技術成熟的MEMS加速度計分為三種:壓電式、容感式、熱感式。壓電式MEMS加速度計運用的是壓電效應，在其內(nèi)部有一個剛體支撐的質(zhì)量塊，有運動的情況下質(zhì)量塊會產(chǎn)生壓力，剛體產(chǎn)生應變，把加速度轉變成電信號輸出。

容感式MEMS加速度計內(nèi)部也存在一個質(zhì)量塊，從單個單元來看，它是標準的平板電容器。加速度的變化帶動活動質(zhì)量塊的移動從而改變平板電容兩極的間距和正對面積，通過測量電容變化量來計算加速度。Freescale的MMA7660FC這一款加速度計（3-Axis Orientation/Motion Detection Sensor），這一款芯片也是利用這一原理設計的。datasheet的第9頁介紹了其工作原理：當芯片有向右的加速度時，中間的活動質(zhì)量快相對于另外兩塊電容板向左移動，這兩平行板電容器的電容就發(fā)生了變化，從而測量出芯片運動的加速度。

MEMS陀螺儀MEMS陀螺儀利用科里奧利力——旋轉物體在有徑向運動時所受到的切向力。假設旋轉物體有徑向速度Vr，那么將會產(chǎn)生切向科里奧利加速度

從上面的公式中，我們可以看到科里奧利加速度的大小是正比于物體旋轉的角速度。如果我們在切向安裝一個加速度計測出科里奧利加速度，那么我們就可以間接得到物體旋轉的角速度。實際的MEMS陀螺儀的設計如下圖。如果物體在圓盤上沒有徑向運動，科里奧利力就不會產(chǎn)生。因此，在MEMS陀螺儀的設計上，這個物體被驅動，不停地來回做徑向運動或者震蕩，與此對應的科里奧利力就是不停地在橫向來回變化，并有可能使物體在橫向作微小震蕩，相位正好與驅動力差90度。MEMS陀螺儀通常有兩個方向的可移動電容板。徑向的電容板加震蕩電壓迫使物體作徑向運動（有點象加速度計中的自測試模式），橫向的電容板測量由于橫向科里奧利運動帶來的電容變化（就象加速度計測量加速度）。因為科里奧利力正比于角速度，所以由電容的變化可以計算出角速度。