示波器因為有探頭的存在而擴展了示波器的應(yīng)用范圍，使得示波器可以在線測試和分析被測電子電路，如下圖：

圖1 示波器探頭的作用探頭的選擇和使用需要考慮如下兩個方面：其一：因為探頭有負(fù)載效應(yīng)，探頭會直接影響被測信號和被測電路；其二：探頭是整個示波器測量系統(tǒng)的一部分，會直接影響儀器的信號保真度和測試結(jié)果。

一、探頭的負(fù)載效應(yīng)

當(dāng)探頭探測到被測電路后，探頭成為了被測電路的一部分。探頭的負(fù)載效應(yīng)包括下面3部分：1.阻性負(fù)載效應(yīng)；2.容性負(fù)載效應(yīng)；3.感性負(fù)載效應(yīng)。

圖2探頭的負(fù)載效應(yīng)

阻性負(fù)載相當(dāng)于在被測電路上并聯(lián)了一個電阻，對被測信號有分壓的作用，影響被測信號的幅度和直流偏置。有時，加上探頭時，有故障的電路可能變得正常了。一般推薦探頭的電阻R>10倍被測源電阻，以維持小于10%的幅度誤差。

圖3探頭的阻性負(fù)載

容性負(fù)載相當(dāng)于在被測電路上并聯(lián)了一個電容，對被測信號有濾波的作用，影響被測信號的上升下降時間，影響傳輸延遲，影響傳輸互連通道的帶寬。有時，加上探頭時，有故障的電路變得正常了，這個電容效應(yīng)起到了關(guān)鍵的作用。一般推薦使用電容負(fù)載盡量小的探頭，以減小對被測信號邊沿的影響。

圖4探頭的容性負(fù)載

感性負(fù)載來源于探頭地線的電感效應(yīng)，這地線電感會與容性負(fù)載和阻性負(fù)載形成諧振，從而使顯示的信號上出現(xiàn)振鈴。如果顯示的信號上出現(xiàn)明顯的振鈴，需要檢查確認(rèn)是被測信號的真實特征還是由于接地線引起的振鈴，檢查確認(rèn)的方法是使用盡量短的接地線。一般推薦使用盡量短的地線，一般地線電感=1nH/mm。

圖5探頭的感性負(fù)載

二、探頭的類型示波器探頭大的方面可以分為：無源探頭和有源探頭兩大類。無源有源顧名思義就是需不需要給探頭供電。

無源探頭細(xì)分如下：1. 低阻電阻分壓探頭；2. 帶補償?shù)母咦锜o源探頭（最常用的無源探頭）；3. 高壓探頭

有源探頭細(xì)分如下：1. 單端有源探頭；2. 差分探頭；3. 電流探頭

最常用的高阻無源探頭和有源探頭簡單對比如下：

表1有源探頭和無源探頭對比

低阻電阻分壓探頭具備較低的電容負(fù)載（<1pf)，較高的帶寬（>1.5GHz），較低的價格，但是電阻負(fù)載非常大，一般只有500ohm或1Kohm，所以只適合測試低源阻抗的電路，或只關(guān)注時間參數(shù)測試的電路。

圖6低輸入電阻探頭結(jié)構(gòu)

帶補償?shù)母咦锜o源探頭是最常用的無源探頭，一般示波器標(biāo)配的探頭都是此類探頭。帶補償?shù)母咦锜o源探頭具備較高的輸入電阻（一般1Mohm以上），可調(diào)的補償電容，以匹配示波器的輸入，具備較高的動態(tài)范圍，可以測試較大幅度的信號（幾十幅以上），價格也較低。但是不知之處是輸入電容過大（一般10pf以上），帶寬較低（一般500MHz以內(nèi)）。

圖7常用的無源探頭結(jié)構(gòu)

帶補償?shù)母咦锜o源探頭有一個補償電容，當(dāng)接上示波器時，一般需要調(diào)整電容值（需要使用探頭自帶的小螺絲刀來調(diào)整，調(diào)整時把探頭連接到示波器補償輸出測試位置），以與示波器輸入電容匹配，以消除低頻或高頻增益。下圖的左邊是存在高頻或低頻增益，調(diào)整后的補償信號顯示波形如下圖的右邊所示。

圖8無源探頭的補償

高壓探頭是帶補償?shù)臒o源探頭的基礎(chǔ)上，增大輸入電阻，使得衰減加大（如：100:1或1000:1等)。因為需要使用耐高壓的元器件，所以高壓探頭一般物理尺寸較大。

圖9高壓探頭的結(jié)構(gòu)

三、有源探頭

我們先來觀察一下用600MHz無源探頭和1.5GHz有源探頭測試1ns上升時間階躍信號的影響。使用脈沖發(fā)生器產(chǎn)生一個1ns的階躍信號，通過測試夾具后，使用SMA電纜直接連接到一個1.5GHz帶寬的示波器上，這樣示波器上會顯示一個波形（如下圖中的蘭色信號），把這個波形存為參考波形。然后使用探頭點測測試夾具去探測被測信號，通過SMA直連的波形因為受探頭負(fù)載的影響而變成黃色的波形，探頭通道顯示的是綠色的波形。然后分別測試上升時間，可以看出無源探頭和有源探頭對高速信號的影響。

圖10無源探頭和有源探頭對被測信號和測量結(jié)果的影響

具體測試結(jié)果如下：使用1165A： 600MHz無源探頭，使用鱷魚嘴接地線：受探頭負(fù)載的影響，上升時間變?yōu)椋?.9ns；探頭通道顯示的波形存在振鈴，上升時間為：1.85ns;

使用1156A： 1.5GHz有源探頭，使用5cm接地線：受探頭負(fù)載的影響較小，上升時間仍為：1ns；探頭通道顯示的波形與原始信號一致，上升時間仍為：1ns。單端有源探頭結(jié)構(gòu)圖如下，使用放大器實現(xiàn)阻抗變換的目的。單端有源探頭的輸入阻抗較高（一般達(dá)100Kohm以上），而輸入電容較小（一般小于1pf)，通過探頭放大器后連接到示波器，示波器必須使用50ohm輸入阻抗。有源探頭帶寬寬（現(xiàn)在可達(dá)30GHz），而負(fù)載小，但是價格相對較高（一般每根探頭達(dá)到同樣帶寬示波器價格的10%左右)，動態(tài)范圍較小（這個需要注意，因為超過探頭動態(tài)范圍的信號，不能正確測試。一般動態(tài)范圍5V左右），比較脆弱，使用需小心。

圖11有源探頭結(jié)構(gòu)

差分探頭結(jié)構(gòu)圖如下，使用差分放大器實現(xiàn)阻抗變換的目的。差分探頭的輸入阻抗較高（一般達(dá)50Kohm以上），而輸入電容較小（一般小于1pf)，通過差分探頭放大器后連接到示波器，示波器必須使用50ohm輸入阻抗。差分探頭帶寬非常寬（現(xiàn)在可達(dá)30GHz），負(fù)載非常小，具有較高共模抑制比，但是價格相對較高（一般每根探頭達(dá)到同樣帶寬示波器價格的10%左右)，動態(tài)范圍也較小（這個需要注意，因為超過探頭動態(tài)范圍的信號，不能正確測試。一般動態(tài)范圍3V左右），比較脆弱，使用需小心。

差分探頭適合測試高速差分信號（測試時不用接地），適合放大器測試，電源測試，適合虛地測試等應(yīng)用。

圖12差分探頭結(jié)構(gòu)

電流探頭也是有源探頭，利用霍爾傳感器和感應(yīng)線圈實現(xiàn)直流和交流電流的測量。電流探頭把電流信號轉(zhuǎn)換成電壓信號，示波器采集電壓信號，再顯示成電流信號。電流探頭可以測試幾十毫安到幾百安培的電流，使用時需要引出電流線（電流探頭是把導(dǎo)線夾在中間進(jìn)行測試的，不會影響被測電路）。

電流探頭在測試直流和低頻交流時的工作原理：當(dāng)電流鉗閉合，把一通有電流的導(dǎo)體圍在中心時，響應(yīng)地會出現(xiàn)一個磁場。這些磁場使霍爾傳感器內(nèi)的電子發(fā)生偏轉(zhuǎn)，在霍爾傳感器的輸出產(chǎn)生一個電動勢。電流探頭根據(jù)這個電動勢產(chǎn)生一個反向（補償）電流送至電流探頭的線圈，使電流鉗中的磁場為零，以防止飽和。電流探頭根據(jù)反向電流測得實際的電流值。用這個方法，能夠非常線性的測量大電流，包括交直流混合的電流。

圖13電流探頭測試直流和低頻時的工作原理

電流探頭在測試高頻時的工作原理：隨著被測電流頻率的增加，霍爾效應(yīng)逐漸減弱，當(dāng)測量一個不含直流成分的高頻交流電流時，大部分是通過磁場的強弱直接感應(yīng)到電流探頭的線圈。此時，探頭就像一個電流變壓器，電流探頭直接測量的是感應(yīng)電流，而不是補償電流，功放的輸出為線圈提供一個低阻抗的接地回路。

圖14電流探頭測試高頻時的工作原理

電流探頭在交叉區(qū)域時的工作原理：當(dāng)電流探頭工作在20KHz的高低頻交叉區(qū)域時，部分測量是通過霍爾傳感器實現(xiàn)的，另一部分是通過線圈實現(xiàn)的。

圖15電流探頭交叉區(qū)域的工作原理

四、有源探頭附件現(xiàn)代的高帶寬有源探頭都采用分離式的設(shè)計方法，即：探頭放大器與探頭附件部分分開。這樣設(shè)計的好處是：

1、支持更多的探頭附件，使得探測更加的靈活；2、保護(hù)投資，最貴的是探頭放大器（一個探頭放大器可以支持多種探測方式，以前需要幾個探頭來實現(xiàn)）；同時探頭附件保護(hù)探頭放大器（探頭附件即使損壞，價格也相對便宜）；3、這種設(shè)計方式容易實現(xiàn)高帶寬。

圖16探頭附件

這些探頭附件，主要包括以下幾種：

1、點測探頭附件（包括：單端點測和差分點測）；2、焊接探頭附件（包括：單端焊接和差分焊接，分離式的ZIF焊接）；3、插孔探頭附件；4、差分SMA探頭附件（示波器一般直接支持SMA連接，但是如果被測信號需要上拉如HDMI，則必須使用SMA探頭附件）。探頭附件的電路結(jié)構(gòu)如下圖所示：

1、在探頭附件尖端部分會有一對阻尼電阻（一般82ohm），這對阻尼電阻的作用是消除探頭附件尖端部分的電感的諧振影響；

2、探頭尖端部分的后面是25Kohm的電阻，這個電阻決定了探頭的輸入阻抗（直流輸入阻抗即電阻：單端25Kohm，差分50Kohm），這個電阻使得被測信號傳輸?shù)教筋^放大器部分的功率是非常小的，不至于對被測信號有較大影響。3、25Kohm的電阻后面是同軸傳輸線部分，這個傳輸線負(fù)責(zé)把小信號傳輸?shù)椒糯笃鳌＿@個傳輸線的長度可以很長，也可以很短，中間可以加衰減器，也可以加耦合電容。4、同軸傳輸線連接到放大器，放大器是50ohm匹配的（差分100ohm匹配）。

圖17有源探頭附件的結(jié)構(gòu)

有源探頭為了保持探頭的精確度，需要工作在恒溫狀態(tài)，所以探頭放大器不能放置到高低溫箱里進(jìn)行高低溫環(huán)境下被測電路板的測試。從探頭附件結(jié)構(gòu)中可見中間的50ohm傳輸線的長短不影響探測，所以可以用很長的同軸電纜或擴展同軸電纜，讓這個同軸電纜伸進(jìn)高低溫箱里進(jìn)行高低溫?fù)Q進(jìn)下被測電路板的測試。如下圖是N5450A擴展電纜，使用N5381A焊接探頭附件，可以工作在-55°到150°溫度范圍。

圖18高低溫探頭結(jié)構(gòu)原理

使用N5450A擴展電纜和N5381A探頭附件，使用1169A 12GHz探頭放大器，在-55°和150°環(huán)境下的頻響曲線如下圖所示，可見能夠滿足高速信號測試的要求。

圖19高低溫探頭在高低溫下的頻響

五、探頭及附件準(zhǔn)確度驗證下圖是一個例子：被測信號是一個頻率456MHz，邊沿時間約65ps的時鐘信號，分別使用不同類型的探頭和探頭附件的測試結(jié)果。

A圖是使用12GHz的1169A差分探頭和N5381A 12GHz焊接探頭附件的測試結(jié)果，幾乎完全復(fù)現(xiàn)被測信號；B圖是使用500MHz的無源探頭的測試結(jié)果，顯示的信號完全失真；C圖是使用12GHz的1169A差分探頭和較長的測試引線的測試結(jié)果，顯示的信號出現(xiàn)很大的過沖；D圖是使用4GHz的1158A單端探頭和較長的測試引線的測試結(jié)果，顯示的信號幾乎是正弦波，失真較大。

圖20不同探頭附件測試結(jié)果對比

從圖中可見探頭和探頭附件對測試精確度的影響是非常大的，是我們測試高速信號應(yīng)該重點注意的內(nèi)容之一。那我們應(yīng)該如何驗證探頭和探頭附件呢？

驗證探頭和探頭附件需要使用一臺脈沖碼型發(fā)生器（如:81134A，3.35GHz速率，60ps邊沿的脈沖碼型發(fā)生器），如果示波器自帶高速信號輸出功能，也可以使用示波器的這個輔助輸出口代替脈沖碼型發(fā)生器（如:Infiniium示波器的AUX OUT端口可以發(fā)一個高速時鐘：456MHz頻率，約65ps邊沿）。另外，需要同軸電纜和測試夾具（Infiniium示波器配置的探頭校準(zhǔn)夾具可以作為探頭和探頭附件驗證測試夾具）。測試夾具的外表是地(Ground)，里面走線是信號(Signal)，如下圖所示。使用時，通過同軸電纜把一端接到脈沖碼型發(fā)生器或示波器的輔助輸出AUX OUT端口，另外一端通過適配器連接到示波器的通道1上。

圖21探頭驗證夾具

然后把被驗證的探頭連接到通道2上，探頭通過探頭附件可以接觸到測試夾具的信號和地（如果是差分探頭，那么把+端連接到測試夾具的信號線，把-端連接到測試夾具的地上）。1、如果探頭不接觸信號線，則屏幕上會出現(xiàn)一個原始波形，存為參考波形；2、當(dāng)用探頭探測信號線時，通道1的波形會發(fā)生變化，這個變化后的波形就是被探頭和探頭附件影響后的被測信號；3、這時，連接探頭的通道2會出現(xiàn)一個波形，這個波形是探頭測試到的波形；

4、通過對比參考波形，通道1的波形，和連接探頭的通道2的波形，就可以直觀的看出或通過測試參數(shù)讀出三者的差別，可以驗證探頭和探頭附件的影響。

圖22探頭驗證連接和原理

下圖是實際驗證的一個例子，圖A把示波器的AUX OUT通過同軸電纜連接到測試夾具，測試夾具的另一端通過SMA-PBNC適配器連接到示波器的一個通道上（此例連接到通道3），把探頭連接到通道1上，此時調(diào)整屏幕上的波形，使得出現(xiàn)一個邊沿階躍波形，如圖C所示，并把此波形存為參考波形。如圖B把被驗證探頭和附件點測到測試夾具上，如圖D所示，屏幕上出現(xiàn)3個波形，蘭色的是參考波形，綠色的是受探頭影響后的被測波形，黃色的是探頭顯示的波形，通過測試上升時間參數(shù)，過沖參數(shù)等，可確認(rèn)探頭和探頭附件的性能。

圖23探頭驗證實例