P60.Z1000系列一維壓電納米定位臺，行程可達毫米！
P60.Z1000系列壓電納米定位臺是一款具有大行程特點的一維Z向運動壓電平臺。它的內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動，配合無摩擦柔性鉸鏈機構，利用機構放大的驅動形式，實現大行程精密定位運動，行程可高達1mm。它的負載可達1.5kg，在行程大的同時兼具了大負載的特點。該產品可選配高精度傳感器進行閉環精密定位控制。可廣泛應用于光學、半導體、航空航天、生物醫療等領域。產品外觀如下圖所示。
產品特點
Z向位移1000μm
承載1.5kg
毫秒級響應時間
閉環重復定位精度高
可選閉環傳感器
真空版本可選
產品應用
光學測量
光學檢測
顯微掃描
激光干涉
生物科技
納米操控技術
納米光刻
納米測量
技術參數
| 型號 | P60.Z1000S/K-C | |
| 運動方向 | Z | |
| 驅動控制 | 1路傳感/1路驅動 | |
| 標稱行程范圍（0~120V） | 800μm | |
| Max.行程范圍（0~150V） | 1000μm | |
| 傳感器類型 | SGS/- | |
| 分辨率 | 35nm/10nm | |
| 閉環重復定位精度 | 0.1%F.S./- | |
| 空載諧振頻率 | 80Hz | |
| 承載能力 | 水平安裝 | 1.5kg |
| 立式安裝 | 0.02kg | |
| 倒置安裝 | 0.05kg | |
| 靜電容量 | 72μF | |
| 材質 | 鈦、鋁 | |
| 重量 | ＜1.3kg | |
配套控制器
E53.D系列壓電控制器非常適用于驅動P60.Z1000系列壓電納米定位臺。E53.D系列是針對小體積應用要求而設計的單通道控制器，體積小巧，外形尺寸僅為148×27.5×80mm^3，重量為350g，供電電壓24VDC/1A。機身帶有散熱區域，可迅速導出產生的熱量，上位機軟件支持二次開發，體積小巧，易于集成。
審核編輯 黃宇
聲明：本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內容侵權或者其他違規問題，請聯系本站處理。
舉報投訴
-
納米
+關注
關注
2文章
693瀏覽量
36955 -
壓電
+關注
關注
1文章
89瀏覽量
14064
發布評論請先 登錄
相關推薦
H60.XYZTR5六自由度并聯機構
、生物科技等微納操作領域。 H60.XYZTR5六自由度并聯機構 H60.XYZTR5系列六自由度并聯機構壓電納米定位
H32.TR4S系列三軸角度運動高精度壓電偏擺/旋轉臺，可作模擬振動臺！
H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉臺其內部采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計，可實現θx、θy偏擺及θz旋轉三維運動。它具有響應速度快、閉環定位精度
深圳光博會首日 芯明天帶您零距離感受“壓電 納米 運動”！
、紫外、智能傳感、新型顯示等版塊，從產業到終端應用，全方位面向觀眾展示光電行業的前沿技術及行業發展態勢。 芯明天攜更多壓電納米運動與控制產品和應用方案在2號館2A101號展位與新老用戶相見，深度探討壓電納米運動與測控技術，為用戶
新品推薦 P79.Z200S/K86-D一維Z向高精度壓電顯微樣品臺，帶樣品夾持架！
P79.Z200S/K86-D壓電顯微樣品臺專為顯微成像結構設計，可配合宏動顯微掃描臺以及市面上壓電馬達平臺使用，進行
P60.X200系列高精度一維壓電納米定位臺應用于光學測量
在向更高精度、更高效的方向發展，芯明天納米定位臺以其高精度和快速的響應速度特點，在光學測量技術中提供納米級精密定位，可使測量結果更精確。 注
多功能推拉力測試儀功能微焊點強度測試
全自動化設計多功能推拉力測試機，可進行金線拉力、金球推力、芯片推力的測試應用。工作臺X方向最大行程100毫米和Y方向最大行程100毫米；運動
MSO1000Z/DS1000Z 系列 數字示波器用戶手冊
電子發燒友網站提供《MSO1000Z/DS1000Z 系列 數字示波器用戶手冊.pdf》資料免費下載
發表于 03-29 14:58
?0次下載
P35A.U1S/K一維大負載壓電偏轉鏡，45°傾斜安裝！
P35A.U1S/K是一款具有大負載、高頻率特點的θx向運動一維壓電偏轉鏡。它的偏轉角度可達1.
安泰ATA-P1005壓電疊堆放大器在納米定位臺驅動中的應用
特點，ATA-P1005壓電疊堆放大器可為納米定位臺提供（-3dB）DC~10kHz帶寬，0V~150V電壓的驅動，今天我們就來具體了解
XD605.X90一維大負載電容傳感壓電納米定位臺及配套電容閉環控制器
新年伊始，萬象更新。芯明天持續深挖行業需求，攻克技術壁壘，推陳出新，為客戶解決一個又一個精密定位技術的難題。 本次為大家介紹一款一維大負載電
HO-P系列電流互感器HO 60 250-P系列產品手冊
電子發燒友網站提供《HO-P系列電流互感器HO 60 250-P系列產品手冊.pdf》資料免費下載
發表于 01-19 09:24
?0次下載
自供電氣體傳感器未來發展機遇與挑戰
在自供電氣體傳感器中，最普遍使用的能量采集器包括摩擦電納米發電機（TENG）、壓電納米發電機（PENG）、熱電發電機（TEG）和太陽能電池。
發表于 01-08 09:26
?703次閱讀
工商網監
評論