2019年5月7日，由西北工業(yè)大學主辦的第25屆世界微機械會議在西安舉行。本次會議的舉辦對西工大、西安市和陜西省在微機械、芯片制造、智能制造等高科技領域的發(fā)展具有重要推動作用。這是西北工業(yè)大學首次贏得World Micromachine Summit的舉辦權，標志著西工大在該領域的實力和地位，也表明西安市和陜西省在微機械、芯片制造、智能制造等高科技領域具有雄厚的實力。會議由西北工業(yè)大學機電學院苑偉政教授擔任會議主席，訂于2019年5月6日-10日在西安舉辦。

第25屆世界微機械會議（World Micromachine Summit 2019，MMS 2019）由中國代表團組織主辦，有20多個國家和地區(qū)代表團的近100位代表參加。西北工業(yè)大學校長汪勁松出席開幕式。

第25屆世界微機械會議（MMS 2019）的主題是“智能制造——從芯片開始”，包括微納尺度的能源收集及存儲、生物芯片、光電設備、柔性電子器件、先進打印技術以及其他與微納技術和智能系統(tǒng)相關的研究開發(fā)成果。

世界微機械會議（World Micromachine Summit，MMS）是微機械技術領域的世界頂級會議，由在微機械技術領域具有國際競爭力的包括美國、日本、德國在內(nèi)的二十多個國家和地區(qū)的代表團參加，代表團都是各國該領域的“國家隊”。

世界微機械會議旨在為全球范圍內(nèi)工業(yè)、學術以及政府推動并展現(xiàn)微納技術和智能系統(tǒng)的發(fā)展概況。各國代表團成員以圓桌會議的形式討論每個國家和地區(qū)在微納技術方面的最新研究進展，進一步推動各國微納技術和智能系統(tǒng)的發(fā)展。

世界微機械會議（World Micromachine Summit，MMS）是1995年由日本微機械中心（Micromachine Center）組織發(fā)起。第一屆MMS于1995年3月13-15日在日本京都召開，來自10個國家的代表參加了此次會議。其后每年舉辦一屆，截止目前已經(jīng)舉辦24屆，代表團已擴大到25個國家和地區(qū)。

第25屆世界微機械會議在西工大舉辦，標志著西工大在微機械領域的工作得到了世界范圍內(nèi)同行頂級專家的公認，表明西工大具有與世界一流學科比肩的實力和重要的國際影響力。西北工業(yè)大學擁有“極端環(huán)境智能微系統(tǒng)國家重點實驗室（培育）”、“空天微納系統(tǒng)教育部重點實驗室”和“陜西省微/納米系統(tǒng)重點實驗室”及機械電子工程國家重點學科、微機電系統(tǒng)及納米技術國防重點學科、相關“985工程”、“211工程”科技創(chuàng)新平臺。

微/納米系統(tǒng)實驗室成立于1993年，是國內(nèi)較早開展微機電系統(tǒng)研究的單位之一。經(jīng)長期發(fā)展，特別是 “十五”以來經(jīng)過“985工程”、“211工程”建設，已經(jīng)成為西北工業(yè)大學微納系統(tǒng)方向博士、碩士研究生培養(yǎng)以及本科生創(chuàng)新設計培養(yǎng)的重要基地，具有強的科學研究、設計開發(fā)與人才培養(yǎng)能力。目前實驗室具備國內(nèi)一流、國際先進的實驗條件，在面向“三航”應用的高端MEMS以及微機電系統(tǒng)集成設計等方面處于國內(nèi)領先地位，在國際相關領域有重要影響。

依托實驗室建設發(fā)展的“微機電系統(tǒng)及納米技術”學科為機械工程一級學科下有博士、碩士授予權的自設二級學科，是機械工程一級學科聯(lián)合儀器科學與技術、光學工程、生物醫(yī)學工程等多個一、二級學科博士、碩士點建立起的新興、交叉、邊緣學科，是西工大“十五”重點建設學科，國家“985工程”重點建設項目。2002年，“微機電系統(tǒng)及納米技術”學科被列為國防重點學科。2007年，以微納系統(tǒng)技術為主干方向申報獲批了“機械電子工程”國家重點學科。此外，實驗室還擁有儀器科學與技術一級學科下的測試計量技術及儀器博士點、精密儀器及機械博士點、機械設計制造及其自動化博士點等。

建立并發(fā)展成國際一流水平的“空天微納系統(tǒng)教育部重點實驗室”和“陜西省微納米系統(tǒng)重點實驗室”，近兩次考核均為優(yōu)秀。目前實驗室設備資產(chǎn)達到了4000多萬元。實驗室形成了國內(nèi)少有的系統(tǒng)完整的硅基MEMS設計、制造、測試平臺，以及國際領先的聚合物柔性MEMS制造平臺，有力支撐了學科建設和發(fā)展，并為國內(nèi)外提供代工服務，保障了型號任務，促進了產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。

實驗室是國內(nèi)高校少有的面向全國開放的微納系統(tǒng)制造和研發(fā)平臺之一。實驗室擁有規(guī)范的管理、培訓、運行和對外開放制度。實驗室為清華大學、北京大學、上海交通大學、航天771所、航空618所、兵器212所、中科院西安光機所等國內(nèi)幾十家單位提供了微納加工技術及相關器件研發(fā)支持。此外，實驗室還與航天014基地、總裝29基地、中國船舶科學研究中心等建立了良好合作關系，正在與華大電子等國家重點企業(yè)籌建有關微納科技的聯(lián)合培訓中心等。2010年，與山東淄博高新區(qū)建立了微傳感器聯(lián)合研究中心。

爭取到國家儀器重大專項、863、973、國防基礎研究計劃、國家自然科學基金等國家級項目30余項，總經(jīng)費超過1.2億元。在微機電系統(tǒng)設計、流動測控靈巧蒙皮技術等方面的處于國際領先水平，在微慣性器件與系統(tǒng)、微光學器件、微能源、微流體等方面形成了鮮明的特色。獲國家技術發(fā)明二等獎2項，省級科技一等獎3項。在國內(nèi)外重要學術刊物上發(fā)表一批高水論文，包括領域國際頂尖學術刊物J.MEMS論文5篇，位列中國大陸高校前列，SCI/EI收錄論文242篇。獲授權國家發(fā)明專利80余項。《微機電系統(tǒng)制造技術》獲國家科學技術學術出版基金資助出版。

2012年虞益挺獲全國百篇優(yōu)秀博士論文獎。編著的《微機械與微細加工技術》為我國早期系統(tǒng)全面論述MEMS的論著之一，被評為教育部研究生推薦教材。《微機電系統(tǒng)》被列為MEMS領域唯一的國家級規(guī)劃教材。建立微納米小精靈創(chuàng)新設計基地，學生共獲得國際一等獎、全國一等獎等大獎20余項，創(chuàng)新競賽獲獎層次和總數(shù)名列全國高校前茅。學生創(chuàng)新作品得到科技部長萬鋼等高度贊揚。研究成果“創(chuàng)建微納新興交叉學科平臺，培育拔尖創(chuàng)新人才”2014年獲國家教學成果一等獎。

團隊入選教育部創(chuàng)新團隊。逐漸形成了以青年優(yōu)秀骨干教師為主的團隊，其中入選教育部新世紀優(yōu)秀人才培養(yǎng)計劃4人，獲“洪堡學者”基金1人，入選中組部萬人計劃2人，青年拔尖人才1人，當選“長江學者”特聘教授1人，院士有效候選人1人。

建立了國家“111”引智基地。與美國加州理工學院、加州大學伯克利分校、德國慕尼黑工業(yè)大學、弗萊堡大學、法國巴黎高師等多所國際著名大學建立了良好合作關系，支持學生出國參加IEEE MEMS等領域頂級國際會議，選派學生和教師到世界一流大學深造。邀請包括諾貝爾獎獲得者Wolfgang Ketterle、崔琦，美國工程院院士何志明在內(nèi)的幾十名著名教授來校講學，大幅提升了學科的國際化水平。

參會人員中包括MEMS技術的奠基人、世界上最早實現(xiàn)MEMS技術商業(yè)化的著名專家、美國工程院院士、美國機械工程學會終身會士，獲得澳大利亞科技界奧斯卡獎的澳大利亞昆士蘭微納中心主任，德國著名的國家研究中心弗朗霍夫研究院納米電子系統(tǒng)中心主任，西班牙國家納米研究中心主任，日本東京大學微納研究中心主任，韓國科學院微納研究中心首席科學家、韓國微納學會主席，國內(nèi)相關領域院士等世界微機械領域頂級大咖。他們的工作有些改變了歷史，有些已寫入了教科書。

會議方向涉及微機械等世界前沿科技以及智能制造、芯片制造等國家熱點、難點，與國家科技發(fā)展和人民生活息息相關。

微機械是基于芯片制造技術的精密機械，通常包括了微/納傳感器、微納執(zhí)行器以及檢測控制電路為一體的微系統(tǒng)，是繼微電子發(fā)展起來的又一項戰(zhàn)略性高新技術。它是人類認識和改造世界的重要新型手段，是功能結(jié)構(gòu)微型化、集成化、靈巧化的典型代表。微機械不僅涉及微電子學、微機械學、微光學、微流體學、微熱力學、物理學、化學和生物學等眾多學科，而且涉及從材料、設計、制造、控制、能源直到測試、集成、封裝等一系列技術環(huán)節(jié)，被視為21世紀有望根本改變世界面貌的關鍵技術領域，也是國際競相發(fā)展的戰(zhàn)略性高新技術領域。

鑒于微機械產(chǎn)品的多樣性及諸多優(yōu)點，當前國民經(jīng)濟幾乎所有的行業(yè)都對微機械產(chǎn)品的應用有著廣闊和迫切的需求。從物聯(lián)網(wǎng)、智慧城市、智能建筑、智能交通的建設，到水質(zhì)、土壤、大氣等環(huán)境的監(jiān)測與保護；從解決地溝油、毒牛奶等食品安全問題，到預先監(jiān)測禽流感、SARS等高傳染性病毒；從現(xiàn)代老齡化社會常見的糖尿病、高血脂、青光眼等疾病的預防，到艾滋病、癲癇病等各種疑難雜癥的治療；從高端機床研制、油氣田開發(fā)，到大飛機、載人航天與探月、航空發(fā)動機，十六個國家重大科技工程，幾乎都對微機械產(chǎn)品的應用有著迫切的需求。

來自二十多個多個國家和地區(qū)的微機械領域“國家隊”代表，就微機械領域科學技術的發(fā)展做了精彩的報告，許多“黑科技”有望進一步改變?nèi)祟惿睢?/p>

美國工程院院士、美國機械工程學會終身會士Kurt Peterson報告了許多新科技，包括讓盲人復明的可植入眼睛的微機械系統(tǒng)，手掌大的基因測序芯片，可隨身攜帶的用于疾病診斷的微機械分子檢測裝置等。

新加坡南洋理工大學的繆建民（Miao Jianmin）教授報告了可用于大氣污染環(huán)境檢測的微機械芯片，或可對我們的霧霾監(jiān)測分析提供新的技術手段。

比利時魯文大學的Michael Kraft教授報告了面向微生化反應器的多物理量集成傳感器，在一個芯片上可以同時檢測葡萄糖、乳酸、酸堿度、細胞密度等，或可用于太空站可循環(huán)生命系統(tǒng)檢測。

中國科學院電子學研究所王軍波研究員報告了新型的基于電化學原理的地震波傳感器，未來可用于地震檢測、地球物理勘測、海底檢測等。

北京大學張海霞教授報告了一種手機滑擦產(chǎn)能裝置，通過在手機表面做一層特殊的看不見的微納結(jié)構(gòu)的膜，用手指在表面滑擦，就可以產(chǎn)生能量，換句話說，我們通過滑手機就可以發(fā)電了。雖然目前電量還比較小，但未來大有可期。

清華大學朱榮教授報告了一種基于電極陣列的細胞處理儀器，可以對單個細胞實現(xiàn)捕捉、移動、測量、穿孔等操作，為生物醫(yī)療提供了一個便利的細胞實驗站。

西北工業(yè)大學常洪龍教授報告了一種新的高靈敏度微傳感器機理，靈敏度比世界上原有的同類傳感器提高了幾百倍，據(jù)此他們做出了超精密的可以測量單個電子的儀器，可應用于航天等特殊的高精尖領域。

舉辦這次會議將進一步擴大西工大、西安市和陜西省在相關高科技領域影響力，促進高校雙一流建設、西安市和陜西省高科技發(fā)展。