1?設(shè)備型號(hào)

3臺(tái)和FIB聯(lián)用為雙束聚焦離子束顯微鏡（FIB-SEM），能夠?yàn)榭蛻籼峁I(yè)的材料分析服務(wù)。

2?

原理

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是一種采用尖端肖特基熱場(chǎng)發(fā)射技術(shù)的先進(jìn)顯微鏡。與傳統(tǒng)的掃描電鏡相比，場(chǎng)發(fā)射技術(shù)提供了更強(qiáng)的電子束能量，從而使得二次電子圖像更為清晰，理論上放大倍數(shù)可超過十萬倍。此外，場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡在進(jìn)行電子背散射衍射（EBSD）測(cè)試時(shí)也顯示出顯著的優(yōu)勢(shì)。

掃描電子顯微鏡是以能量為1—30kV間的電子束，以光柵狀掃描方式照射到被分析試樣的表面上，利用入射電子和試樣表面物質(zhì)相互作用所產(chǎn)生的二次電子和背散射電子成像，獲得試樣表面微觀組織結(jié)構(gòu)和形貌信息。配置波譜儀和能譜儀，利用所產(chǎn)生的X射線對(duì)試樣進(jìn)行定性和定量化學(xué)成分分析。

該儀器具有超高分辨率，能做各種固態(tài)樣品表面形貌的二次電子像、反射電子象觀察及圖像處理。該儀器利用二次電子成像原理，在鍍膜或不鍍膜的基礎(chǔ)上，低電壓下通過在納米尺度上觀察生物樣品如組織、細(xì)胞、微生物以及生物大分子等，獲得忠實(shí)原貌的立體感極強(qiáng)的樣品表面超微形貌結(jié)構(gòu)信息。具有高性能x射線能譜儀，能同時(shí)進(jìn)行樣品表層的微區(qū)點(diǎn)線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學(xué)組分綜合分析能力。

3?

應(yīng)用領(lǐng)域

適用于納米材料精細(xì)形貌的觀察，可獲取高質(zhì)量高分辨二次電子圖像。該儀器配備的X射線能譜儀可對(duì)塊狀樣品做定性及半定量分析。

（1）可向樣品室充入多種氣體，在低真空下仍能獲得優(yōu)于2nm的高分辨圖像；

（2）可向樣品室通入水蒸氣，使含水、含油及不導(dǎo)樣品可直接觀察；

（3）可在樣品室內(nèi)對(duì)樣品做加溫、低溫處理，對(duì)化學(xué)反應(yīng)過程進(jìn)行實(shí)時(shí)觀測(cè)。

該設(shè)備適用于物理、材料、半導(dǎo)體、超導(dǎo)體、化學(xué)高分子、地質(zhì)礦物、生物、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的微觀研究和分析。

4?

案例分析

高分辨率的場(chǎng)發(fā)射電鏡觀察支架鍍層截面形貌，鍍層晶格形貌、內(nèi)部缺陷一覽無遺。場(chǎng)發(fā)射電鏡下觀察支架鍍層截面形貌，鍍層界限明顯、結(jié)構(gòu)及晶格形貌清晰，尺寸測(cè)量準(zhǔn)確。此款支架在常規(guī)鍍鎳層上方鍍銅，普通制樣方法極其容易忽略此層結(jié)構(gòu)，輕則造成判斷失誤，重則造成責(zé)任糾紛，經(jīng)濟(jì)損失！