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ADI高校講座系列:微機(jī)電系統(tǒng)(4)

EE techvideo ? 來源:EE techvideo ? 2019-08-13 06:00 ? 次閱讀

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機(jī)電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級,是一個獨(dú)立的智能系統(tǒng)。

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