嚴格的產(chǎn)品質(zhì)量要求需要在潔凈或超凈室內(nèi)進行生產(chǎn)。即使是空氣中最小的雜質(zhì)也會對生產(chǎn)流程造成不利影響,導(dǎo)致高報廢率。該類生產(chǎn)環(huán)境下的空氣補給幾乎需要100%無塵無細菌,而風機對此起著重要作用。然而,風機要做的不應(yīng)該僅僅只是“流通空氣”,除了要求的空氣動力性能外,尺寸緊湊、噪聲低、潔凈室適用材料、智能控制、連網(wǎng)能力和24/7節(jié)能運行等都屬于關(guān)鍵標準。
EC離心風機,讓潔凈室節(jié)能高效地運行
潔凈室對其通風系統(tǒng)有特殊要求,包括充足的空氣流量和壓力、精確的溫度和濕度調(diào)控以及始終如一的空氣質(zhì)量(圖1),不管空氣流通方式或房間尺寸如何均同樣適用(圖2)。可以通過風機過濾單元(FFU)實現(xiàn)這些要求,該單元將過濾系統(tǒng)與風機相結(jié)合,采用吸頂式安裝,特別是在大型潔凈室中。
圖1:潔凈室通風有2種氣流系統(tǒng):紊流(左)和層流(右)
在潔凈室使用FFU是補給潔凈空氣最經(jīng)濟的方法之一。FFU的核心極其緊湊,扁平化設(shè)計的模塊式內(nèi)置風機只需要很小的安裝空間。
圖2:即插即用式風機模塊,風機過濾單元FFU應(yīng)用(左),吸頂式FFU,內(nèi)部裝有空氣顆粒物過濾器(右)
由于高空氣置換率,潔凈室中運行的空調(diào)和通風系統(tǒng)消耗能量最多,使能源效率日益成為一個重要問題。FFU生產(chǎn)商不僅需要高度緊湊的風機,還必須使其高效地運行。這就使我們的綠色科技EC技術(shù)的優(yōu)勢顯得尤為突出,因為采用該技術(shù)的FFU能達到50%以上的效率,而對于傳統(tǒng)風機技術(shù)這是不可能實現(xiàn)的。在噪聲釋放方面,綠色科技EC風機也能滿足嚴格的要求,例如,RadiCal?離心風機的噪音水平比之前的市場標準低6-7dB(A),可顯著改善潔凈室噪音水平和工人的舒適度。
電機和風機專家依必安派特提供一系列專門用于風機過濾單元并且滿足所有相關(guān)強制性要求的EC離心風機。可選直徑有310、355 和400mm,在250-300 Pa背壓下空氣動力性能可達1170、1750和2330m3/h。風機因其外轉(zhuǎn)子設(shè)計極為緊湊,高度從190到275mm不等,尺寸扁平,方便與同樣緊湊的FFU集成。
圖3:采用節(jié)能型綠色科技EC技術(shù)的緊湊風機,用于風機過濾單元
智能控制,迎接物聯(lián)網(wǎng)時代
因為EC電機效率極高,排放到流通空氣中的廢熱很少,產(chǎn)生的環(huán)境熱應(yīng)力也較小,從而顯著降低了對冷卻系統(tǒng)的需求。
通過0-10V信號或數(shù)字RS-485界面控制EC風機,可以實現(xiàn)基于實際需求的運行,此應(yīng)用非常適用于有幾千臺、甚至幾萬臺FFU運行的潔凈室。在這種情況下,使用Modbus 或ebmBUS進行聯(lián)網(wǎng)極為切實有效(圖4),通過中央電腦控制界面可以平穩(wěn)調(diào)整電機運行速度。由于EC電機在部分荷載運行中比基于其它控制理念的電機效率更高,因而經(jīng)濟性也更高。如果某臺過濾器吸頂風機故障,可以通過增加鄰近風機的速度進行補償。這種冗余功能可以通過維持適當氣流,實現(xiàn)高度的運行可靠性。
圖4:支持Modbus和ebmBUS接口聯(lián)網(wǎng)的EC風機,可使用直觀的軟件進行控制
多項測試,保證風機安全可靠
風機在潔凈室內(nèi)使用時,其葉輪通常由金屬制成,關(guān)于在潔凈室通風系統(tǒng)中使用塑料制品常常有所保留。塑料制品生產(chǎn)過程中的添加劑疑似會釋放和威脅到潔凈室生產(chǎn)制程有關(guān)的風險,依必安派特審慎分析了釋氣問題。
RadiCal?系列風機已經(jīng)經(jīng)過潔凈室運行違禁物質(zhì)嚴格測試,根據(jù)半導(dǎo)體行業(yè)ITRS 標準對這些物質(zhì)進行了評估。依必安派特的RadiCal?葉輪成功通過了所有相關(guān)測試。測試結(jié)果顯示,所使用的塑料無毒無害,潛在污染物的排放水平遠遠低于許可范圍。現(xiàn)在,用戶在潔凈室應(yīng)用中也能享受到塑料葉輪創(chuàng)新設(shè)計的所有好處。畢竟,塑料可以提供比金屬多得多的設(shè)計選擇(圖5)。
圖5:RadiCal系列離心風機,潔凈廠房的不二之選
依必安派特將攜通風及制冷解決方案亮相國際半導(dǎo)體行業(yè)盛事SEMICON CHINA,屆時現(xiàn)場將有產(chǎn)品解說及演示,歡迎前來揭秘更多新科技!
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原文標題:依必安派特丨潔凈室FFU節(jié)能高效運行的背后
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