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化合物半導(dǎo)體磊晶廠的未來發(fā)展及展望

半導(dǎo)體動態(tài) ? 來源:工程師吳畏 ? 2019-03-22 16:26 ? 次閱讀

傳統(tǒng)硅半導(dǎo)體因自身發(fā)展局限和摩爾定律限制,需尋找下一世代半導(dǎo)體材料,而化合物半導(dǎo)體材料的高電子遷移率、直接能隙與寬能帶等特性,恰好符合未來半導(dǎo)體發(fā)展所需,終端產(chǎn)品趨勢將由5G通訊、車用電子與光通訊領(lǐng)域等應(yīng)用主導(dǎo)。

化合物半導(dǎo)體市場分析

根據(jù)現(xiàn)行化合物半導(dǎo)體元件供應(yīng)鏈,元件制程最初步驟由晶圓制造商選擇適當(dāng)特性的基板(Substrate),以硅、鍺與砷化鎵等材料作為半導(dǎo)體元件制程的基板,基板決定后再由磊晶廠依不同元件的功能需求,于基板上長成數(shù)層化合物半導(dǎo)體的磊晶層,磊晶層成長完成后,再透過IDM廠或IC設(shè)計、制造與封裝等步驟,完成整體元件的制造流程,最終由終端產(chǎn)品廠商組裝和配置元件線路,生產(chǎn)手機與汽車等智慧應(yīng)用產(chǎn)品。

化合物半導(dǎo)體于終端市場應(yīng)用

元件產(chǎn)品依循化合物半導(dǎo)體材料特性(如耐高溫、抗高電壓、抗輻射與可發(fā)光)加以開發(fā),將終端市場分為5個領(lǐng)域:電源控制(Power Control)、無線通訊(Wireless)、紅外線(Infrared)、太陽能(Solar)與光通訊(Photonics)。

以電源控制為例,由于氮化鎵(GaN)和碳化硅(SiC)等材料有不錯的耐高電壓和高頻特性,因此適合用于制造功率因素校正(Power Factor Correction,PFC)和高壓功率放大器(High Voltage Power Amplifier,HVPA)等高功率元件,是現(xiàn)階段支撐化合物半導(dǎo)體電源控制領(lǐng)域的重要指標(biāo)。

在太陽能和光通訊方面,由于砷化鎵(GaAs)材料具備較佳的能源轉(zhuǎn)換率,以及適合接收來自紅光和紅外光等波段訊號,因此適合開發(fā)太陽能電池(Photovoltaics)和光偵測器(Photonic Detection)等應(yīng)用場域。

近年手機通訊領(lǐng)域蓬勃發(fā)展,帶動無線模塊關(guān)鍵零組件濾波器(Filter)、開關(guān)元件(Switch)與功率放大器(Power Amplifier)等元件需求成長;而砷化鎵材料因具有低噪聲、低耗電、高頻與高效率等特點,已廣泛應(yīng)用于手機通訊并占有重要地位,帶動砷化鎵磊晶需求逐年提升。

在國防領(lǐng)域,現(xiàn)階段對紅外光的需求(如紅外光熱影像和高功能夜視鏡)以中、長波長紅外光(LWIR、MWIR)等軍事領(lǐng)域為主,同樣帶動砷化鎵磊晶需求。在生物和醫(yī)療領(lǐng)域,由磷化銦(InP)材料作為雷射光源的關(guān)鍵核心,使得相關(guān)磊晶需求看漲。整體而言,將化合物半導(dǎo)體多元的材料特性應(yīng)用于相關(guān)元件領(lǐng)域中,可產(chǎn)生許多新的可能性,帶動磊晶產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展。

化合物半導(dǎo)體磊晶廠現(xiàn)況

現(xiàn)行化合物半導(dǎo)體商用磊晶制程技術(shù),大致可分成MOCVD(有機金屬氣相沉積法)和MBE(分子束磊晶技術(shù)),若以成長技術(shù)而論,MOCVD成長條件由氣相方法進行,透過氫氣(H2)或氮氣(N2)等特定載氣(Carrier Gas)引導(dǎo),使三族(III A)和五族(V A)氣體均勻混合后,再導(dǎo)入反應(yīng)腔體中,接著透過適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)溫度(400~800度),讓氣體裂解并成長于基板上。MBE成長條件則透過元素加熱方式,借由超高真空環(huán)境的腔體,將所需磊晶元素加熱升華形成分子束,當(dāng)分子束接觸基板后,就可形成所需磊晶結(jié)構(gòu)。

若以量產(chǎn)速率分析MOCVD和MBE磊晶設(shè)備的優(yōu)缺點,MOCVD為氣相方式導(dǎo)入反應(yīng)腔體,其速度較MBE快1.5倍(MBE需時間加熱形成分子束);但以磊晶質(zhì)量來說,由于MBE可精準(zhǔn)控制分子束磊晶成長,因此相較MOCVD有較佳結(jié)果。

觀察現(xiàn)行磊晶廠發(fā)展趨勢,雖MBE所需成本較高且速度較慢,但符合國防和光通訊領(lǐng)域等高精密元件產(chǎn)品需求。目前化合物半導(dǎo)體的IDM廠,大多選擇以MBE磊晶設(shè)備為成長方式,除了IDM廠外,磊晶代工廠英商IQE和IET,亦選用MBE作為廠內(nèi)磊晶設(shè)備。

另一方面,由于MOCVD采用氣相成長方式,可快速且大范圍進行磊晶成長,雖然其磊晶質(zhì)量稍不如MBE,但對需要大量、大面積磊晶成長的元件產(chǎn)品有吸引性,例如太陽能電池元件等。目前全球化合物半導(dǎo)體磊晶廠中,主要有6成廠商選擇可大范圍成長的MOCVD機臺;另外4成則選擇高精密性的MBE設(shè)備。

根據(jù)2018年全球化合物磊晶廠預(yù)估營收占比可知,全球化合物半導(dǎo)體磊晶產(chǎn)業(yè)營收已超過4.9億美元,且英商IQE營收占整體比例約44%,與2016年營收維持相同比例,穩(wěn)居磊晶龍頭寶座;排名第二的聯(lián)亞,2018年預(yù)估占比依然維持在16%(同2016年)。此外,全新光電營收占比,由2017年17%降至2018年預(yù)估的14%;全球MBE磊晶第二大廠IET(英特磊)營收,則由2017年7%降至2018年預(yù)估的5%,其衰退原因與中美貿(mào)易戰(zhàn)和全球手機銷售不如預(yù)期有關(guān),使得市占率小幅衰退。

化合物半導(dǎo)體磊晶廠未來發(fā)展

針對化合物半導(dǎo)體未來的終端市場需求,依照不同元件特性可分為傳輸和無線通訊的5G芯片、耐高溫與抗高電壓的車用芯片,以及可接收和回傳訊號的光通訊芯片三大領(lǐng)域。借由5G芯片、車用芯片與光通訊芯片的元件開發(fā),將帶動未來磊晶廠營收和資本支出,確立未來投資方向。

終端市場未來走向

由化合物半導(dǎo)體發(fā)展趨勢可知,未來元件需求將以高速、高頻與高功率等特性,連結(jié)5G通訊、車用電子與光通訊領(lǐng)域的應(yīng)用,突破硅半導(dǎo)體摩爾定律限制。

化合物半導(dǎo)體磊晶廠的未來發(fā)展及展望

▲未來磊晶廠終端產(chǎn)品趨勢

硅半導(dǎo)體元件因受限于電子遷移率(Electron Mobility)、發(fā)光效率與環(huán)境溫度等限制,難以滿足元件特性需求,因此當(dāng)化合物半導(dǎo)體出現(xiàn),其高電子遷移率、直接能隙與寬能帶等特性,為元件發(fā)展的未來性提供新契機。隨著科技發(fā)展,化合物半導(dǎo)體的元件制程技術(shù)亦趨成熟,傳統(tǒng)硅半導(dǎo)體的薄膜、曝光、顯影與蝕刻制程步驟,皆已成功轉(zhuǎn)置到化合物半導(dǎo)體上,有助于后續(xù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展。

關(guān)于無線通訊領(lǐng)域的未來發(fā)展,現(xiàn)行廠商已逐漸由原先4G設(shè)備更新至5G基礎(chǔ)建設(shè),5G基地臺的布建密度將更甚4G,且基地臺內(nèi)部使用的功率元件,將由寬能帶氮化鎵功率元件取代DMOS(雙重擴散金氧半場效晶體管)元件。在基地臺建置部分,目前已集中在IDM廠(如Qorvo、Cree與日本住友電工),且各代工大廠相繼投入,導(dǎo)致市場競爭激烈;此外,中國廠商原先欲借由并購國外大廠進入氮化鎵代工市場,卻因國防安全為由受阻,因此現(xiàn)階段中國廠商對氮化鎵基地臺的發(fā)展受限。

為提升無線通訊質(zhì)量,5G通訊市場將以較小功率消耗和較佳電子元件等特性為目標(biāo)而努力,因此選擇砷化鎵和磷化銦等化合物半導(dǎo)體材料,作為PA(功率放大器)和LNA(低噪音放大器)等射頻元件(Radio Frequency,RF)。

整體而言,由于砷化鎵射頻元件市場多由IDM廠(如Skyworks、Qorvo與Broadcom)把持,因此只有當(dāng)需求超過IDM廠負(fù)荷時,才會將訂單發(fā)包給其他元件代工廠,對其他欲投入元件代工的廠商而言則更困難。由于中國手機市場對射頻元件的國內(nèi)需求增加,且預(yù)期5G手機滲透率將提升,或許中國代工廠商的射頻制程技術(shù)提升后,可趁勢打入砷化鎵代工供應(yīng)鏈,提高射頻元件市占率。

在車用芯片部分,由于使用環(huán)境要求(需于高溫、高頻與高功率下操作),并配合汽車電路上的電感和電容等,使得車用元件體積較普通元件尺寸占比大,透過化合物半導(dǎo)體中,寬能帶半導(dǎo)體材料氮化鎵和碳化硅等特性,將有助實現(xiàn)縮小車用元件尺寸。

借由氮化鎵和碳化硅取代硅半導(dǎo)體,減少車用元件切換時的耗能已逐漸成為可能。以氮化鎵和碳化硅材料作為車用功率元件時,由于寬能帶材料特性,可大幅縮減周圍電路體積,達到模塊輕量化效果,且氮化鎵和碳化硅較硅半導(dǎo)體有不錯的散熱特性,可減少散熱系統(tǒng)模塊,進一步朝車用輕量化目標(biāo)邁進。

此外,車用芯片對光達(LiDAR)傳感器的應(yīng)用也很重要,為了實現(xiàn)自動駕駛汽車或無人車技術(shù),先進駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)中的光達傳感器不可或缺,透過氮化鎵和砷化鎵磊晶材料滿足其元件特性,作為光達傳感器所需。

在光通訊芯片領(lǐng)域方面,為了解決金屬導(dǎo)線傳遞訊號的限制和瓶頸,因而開發(fā)以雷射光在光纖中作為傳遞源的概念,突破原先電子透過金屬纜線下容易發(fā)生電阻和電容時間延遲(RC Delay)現(xiàn)象,且借由雷射光快速傳遞和訊號不易衰退特性,使得硅光子技術(shù)(Silicon Photonics)逐漸受到重視。

由于光通訊芯片對光收發(fā)模塊的需要,PD(光偵測器)與LD(雷射偵測器)等模塊需求上升,帶動砷化鎵與磷化銦磊晶市場。此外,近年手機搭配3D感測應(yīng)用有明顯成長趨勢,帶動VCSEL(垂直腔面發(fā)射激光器)元件需求增加,砷化鎵磊晶也逐步升溫,未來3D感測用的光通訊芯片,其應(yīng)用范圍除了手機,亦將擴充至眼球追蹤技術(shù)、安防領(lǐng)域(Security)、虛擬實境(VR)與近接識別等領(lǐng)域。

磊晶廠未來展望

雖然2018年手機銷售量相較2017年略為衰退,且2019年手機銷售量將趨于保守,但近年因Apple手機的3D感測技術(shù)受到重視,帶動非Apple陣營加速導(dǎo)入3D感測市場,促使VCSEL需求增溫,對光通訊領(lǐng)域的元件需求有增加趨勢,帶動2018年部分磊晶廠資本支出成長。

2019年手機銷售量可能下滑和5G手機預(yù)估滲透率偏低等情形,將影響手機元件市場(如PA和LNA)與磊晶廠營收表現(xiàn),現(xiàn)階段5G通訊領(lǐng)域還有待電信營運商的基地臺建置和開發(fā)市場,2019年營收成長有限,將連帶影響磊晶廠部分營收。

車用芯片由于使用環(huán)境較為嚴(yán)苛與需承受高電壓和高溫等條件,多選擇氮化鎵和碳化硅等化合物半導(dǎo)體;而電動車市場未來將持續(xù)小幅成長,帶動車用功率半導(dǎo)體元件需求,進而推升氮化鎵和碳化硅磊晶營收成長。

此外,先進駕駛輔助系統(tǒng)的光達元件需求逐年提升,促使氮化鎵和砷化鎵磊晶需求增溫,整體而言,未來車用化合物芯片的需求將逐步增加,成為磊晶市場持續(xù)成長的主要動能之一。

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