RCA清洗機配置設置有哪些
RCA清洗機是一種用于半導體制造過程中的濕法清洗設備，主要用于去除晶圓表面的有機和無機污染物。雖然知道它的重要性，但是大家也好奇，這臺機器配置設置是什么樣的？
RCA清洗機配置設置參數詳解
主要由兩只石英加熱缸、兩套溫度控制系統、兩只快速噴淋排水槽(QDR)、兩套噴淋控制系統、一只氫氟槽、一只一階溢流槽、一只三階溢流槽、兩套吸酸排放器等構成。
設備還配備有電氣控制部分、化學工藝槽、純水清洗槽等，并提供與廠務供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統配套的接口。
根據這些配置與特性，大家現在知道RCA清洗機目前主要應用于半導體制造行業。此外，隨著半導體技術的不斷發展，對晶圓表面的清潔度要求越來越高，這也促進了RCA清洗機在半導體制造行業中的廣泛應用。同時，由于RCA清洗機具有高精度、高效率、自動化程度高等特點，也受到了其他行業的青睞，如光電子、納米科技等領域。
審核編輯 黃宇
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