白光干涉儀目前在3D檢測(cè)領(lǐng)域是精度最高的測(cè)量?jī)x器之一，在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測(cè)精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)的超精密加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它的儀器無(wú)法達(dá)到其測(cè)量精度要求。

白光干涉儀測(cè)量原理：

白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分威兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。

白光干涉儀的測(cè)量應(yīng)用：

以測(cè)量單刻線臺(tái)階為倒，在檢查儀器的各線路接頭都準(zhǔn)確插到對(duì)應(yīng)插孔后，開(kāi)啟儀器電源開(kāi)關(guān)，啟動(dòng)計(jì)算機(jī)，將單刻線臺(tái)階工件放置在載物臺(tái)中間位置，先手動(dòng)調(diào)整載物臺(tái)大概位置，對(duì)準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方。

在計(jì)算機(jī)上打開(kāi)白光干涉儀測(cè)量軟件，在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行的最低點(diǎn)，再微調(diào)鏡頭與被測(cè)單刻線臺(tái)階表面的距離，調(diào)整到計(jì)算機(jī)屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時(shí)設(shè)置好要掃描的距離。按開(kāi)始按鈕，白光干涉儀可自動(dòng)進(jìn)行掃描測(cè)量，測(cè)量完成后，轉(zhuǎn)件自動(dòng)生成3D圖像，測(cè)量人員可以對(duì)3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，獲得被測(cè)器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。

白光干涉儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能全面、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀獨(dú)有的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。