優勢資源,盡快加大體量。今年2月,“七星華創”與“北方微電子”正式合二為一,整合為“北方華創科技集團股份有限公司”,將“高端裝備中國制造”的使命“據為己有”,已建立起國內覆蓋領域最廣、產品種類最多、建設規模最大、綜合實力最強的高端裝備供應平臺。北方華創總經理趙晉榮說,“七星”與“北方微”的整合不僅沒有流失客戶,反而讓客戶增添了對北方華創的信心和信任。客戶的訂單,就是對北方華創最大的肯定。在國家極大規模集成電路制造裝備與成套工藝重大專項中,北方華創以絕對主力,相繼完成了ETCH、PVD等工藝的驗證和產業化,清洗機、氧化爐、LPCVD( 低氣壓化學氣相沉積)、ALD(原子層沉積)和氣體質量流量控制器(MFC)等多個項目,在獲得政府科研項目資助同時,關鍵是多種高端集成電路的關鍵設備均批量進入了大生產線,并取得了良好的使用效果。趙晉榮介紹,目前,在IC制造領域北方華創擁有刻蝕機、PVD、單片退火設備、氧化爐、退火(合金)爐、LPCVD以及清洗機7類產品,已經全面在國內主流生產線上穩定量產。不過趙晉榮強調,我們在集成電路衍生市場取得的進步更為明顯,如MEMS、功率半導體、化合物半導體、先進封裝、LED照明、平板顯示、光伏等市場領域的從無到有、從弱至強。在先進封裝領域,北方華創刻蝕機和PVD設備在主要的先進封裝廠已得到全面應用,在全球排名前三的WLCSP封裝企業中,北方華創刻蝕機和PVD均是主力機臺;在LED領域,北方華創刻蝕機、PVD和PECVD三類設備的市場占有率實現了多項全球第一獨占鰲頭;MEMS芯片制造用的深硅刻蝕設備以及金屬刻蝕設備,已批量銷往多家科研機構及生產線;在光伏領域,北方華創研發的國內首臺應用于高效光伏電池生產的負壓擴散爐,已經得到市場認可,光伏交鑰匙工程還獲得海外客戶訂單;北方華創作為國內首家進入TFT-LCD生產線的設備商,自主研發的Grind Cleaner、Indexer等設備均在主流客戶端占據重要份額,所提供的設備在客戶端的5、6、8.5、10.5代線上均穩定規模生產。重點發展刻蝕設備、PVD、CVD、清洗和擴散設備,在應用于集成電路制造的同時,著力在先進封裝、LED、MEMS、光伏等市場領域取得“農村包圍城市”的突破,這種與國際業者反向而行的發展策略,應該也是北方華創被迫的“明智選擇”,這也是中國半導體設備企業取得里程碑式跨越發展的必由之路。趙晉榮認為,就目前現狀而言, 我們在IC主流市場還只是個技術跟蹤者,幾乎不可能成為一個市場引領者,但在半導體周邊市場,還是有國內集成電路高端工藝裝備龍頭企業話語權的,進而占據市場主導地位,如今已經成為現實。在泛半導體領域的快速推廣應用,使北方華創有了更強的市場競爭力、更完善的客戶服務體系和持續自主研發的實力。在集成電路領域從易到難的產品切入,也走了“農村包圍城市”的路子,從8英寸到12英寸,從Hardmask到Al pad再到CuBS研發,從zero mark到STI再到poly刻蝕,從65nm到28nm再到14nm。目前,應用于14nm先進制程的多項核心設備已正式進入國際主流芯片廠工藝研發線。可以說,北方華創已挑起重擔兌現“推進綱要”中所列的硬性指標。趙晉榮表示,在集成電路高端工藝裝備市場,“近水樓臺先得月”是北方華創獨特的優勢。北方華創的近鄰——中國最大芯片代工廠中芯國際、中國最大的面板制造商京東方產線上諸多設備早期并不來自北方華創,但通過不斷提供能夠精準符合客戶需求的卓越產品與優質服務,建立起產業鏈的上下游合作關系,就是北方華創發揮地域優勢取得突破的所在。現在再去參觀中芯國際12寸廠和京東方8.5代線的時候,可以看到成片的區域里,都充滿了NAURA的標識。在左鄰京東方8.5代線中,Grind Cleaner和Indexer設備正在24小時無間斷運轉;在右舍中芯國際12寸廠,北方華創數十臺硅刻蝕設備、PVD、LPCVD、清洗機和氧化爐在生產線上量產。最近,北方華創收購Akrion相關資產,以達到與公司目前清洗設備品種實現較好互補之目的。北方華創很看重Akrion在精密清洗技術方面擁有多年技術積累和客戶基礎,因此,有了一定實力的北方華創,在國際市場出手也就不足為奇了。相信,今后發生在國內設備廠家身上的類似新聞,會越來越多。趙晉榮認為,國產高端裝備要實現“量變” 較為容易,三年內在集成電路行業的份額就會顯著提升,但是要真正的取代國外廠家,實現躋身全球前十大的“質變”卻并不容易,但只要我們堅持把“農村包圍城市”戰略的路子走下去,用上五年時間國內設備商就會有實現“質變”的實力。在半導體產業的這種國際競爭格局下,國內的半導體企業需要加大體量來應對全球的競爭。在國際半導體產業持續向中國轉移的趨勢下,北方華創作為國內半導體裝備最大的制造企業,在未來一定會迎來更好的發展,帶給中國集成電路裝備產業無限可能。
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原文標題:北方華創:誓為中國半導體裝備業中流砥柱
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