1 我國半導體設備的市場規模

根據 SEMI 發布的數據，2015 年中國大陸半導體設備的市場規模為 53.54 億美元。其中進口半導體設備的市場規模為 46.6 億美元，同比增長 6.7%。同時我國國產半導體設備的銷售規模為 47.17 億元（折合6.94 億美元），同比增長 5.3%。

2016 年中國大陸半導體設備的市場規模為 72.88 億美元，比 2015 年增長 36.1%。其中進口設備的市場規模為 64.6 億美元，同比增長 31.8%。國產設備的市場規模預計為 57 億元（折合 8.28 億美元），同比增長 20.8%。

2011～2016 年我國半導體設備的市場規模及增長率如表 1 所示[1]。可見，在此期間，除 2012 年受全球半導體市場疲軟影響我國半導體設備市場減退外，其他年份均呈增長態勢。其中，除進口設備規模不斷增長外，國產設備雖然體量不大，但增長迅速，在國內半導體設備市場中的比例明顯提升。2011～2016 年我國國產半導體設備的銷售規模及增長率如圖 1 所示。

2011 年我國半導體設備業受太陽能電池產業的激勵，太陽能電池制造設備出現了爆發性的增長。2012～2013 年由于國內外太陽能電池產業受挫，我國半導體設備銷售額嚴重下跌。2013 年以后，我國半導體設備轉化為以高端集成電路設備和 LED 設備為主的產業結構，我國半導體設備市場呈現出理性穩步增長的態勢。

2011 年我國半導體設備業受太陽能電池產業的激勵，太陽能電池制造設備出現了爆發性的增長。2012～2013 年由于國內外太陽能電池產業受挫，我國半導體設備銷售額嚴重下跌。2013 年以后，我國半導體設備轉化為以高端集成電路設備和 LED 設備為主的產業結構，我國半導體設備市場呈現出理性穩步增長的態勢。

2 我國進口半導體設備的狀況

2015 年我國進口半導體設備的進口數量及進口金額如表 2 所示。進口金額最大的前 5 類設備分別為等離子體干法刻蝕機、分步重復光刻機、全自動引線鍵合機、氧化/擴散爐和物理氣相沉積設備（PVD）。進口數量最多的前 5 類設備分別是全自動引線鍵合機、晶圓切割設備、IC 工廠專用自動搬運機器人、化學氣相沉積設備（CVD）和等離子體干法刻蝕機[2]。

但是，近年來，隨著我國 02 專項的集成電路重大裝備研發及產業化項目的推進，有些設備如等離子體干法刻蝕機、先進封裝光刻機、全自動引線鍵合機、物理氣相沉積設備（PVD）和化學氣相沉積設備（CVD，包括PECVD）等國產設備已逐步進入國內集成電路大生產線量產使用。國產設備替代進口設備的進程正在逐步推進[2]。

圖 2 展示了 2015 年 13 類進口設備的分布情況。

3 我國國產半導體設備業的發展狀況

3.1．我國國產半導體設備業的銷售收入、出口交貨值和利潤額

2016 年 9 月，在廈門舉行的我國半導體設備年會上，中國電子專用設備工業協會公布了 2015 年我國半導體設備業發展的詳細信息，并對 2016 年的情況進行了預估。

2015 年我國半導體設備業的產品結構如圖 3 所示。其中，集成電路設備已占行業產品的主體，2015 年銷售額為 22.92 億元，占行業銷售收入的 49%；太陽能電池片設備的銷售額為 15.45 億元，占行業銷售收入的 33%； LED 設備的銷售額為 5.86 億元，占 12%；分立器件及其他設備的銷售額為 2.94 億元，僅占 6% 左右。

2013～2015 年我國各類半導體設備的銷售收入及增長情況如表 3 所示。圖 4 展示了2013～2015 年我國各類半導體設備銷售收入的發展趨勢。

3.2．我國進入生產線正式使用的國產高端半導體設備

2015 年，在我國國產半導體設備銷售收入取得大幅增長的同時，一批高端集成電路設備成功進入超大規模集成電路晶圓生產線和先進封裝生產線正式量產使用。

表 4 列出了 2015 年進入超大規模集成電路晶圓生產線量產使用的有代表性的晶圓前道制造設備。表 5 列出了 2015 年進入集成電路先進封裝生產線量產使用的有代表性的先進封裝設備。

2015 年，隨著國內 6 條高亮度 LED 國產化示范生產線建設，加快了國產 LED 芯片關鍵設備的發展進程。2015 年進入高亮度 LED 國產化示范生產線的有代表性的國產設備如表 6 所示。

2015 年，隨著國內太陽能電池芯片生產線的改建和擴建，一批智能化、自動化的太陽能電池芯片制造新設備也進入太陽能電池芯片生產線，其中有代表性的設備如表 7 所示。

4 2016 年我國國產半導體設備的發展狀況

據中國電子專用設備工業協會估測，2016 年我國國產半導體設備的銷售收入達到 57 億元，比 2015 年增長 20.8%，各類設備的銷售規模及增長率如表 8 所示。由此可見，2016 年我國半導體設備制造業進一步加快發展。

總之，在國家科技重大專項02 專項和國家集成電路產業發展投資基金的大力支持下，2016 年又有多項研發的高端集成電路設備進入驗證和驗收程序，或者進入國內外主流集成電路生產線生產運營，國產集成電路設備銷售收入又有 20.8% 以上的快速穩步增長。

與此同時，國內光伏產業在經歷了 2012～2013 年大幅度調整的基礎上，繼續保持理性、健康發展。國家的“光伏扶貧”和“領跑者項目”等政策扶持措施已成為我國光伏市場新的增長點。光伏企業將通過進一步擴大產能和加快淘汰落后生產線設備來降低產品成本和提高企業效益，這給我國太陽能電池芯片設備制造廠商帶來了新的發展機遇。

但在 2016 年，LED 市場受惡性競爭的影響，導致業內多數企業虧損，行業投資減少，致使 LED 設備銷售增長滯緩。估計到 2017 年將LED 市場調整到理性、有序發展軌道之后，LED 設備的銷售情況會有所好轉。

在“第十一屆（2016 年度）中國半導體創新產品和技術”項目評選中，有 12 項國產半導體設備獲得入選，如表 9 所示。

5 2016 年中國半導體設備五強企業

經中國半導體行業協會評選及公布的 2016 年中國半導體設備五強企業如表 10 所示。

6 結語

在中國國內，半導體設備業和半導體材料業通稱為半導體支撐業。根據中國電子專用設備工業協會的估測，2016 年國產半導體設備的銷售規模為57.0 億元，同比增長 20%[3]。

近年來，在國內集成電路產業持續快速發展的帶動下，國內半導體設備業呈現出高增長的勢頭。在國家科技重大專項 02 專項和各級地方政府科技創新專項的大力支持下，多種先進制造設備開始替代進口設備，在國內集成電路大生產線上運行和使用。

參考文獻

[1] 王龍興.2015年我國半導體設備和半導體材料業現狀分析[J].集成電路應用,2016，33（12）.

[2] 金存忠.中國半導體設備制造業2015年經濟運行分析和2016年展望[J].集成電路應用，2016，33（11）.

[3] 2017 年上海集成電路產業發展研究報告[M].電子工業出版社，2017-06.