電容傳感器是指將被測量(如尺寸、壓力等)的變化轉換成電容量變化的一種傳感器。實際上,它本身(或和被測物體)就是一個可變電容器。
電容傳感器可以直接測量的非電量為:直線位移、角位移及介質的幾何尺寸(或稱物位),直線位移及角位移可以是靜態的,也可以是動態的,例如是直線振動及角振動。用于上述三類非電參數變換測量的變換器一般說來原理比較簡單,無需再作任何預變換。
用來測量金屬表面狀況、距離尺寸、振幅等量的傳感器,往往采用單極式變間隙電容傳感器,使用時常將被測物作為傳感器的一個極板,而另一個電極板在傳感器內。
近年來已采用這種方法測量油膜等物質的厚度。這類傳感器的動態范圍均比較小,約為十分之幾毫米左右,而靈敏度則在很大程度上取決于選材、結構的合理性及寄生參數影響的消除。精度達到0.1μm,分辨力為0.025μm。可以實現非接觸測量,它加給被測對象的力極小,可忽略不計。
電容傳感器結構內具有四個基本元件,即傳感器板、振蕩器、觸發電路和輸出端。目標物體和傳感器板構成了振蕩器反饋電路。當物體和傳感器板靠近時,反饋電容出現;當大電容出現時,就會開始振蕩。觸發電路感應振蕩水平并得以控制,從而改變輸出端開關裝置的狀態。物體越遠離傳感器尖端時振蕩幅度降低,而靠近時幅度增加。其在本質上為電容傳感器的工作原理。
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