我們身邊隨處可見各式各樣的功率電子器件,它們一般可用于改變電壓或者交直流電的轉換,例如:便攜式電子設備充電的移動電源、電動汽車的電池組、電網本身的輸變電設備。
從本質上講,功率變換是效率低下的,因為電源轉換器輸出的能量永遠少于其輸入的能量。但是最近,由氮化鎵制成的功率轉換器開始上市,比傳統的硅基功率轉換器,效率更高且尺寸更小。
然而,商用的氮化鎵功率器件無法處理600伏以上的電壓,所以限制在家用電器中使用。
創新
在這周召開的電氣電子工程師協會的國際電子器件會議上,來自麻省理工學院(MIT)、半導體公司IQE、哥倫比亞大學、IBM以及新加坡麻省理工學院研究與技術聯盟的科研人員展示出一項新型設計,經測試,它可以讓氮化鎵功率器件處理的電壓達1200伏。
該團隊包括 Palacios 實驗室的博士后、論文首作者 Yuhao Zhang,MIT 電氣工程與計算機科學專業博士 Min Sun,MIT電氣工程與計算機科學專業研究生 Piedra 和 Yuxuan Lin,Palacios 小組的博士后 Jie Hu,新加坡MIT研究與技術聯盟的 Zhihong Liu,IQE 的 Xiang Gao,哥倫比亞大學的 Ken Shepard。
技術
從根本上來說,新器件的設計不同于現有的氮化鎵功率電子器件。
MIT 電氣工程系和計算機科學專業教授、微系統技術實驗室成員、新論文高級作者 Tomás Palacios 表示,目前所有商用器件都稱為橫向器件。所以整個器件是在氮化鎵晶圓的頂面上制造的,這對于低功率應用非常有益,例如筆記本電腦充電器。
而對于中高功率應用,縱向器件效果更好。在這些器件中,電流并不是流過半導體表面,而是流過晶圓,穿過半導體。縱向器件在管理和控制電流方面效果更好。
Palacios 解釋說,從一方面說,電流流進縱向器件表面,然后從另外一面流出。這意味著將有更多空間用于連接輸入輸出線,從而帶來更高的電流負載。
從另外一方面說,Palacios 表示,當用戶使用橫向器件時,所有的電流都會通過一個離表面很近的非常狹窄的平板材料。研究人員討論到這種平板材料的厚度只有50納米。所有的電流都會流經這里,所有的熱量都會在非常狹窄的區域中生成,所以它變得非常熱。在縱向器件中,電流流過整個晶圓,所以熱消散更加統一。
盡管縱向器件優點非常顯著,但是縱向器件一直以來就難以通過氮化鎵制造。功率電子器件依賴于晶體管,晶體管作為一種可變電流開關,能夠基于輸入電壓控制輸出電流。在晶體管中,電荷施加于“門”,使得半導體材料例如硅或者氮化鎵,在導電和非導電狀態之間切換。
為了使開關更加高效,流過半導體的電流需要局限于相對較小的區域中,在那里門的電場會對其施加影響。過去,科研人員曾經嘗試通過將物理屏障嵌入到氮化鎵中,引導電流進入門下方的通道中,構建縱向晶體管。
但是,屏障是由一種不穩定、昂貴、難以生產的材料組成。此外,將它與周圍的氮化鎵以一種不會破壞晶體管電子特性的方式集成,也非常具有挑戰性。
研究人員簡單使用了一個更加狹窄的器件,取代了使用內部屏障將電流引導進更大器件中的狹窄區域的辦法。他們采用的縱向氮化鎵晶體管在其頂部具有葉片狀突起,像“魚鰭”一般。每個“魚鰭”的兩側都是電觸頭,在一起作為“門”使用。電流進入晶體管,流經另外一個位于“魚鰭”頂部的觸頭,從器件的底部流出。魚鰭的狹窄保證門電極可以切換晶體管的開關。
Palacios 表示,Yuhao 和 Min 的聰明辦法,并不是通過在同一晶圓上的多種材料限制電流,而是通過從我們不想讓電流流經的那些區域上,去除材料,在幾何學意義上限制電流。我們完全改變了晶體管幾何結構,從而取代之前在傳統的縱向晶體管中采用的復雜曲折路線。
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原文標題:最新科研成果:新型氮化鎵功率器件可處理1200伏的高壓
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