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什么是硅晶圓?哪些廠商生產(chǎn)硅晶圓?

傳感器技術(shù) ? 來(lái)源:未知 ? 作者:李倩 ? 2018-03-26 10:57 ? 次閱讀

近年來(lái)全球硅晶圓供給不足,導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見(jiàn)度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國(guó)內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開(kāi)始,期望能夠打破進(jìn)口依賴,并且有足夠的能力滿足市場(chǎng)需求。

知識(shí)點(diǎn)一:什么是硅晶圓?

硅晶圓就是硅元素加以純化(99.999%),接著是將這些純硅制成長(zhǎng)硅晶棒,成為制造積體電路的石英半導(dǎo)體的材料,經(jīng)過(guò)照相制版,研磨,拋光,切片等程序,將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圓。

1、純化。分成兩個(gè)階段,第一步是冶金級(jí)純化,此過(guò)程主要是加入碳,以氧化還原的方式,將氧化硅轉(zhuǎn)換成 98% 以上純度的硅。大部份的金屬提煉,像是鐵或銅等金屬,皆是采用這樣的方式獲得足夠純度的金屬。但是,98% 對(duì)于芯片制造來(lái)說(shuō)依舊不夠,仍需要進(jìn)一步提升。因此,將再進(jìn)一步采用西門子制程(Siemens process)作純化,如此,將獲得半導(dǎo)體制程所需的高純度多晶硅。

圖:硅柱制造流程

2、拉晶。首先,將前面所獲得的高純度多晶硅融化,形成液態(tài)的硅。之后,以單晶的硅種(seed)和液體表面接觸,一邊旋轉(zhuǎn)一邊緩慢的向上拉起。至于為何需要單晶的硅種,是因?yàn)楣柙优帕芯秃腿伺抨?duì)一樣,會(huì)需要排頭讓后來(lái)的人該如何正確的排列,硅種便是重要的排頭,讓后來(lái)的原子知道該如何排隊(duì)。最后,待離開(kāi)液面的硅原子凝固后,排列整齊的單晶硅柱便完成了。

圖:?jiǎn)尉Ч柚?/p>

3、切割成片。只是,一整條的硅柱并無(wú)法做成芯片制造的基板,為了產(chǎn)生一片一片的硅晶圓,接著需要以鉆石刀將硅晶柱橫向切成圓片,圓片再經(jīng)由拋光便可形成芯片制造所需的硅晶圓。

圖:硅晶圓就長(zhǎng)這樣

6寸、8寸、12寸指的是什么?

指的是產(chǎn)生的晶柱,表面經(jīng)過(guò)處理并切成薄圓片后的直徑。尺寸越大時(shí),拉晶對(duì)速度與溫度的要求更高,因此做出高品質(zhì)12寸晶圓的難度比8寸晶圓更高。

知識(shí)點(diǎn)二:哪些廠商生產(chǎn)硅晶圓?

集成電路用硅片是制造技術(shù)門檻極高的尖端高科技產(chǎn)品,全球只有大約10家企業(yè)能夠制造,其中前5家企業(yè)占有90%的市場(chǎng)份額。世界頭兩名集成電路用硅片制造商是日本信越(Shin-Etsu)和SUMCO,占全球60以上%;這兩家企業(yè)生產(chǎn)的大尺寸硅片(200毫米和300毫米)則占全球的70%以上,形成絕對(duì)壟斷和極高的技術(shù)壁壘。

全球硅片生產(chǎn)廠商包括日本信越(Shin-Etsu)、日本勝高(Sumco)、***環(huán)球晶圓(Global Wafer)、德國(guó)世創(chuàng)(Siltronic)、韓國(guó)LG Siltron、法國(guó)Soitec、***合晶(Wafer Works)、芬蘭Okmetic、***嘉晶(Episil)。

2017年8月,勝高(SUMCO)宣布投資約3.97億美元增產(chǎn)旗下伊萬(wàn)里工廠,是近十年來(lái)首次大規(guī)模增產(chǎn),預(yù)計(jì)于2019年上半年將12寸硅晶圓的月產(chǎn)能提高11萬(wàn)片。

環(huán)球晶圓在***、中國(guó)大陸、日本與歐美等地均有布局,公司已與日本半導(dǎo)體設(shè)備廠Ferrotec合作建置上海8英寸硅晶圓廠,初期月產(chǎn)能約達(dá)10萬(wàn)片。 同時(shí),雙方也已洽商在杭州另行興建8英寸廠,初步規(guī)劃于2019年底時(shí)可開(kāi)始生產(chǎn)。

環(huán)球晶圓是中美硅晶的子公司,2012年收購(gòu)?fù)ㄟ^(guò)前身為東芝陶瓷的 CovalentMaterials(現(xiàn)為CoorsTek)的半導(dǎo)體晶圓業(yè)務(wù),擴(kuò)大了業(yè)務(wù)范圍。后通過(guò)收購(gòu)全球第四大半導(dǎo)體硅晶圓制造與供貨商SunEdisonSemiconductor一躍成為第三大硅晶圓供貨商。

全球第四大硅晶圓廠商Siltronic總部位于德國(guó)慕尼黑,資料顯示公司在德國(guó)擁有150/200/300mm的產(chǎn)線,在美國(guó)有一座200mm的晶圓廠,在新加波則擁有200和300mm的產(chǎn)線。

LG Siltron是LG旗下制造半導(dǎo)體芯片基礎(chǔ)材料半導(dǎo)體硅晶片的專門企業(yè)。然而SK集團(tuán)于2017年1月份收購(gòu)了LG Siltron 51%的股份,以此打入半導(dǎo)體材料和零件領(lǐng)域。

2018年3月21日,嘉晶董事長(zhǎng)徐建華表示,客戶端對(duì)嘉晶需求非常強(qiáng),追單多到難以滿足,車用、挖礦、資料中心等訂單尤其超強(qiáng)勁,有的客戶甚至要求簽訂長(zhǎng)約,以保障產(chǎn)能。嘉晶今年初擴(kuò)增產(chǎn)能,新產(chǎn)能約第二季起陸續(xù)產(chǎn)出,后續(xù)擴(kuò)產(chǎn)也會(huì)專注在利基型產(chǎn)品。

國(guó)內(nèi)硅晶圓項(xiàng)目有哪些?

目前國(guó)內(nèi)已經(jīng)開(kāi)始硅片項(xiàng)目,包括上海新昇、重慶超硅、寧夏銀和、浙江金瑞泓、鄭州合晶、西安高新區(qū)項(xiàng)目等。合計(jì)投資規(guī)模超520億元人民幣,正在規(guī)劃中的12寸硅片月產(chǎn)能已經(jīng)達(dá)到120萬(wàn)片。

新昇半導(dǎo)體是全球領(lǐng)先的12寸大硅片制造商之一,專注于300mm硅片的制造。2017年新昇開(kāi)始試生產(chǎn),向各類客戶提供測(cè)試片。在過(guò)去的6個(gè)月內(nèi)每月產(chǎn)出數(shù)萬(wàn)片,目前正在進(jìn)行第一階段每月10萬(wàn)硅片產(chǎn)能的建設(shè),預(yù)計(jì)今年內(nèi)完成,并在今年下半年開(kāi)始下一階段每月20萬(wàn)硅片產(chǎn)能的建設(shè),預(yù)計(jì)將在2019年完成。

2018年3月18日,總投資16億元的寧夏銀和半導(dǎo)體科技有限公司大尺寸半導(dǎo)體硅片項(xiàng)目在銀川經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)工。項(xiàng)目建成后,可年產(chǎn)420萬(wàn)片8英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶硅片和年產(chǎn)240萬(wàn)片12英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶硅片。

天津中環(huán)半導(dǎo)體最新公告表明,公司在直拉單晶方面實(shí)現(xiàn)了 8 英寸直拉單晶量產(chǎn),并在2018 年一季度,實(shí)現(xiàn) 12 英寸直拉單晶樣品試制。在半導(dǎo)體區(qū)熔單晶及拋光片方面,8 英寸半導(dǎo)體拋光片項(xiàng)目產(chǎn)能已陸續(xù)釋放,2018 年 3 月,8 英寸拋光片產(chǎn)能已達(dá)到10 萬(wàn)片/月,預(yù)計(jì)項(xiàng)目 2018 年 10 月建成。

后產(chǎn)能將達(dá)到 30 萬(wàn)片/月,實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)最大市場(chǎng)占有率,同時(shí)建立12 英寸拋光片試驗(yàn)線,預(yù)計(jì) 2018 年底實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能 2 萬(wàn)片/月。公司在江蘇地區(qū)大直徑拋光片產(chǎn)業(yè)化方面預(yù)計(jì) 2018 年四季度設(shè)備進(jìn)場(chǎng)調(diào)試。項(xiàng)目投資完成后,預(yù)計(jì) 2022年將實(shí)現(xiàn) 8 英寸拋光片產(chǎn)能 75 萬(wàn)片/月,12英寸拋光片產(chǎn)能 60 萬(wàn)片/月的生產(chǎn)規(guī)模。

重慶超硅半導(dǎo)體于2014年5月開(kāi)工,2016年4月投入試生產(chǎn)。2016年5月第一根IC級(jí)8英寸單晶硅棒成功拉出;2016年9月第一根IC級(jí)12英寸單晶硅棒成功拉出;2016年10月第一批IC級(jí)單晶硅順利下線,預(yù)示“極大規(guī)模集成電路用300毫米(含200毫米)單晶硅晶體生長(zhǎng)與拋光硅片及延伸產(chǎn)品(一期)”項(xiàng)目正式建成,并舉行產(chǎn)品下線儀式;2017年1月20日第一批200毫米硅片產(chǎn)品出廠發(fā)貨。達(dá)產(chǎn)后將實(shí)現(xiàn)8英寸硅片年產(chǎn)600萬(wàn)片、12英寸硅片年產(chǎn)60萬(wàn)片的產(chǎn)能。

2017年1月金瑞泓科技(衢州)有限公司舉行開(kāi)工儀式,項(xiàng)目規(guī)劃總投資50億元,建成月產(chǎn)40萬(wàn)片8英寸硅片和月產(chǎn)10萬(wàn)片12英寸硅片的項(xiàng)目規(guī)模。項(xiàng)目計(jì)劃分三期逐步實(shí)施。一期總投資約7億元,建設(shè)周期為2017年至2019年,用地100畝,計(jì)劃2017年建成月產(chǎn)10萬(wàn)片8英寸硅外延片項(xiàng)目;二三期項(xiàng)目總投資43億元,用地120畝,將形成月產(chǎn)30萬(wàn)片8英寸硅片項(xiàng)目生產(chǎn)線和月產(chǎn)10萬(wàn)片12英寸硅片項(xiàng)目生產(chǎn)線。

2017年7月27日,鄭州合晶硅材料有限公司年產(chǎn)240萬(wàn)片200mm硅單晶拋光片生產(chǎn)項(xiàng)目建設(shè)動(dòng)員大會(huì)舉行。項(xiàng)目計(jì)劃總投資53億元,占地153畝,主要建設(shè)200毫米、300毫米硅材料襯底片和外延片生產(chǎn)基地。項(xiàng)目共分兩期實(shí)施,一期產(chǎn)能為200毫米硅材料襯底片20萬(wàn)片/月,二期產(chǎn)能為300毫米硅材料襯底片25萬(wàn)片/月和外延片9萬(wàn)片。

2017年12月9日,奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目簽約儀式在西安舉行。西安高新區(qū)與北京芯動(dòng)能公司、北京奕斯偉公司三方共同簽署了硅產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目投資合作意向書(shū)。根據(jù)意向書(shū),該項(xiàng)目總投資超過(guò)100億元,由北京芯動(dòng)能公司旗下北京奕斯偉公司作為主體統(tǒng)一規(guī)劃、分期推進(jìn)。

知識(shí)點(diǎn)三:供需關(guān)系解讀

據(jù)Gartner的預(yù)測(cè),到2020年全球硅片市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到110億美元左右。目前全球硅晶圓供給方面,12英寸硅晶圓月產(chǎn)能約550~560萬(wàn)片。目前國(guó)還不具備12英寸硅片的生產(chǎn)能力,一直依賴進(jìn)口,當(dāng)前國(guó)內(nèi)的總需求約為45萬(wàn)片/月,預(yù)估到2020年我國(guó)12寸硅片月需求量為80-100萬(wàn)片。

據(jù)了解國(guó)內(nèi)規(guī)劃中的12寸硅片月產(chǎn)能已經(jīng)達(dá)到120萬(wàn)片,如果順利進(jìn)行那么產(chǎn)能就能滿足自我需求。另外業(yè)內(nèi)人士表示,如果國(guó)內(nèi)8英寸項(xiàng)目都能實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)目標(biāo),將可能會(huì)出現(xiàn)產(chǎn)能過(guò)剩

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原文標(biāo)題:一文讀懂硅晶圓缺貨背后的供需關(guān)系!

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