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MEMS加速度計的工作原理及設計方法

EE techvideo ? 來源:EE techvideo ? 2019-06-25 06:13 ? 次閱讀

演示文稿中介紹了加速度在生活中的現象,并基于生活中的加速度現象引申到MEMS加速度計的工作原理。詳細介紹了胡克定律和牛頓第二定律,以及如果結合這兩個定律來推導出加速度的測量方法。演示文稿中還給出了芯片級加速度計的運動示意,以及它的一些設計方法,難點和信號鏈。

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