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基于各向異性磁阻傳感器的車輛監測系統設計[圖] - 全文

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2021-12-22 10:17:21712

用于化學分析的Si各向異性濕法化學蝕刻

各向異性濕式化學蝕刻。 本文主要目的是評估不同的各向異性蝕刻劑,用于微加工柱、分裂器和其他幾何圖案的變體,可用作構建更復雜的微加工結構的構建塊,并可能用于化學分析應用。我們根據微加工,介紹各向異性濕式化學
2021-12-22 17:29:021095

低濃度KOH中的各向異性蝕刻

。在堿性溶液中,TMAH和KOH最廣泛地用于濕法各向異性蝕刻。當考慮到互補金屬氧化物半導體的兼容性,并且熱氧化物被用作掩模層時,使用解決方案。為了獲得和氫氧化鉀之間的高蝕刻選擇性。 即R和Si的顯著蝕刻速率,氫氧化鉀優于
2021-12-28 16:36:401056

AMR、GMR和TMRc傳感各自有什么特色

電子發燒友網報道(文/李寧遠)縱觀磁傳感器的發展歷程,可以分為以下幾個階段,先是基于霍爾效應的磁傳感器,到基于各向異性磁阻效應的磁傳感器,也就是AMR傳感,再到基于巨磁阻的GMR傳感,最后是基于隧道
2022-02-15 17:25:227629

半導體各向異性蝕刻的表面化學和電化學

摘要 綜述了半導體各向異性蝕刻的表面化學和電化學。描述了對堿性溶液中硅的各向異性化學蝕刻和 n 型半導體中各向異性孔的電化學蝕刻的最新見解。強調了電流效應在開路蝕刻中的可能作用。 介紹 由于簡單
2022-03-03 14:16:37905

各向同性和各向異性工藝如何用于改善硅濕蝕刻

通過使用各向同性和各向異性工藝,可以高精度地創建由硅濕法蝕刻產生的微觀結構。各向同性蝕刻速度更快,但可能會在掩模下蝕刻以形成圓形??梢愿_地控制各向異性蝕刻,并且可以產生具有精確尺寸的直邊。在每種
2022-03-09 16:48:342018

一種改進的各向異性濕法蝕刻工藝

我們開發了一種改進的各向異性濕法蝕刻工藝,通過在晶片上使用單個蝕刻掩模來制造各種硅微結構,這些微結構具有圓形凹角和尖銳凸角、用于芯片隔離的凹槽、蜿蜒的微流體通道、具有彎曲V形凹槽的臺面結構以及具有
2022-03-14 10:51:42581

微機械中的各向異性蝕刻技術與發展方向

單晶S1, 作為IC、LSI的電子材料, 用于微小機械部件的材料,也就是說,作為結構材料的新用途已經開發出來了。其理由是, 除了單晶SI或機械性強之外,還在于通過利用僅可用于單晶的晶體取向的各向異性
2022-03-29 14:57:261014

鐵磁材料的應力致磁各向異性特性研究

實驗名稱:功率放大器在鐵磁鋼材應力致磁各向異性定量檢測特性研究中的應用
2022-04-06 15:47:271598

硅結構的深且窄的各向異性蝕刻研究

在使用低溫卡盤的低壓高密度等離子體反應器中研究了硅結構的深且窄的各向異性蝕刻。我們華林科納以前已經證明了這種技術在這種結構上的可行性。已經研究了蝕刻速率和輪廓的改進,并且新的結果顯示
2022-05-11 15:46:19730

一種干法各向異性刻蝕石墨和石墨烯的方法

我們華林科納研究了一種干法各向異性刻蝕石墨和石墨烯的方法,能夠通過調整蝕刻參數,如等離子體強度、溫度和持續時間,從邊緣控制蝕刻,蝕刻過程歸因于碳原子的氫化和揮發,蝕刻動力學與甲烷形成一致,這種簡單、干凈、可控且可擴展的技術與現有的半導體處理技術兼容。
2022-05-19 17:06:461781

高性能電流傳感器賦能電動化在現實場景中的應用

當電流通過導線時,會產生一個等比例的磁場,而各向異性磁電阻(AMR)電流傳感器正是利用這一自然特性來測量電流。
2023-02-02 10:42:31330

為什么AMR傳感器是高精度位置測量的絕佳選擇

如今,有許多不同的方法來測量移動和旋轉元件的位置。除了光學編碼器、霍爾傳感器和旋轉變壓器外,還使用基于磁阻效應的磁傳感器。存在巨磁阻(GMR)和隧道磁阻(TMR)效應以及各向異性磁阻(AMR)效應,本文將進一步探討。
2023-02-15 10:54:501348

高速硅濕式各向異性蝕刻技術在批量微加工中的應用

蝕刻是微結構制造中采用的主要工藝之一。它分為兩類:濕法蝕刻和干法蝕刻,濕法蝕刻進一步細分為兩部分,即各向異性各向同性蝕刻。硅濕法各向異性蝕刻廣泛用于制造微機電系統(MEMS)的硅體微加工和太陽能電池應用的表面紋理化。
2023-05-18 09:13:12700

功率放大器在鐵磁鋼材應力致磁各向異性定量檢測特性研究中的應用

實驗名稱:功率放大器在鐵磁鋼材應力致磁各向異性定量檢測特性研究中的應用實驗目的:本實驗探究了應力致磁各向異性的物理表現及其定量檢測應力的特性,設計搭建了實驗系統,制作了鐵磁性Q195鋼材平板試件
2022-09-23 09:22:49340

KMXP2000磁阻傳感器線性位置測量

KMXP2000是一款高精度的線性位置傳感器,它采用了各向異性磁阻(AMR)技術,相比于傳統的霍爾傳感器,可以提供更高的位置精度。KMXP2000可以分別與一系列磁極間距的磁柵尺配合使用,同時傳感器
2023-05-05 16:06:40413

G-MRCO-052位移傳感器原理

,KMXP 傳感器提供比常用的霍爾傳感器更高的精度,設計為在包括高溫在內的嚴苛環境中提供可靠和準確的測量。G-MRCO-050傳感器測量原理基于各向異性磁阻效應(AMR
2023-05-18 17:25:04314

KMA36磁阻傳感器線性測量應用原理

KMA36是一款精確測量轉角或直線位移的通用磁性編碼器。芯片包括一個磁阻元件,模數轉換器和信號處理系統。利用AMR各向異性磁阻,KMA36可以非接觸測量360°角位移以及直線位移。傳感器的睡眠/低功耗模式和I2C喚醒功能可以讓電池供電設備。數據可以通過PWM或兩線(SDA,SCL)通訊總線傳輸。
2023-05-19 16:39:46438

KMXP5000磁柵尺傳感器在石油石化的應用

KMXP5000磁柵尺傳感器測量原理基于各向異性磁阻效應(AMR 效應)。這些傳感器提供兩種不同的DFN封裝,可用于多個定位選項。這些封裝可以輕松集成到自動裝配過程中。
2023-06-03 10:16:34249

關于KMA36位置傳感器的應用描述

KMA36位置傳感器將其連接到使用可配置IC通信的Grove兼容擴展端口的系統。 將磁阻元件同模數轉換器和信號處理功能一起置于一個標準的小型封裝內。傳感器以5V的外部電壓工作。通過使用各向異性磁阻 (AMR) ,KMA36 能夠以非接觸方式確定外部磁鐵360°范圍內的磁場角度。
2023-06-08 15:44:10261

結構參數對各向異性磁電阻(AMR)磁場傳感器性能的影響

鎳鐵(NiFe)合金具有較強的各向異性磁電阻效應、較高的居里溫度、易于實現與電路集成以及較低的制作成本等優點,成為開發磁電阻傳感器的首選材料。
2023-06-21 09:29:50377

什么是各向異性刻蝕?

各向異性刻蝕是一種減材微加工技術,旨在優先去除特定方向的材料以獲得復雜且通常平坦的形狀。濕法技術利用結構的晶體特性在由晶體取向控制的方向上進行蝕刻。 然而,概述了一些定性方面用于解釋各向異性的性質
2023-08-22 16:32:01407

G-MRCO-015磁阻傳感器

G-MRCO-015磁性角度傳感器是基于各向異性磁阻效應的磁場傳感器。例如,KMT32B磁性角度傳感器可以在磁場強度大于25kA/m的應用中獨立感測磁場方向。G-MRCO-015磁性角度傳感器包含兩個平行的惠斯通電橋,每個電橋可以測量45度。
2023-05-16 16:00:040

G-MRCO-016磁阻角位移傳感器

G-MRCO-016磁性角度傳感器是基于各向異性磁阻效應的磁場傳感器。例如,G-MRCO-016磁性角度傳感器可以在磁場強度大于25kA/m的應用中獨立感測磁場方向。G-MRCO-016磁性角度傳感器包含兩個平行的惠斯通電橋,每個電橋可以測量45度。
2023-05-16 16:00:380

KMXP2000磁阻傳感器

KMXP磁阻傳感器沿著磁尺移動,位置的變化產生正弦和余弦輸出信號。為了取得滿意的測量結果,KMXP磁阻傳感器邊沿與磁尺表面的間隙不能超過半個磁極距。由于KMXP磁阻傳感器是基于各向異性磁阻效應,信號
2023-05-17 10:30:030

KMXP1000磁阻直線位移傳感器

KMXP磁阻傳感器沿著磁尺移動,位置的變化產生正弦和余弦輸出信號。為了取得滿意的測量結果,KMXP磁阻傳感器邊沿與磁尺表面的間隙不能超過半個磁極距。由于KMXP磁阻傳感器是基于各向異性磁阻效應,信號
2023-05-17 10:30:330

SDTR一種薄膜面內各向異性熱導率的測量方法

SDTR一種薄膜面內各向異性熱導率的測量方法近年來,隨著半導體行業的迅猛發展,半導體元件的體積急劇減小,對芯片或薄膜材料的熱物性探究至關重要,這樣給予針對超小尺寸的熱物性探測技術提供了發展需求,而其
2023-12-14 08:15:52180

RFID各向異性導電膠類型和可靠性

各向異性導電膠能夠實現單方向導電,即垂直導電而水平不導電。各向異性導電膠的固體成分是多樣的,可以是Ag顆粒,聚合物和合金焊粉。固化溫度范圍很廣,涵蓋100到200多攝氏度。RFID芯片在與基板鍵合時
2024-01-05 09:01:41232

各向異性導電膠原理 各向異性導電膠的工藝步驟

各向異性導電膠(Anisotropic Conductive Adhesives,簡稱ACAs)是一種具有導電性的膠粘劑,可用于電子元器件的連接和封裝。與傳統的導電膠相比,ACAs具有更好的導電性
2024-01-24 11:11:56466

基于3D打印的各向異性壓阻式壓力傳感器,實現方向力感知

各向異性壓力傳感器由于在識別不同方向力方面的敏感性,在下一代可穿戴電子設備和智能基礎設施中越來越受到關注。
2024-03-20 09:25:48224

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