1.前言

　　本文將以“有機EL，柔性顯示器的中流砥柱”為題，介紹柔性顯示器的開發、實用化現狀與展望。有機EL也叫 OLED（Organic Light Emitting Diode），尤其是驅動元件采用TFT的有源矩陣驅動式有機EL（AMOLED：Active Matrix Organic Light Emitting Diode），能夠實現高清晰度的全彩顯示。

　　在進入正題之前，筆者將首先比較液晶與有機EL兩種顯示器的器件構造。然后明確大型有機EL電視的量產課題；接著介紹2015年11月初發表的單層構造的有機EL；最后講解正題“柔性有機EL的現狀”，希望通過筆者的講解，讓大家認識到現狀與最終目標存在的差距。

　　2. 液晶 vs. 有機EL

　　2.1　顯示器的器件構造與直接材料成本比率

　　筆者目睹了顯示器市場從長期占據主流的顯像管（CRT）到液晶的變遷。不只是CRT和液晶，在形形色色的顯示中，部件和材料的作用乍看普通，其實都非常重要，是在顯示技術發展中決定產品優劣的最大要素之一。

　　CRT 與液晶的共同點是部件數量多、通用性高。CRT廠商和液晶面板廠商很容易就能更換部件供貨廠商，在市場成熟之后，依然有新企業不斷涌入。部件廠商之間，改 善性能、降低成本的競爭增加。通過競爭，改善性能、降低成本兩個原本相悖的趨勢實現了齊頭并進。在激烈競爭的洗禮下，技術的進步令人嘆為觀止。筆者認為， 部件通用性高、涉足門檻低的技術，是成為顯示器主力軍的必備條件。

　　現在，以有機EL為中心，新一代顯示器的開發和實用化進行得如火如荼。新一代顯示器一般傾向于把部件數量少、構造簡單作為理想狀態。構造簡單當然最好不過，但不可否認的是，部件數量少可能會導致參與開發的企業少，競爭有限。

　　液晶的一大優勢，在于部件廠商的技術提案非常多。顯示性能好的顯示器，并不一定就能成為主流。還必須看起能夠占領市場的投資和部件產業的發展。現在已經建立起穩固地位的液晶，還有激光源、量子點等部件新選擇，所以今后，其地位估計今后也不會動搖。

　　圖 1是液晶和有機EL（這里分別為TFT-LCD和AMOLED）的器件構造。圖中（）內的數字代表成本比率。AMOLED是自發光器件，無需背光單元 （BLU）。而TFT-LCD（一般使用的透射型），背光單元是必需品，占總成本的比率高達50％。從削減成本的角度出發，背光單元等部件也是重要項目。 因為在TFT-LCD的成本構成中，直接材料成本（部件成本）占到了60～70％，如果不從這里著手改良，根本不可能削減成本。通過TFT-LCD基板的 大型化削減成本的方式已經達到了極限。

　　（b）AMOLED的器件構造

　　圖1：TFT-LCD與AMOLED的器件構造與成本構成

　　TFT- LCD如圖1所示，包括作為透射型顯示器光源的BLU、隨著加載電場開關燈光的液晶和偏光板，以及實現彩色化的彩色濾光片（CF），部件的功能各自獨立。 而且，TFT基板與CF基板基本上是通過不同的工序制作。因此可以逐道工序進行檢查及修復。這特別有助于提高使用大型基板的大屏幕TFT-LCD（1枚基 板可以制作的數量少）的成品率。

　　而AMOLED則是通過在TFT陣列的基板上疊加納米級有機膜的方式制作。因此，從器件構造來說，雖然每層有機膜的功能各自獨立，但無法在加工過程中進行檢查和修復。可以稱之為“功能集成器件”。

　　2.2 量產有機EL電視面臨的課題

　　2013 年的“SID”舉辦的“LCD or OLED？”講座（Session 3）上，筆者以“TFT-LCD as leading role in FPD”為題發表了特邀演講。在演講中，列舉了有機EL電視存在的5個量產課題，指出“重要的是解決這些課題，向消費者展示與液晶電視的差別，并且具有價 格競爭力”。

　　（a）發光材料：低分子（真空蒸鍍）或高分子（印刷）、熒光或磷光

　　（b）需要解決耗電量、壽命、殘影等問題

　　（c）支持第10代面板的TFT陣列制造裝置

　　（d）替代掩模蒸鍍的分涂技術和裝置

　　（e）支持大型面板的封裝技術和裝置

　　那 場演講已經過去了2年多，現在量產大屏幕電視用有機EL面板的企業，只有韓國LG顯示器一家。聽說該公司雖然沒有取得明顯的技術突破，但通過改變器件構 造，提高了成品率。不過，產量等于［（成品率×開工率）/工期時間］，由此推測，IGZO的成膜和發光層蒸鍍工序的開工率絕對不高。

　　3. 有機EL的器件構造與制造工藝

　　（a）有機EL（OLED）

　　（b）有機EL（OLED）

　　圖2：過去的多層構造與新開發的單層構造的有機EL（OLED）

　　現在的有機EL通過使用磷光發光材料，量子效率達到了100％的理論極值。器件構造如圖2（a）所示，采用多層構造。各層使用真空蒸鍍法，層疊納米級有機材料。構成了多層分擔有機EL的各項功能的構造。

　　圖3：利用單層構造有機EL（OLED）實現的白色顯示

　　東 北大學教授磯部寬之等人得到了一個顛覆常識的發現：“通過設計1種基礎材料，可以制作出單層、發光效率接近理論極值的有機EL”（圖2（b））。使用的有 機材料，是僅由碳和氫兩種元素組成的有機物（碳氫化合物）。從分子設計的本質出發，成功簡化了有機EL的設計方針。從“最大限度激發元素性能”的元素戰略 的角度來看，也是一項重要的發現。該研究組已經證實，這種新型的碳氫化合物，能夠利用磷光發光材料，實現紅、綠、藍三原色。如圖3所示，成功制作出了白色 發光器件。

　　這一發現的重點，是使用苯周圍有甲基（CH3）的甲苯，可以制作出功能更強，單層且具有高發光效率的有機EL基礎材料。通過對 樹木中分離出的天然物（甲苯）進行分子設計、化學轉化，形成5個相連的分子（5Me-［5］CMP），即可制作出高功能電子材料。這種電子材料只使用碳和 氫元素。在不久的未來，有望實現“輕輕一噴就能制造”。

　　4. 柔性有機EL的現狀與展望

　　圖4是已經投入量產或正在開發的 有機EL顯示器。現在的大屏幕有機EL電視使用的顯示器，是截面固定的曲線（Fixed Curve）形狀，曲線的半徑R為4500mm。還算不上是柔性顯示器。已經投產的智能手機用“柔性有機EL”，其實是固定曲線或是固定邊緣曲線 （Fixed Edge Curve），也談不上柔性（半徑R方面，固定曲線為700mm，固定邊緣曲線為10mm）。可穿戴用顯示屏也是固定曲線（R＝5～10mm），同樣不是 柔性。現在正在開發的折疊（Large Fold）和多層折疊（Acute Foldable）應該可以稱為柔性顯示器。半徑R方面，折疊為3mm，多層折疊為1mm以下。

　　圖4：已經投入實用和正在開發的柔性有機EL（OLED）

　　現 在，大屏幕電視用有機EL面板，只有LG顯示器投入了量產。其配備的TFT使用IGZO，是在玻璃基板上制作。而移動產品使用的面板，則有韓國三星顯示器 和LG顯示器兩家進行量產。其中也有使用樹脂基板的類型。這些面板都是在玻璃基板上涂布聚酰亞胺膜，在上面制作低溫多晶硅（LTPS）TFT，然后層疊有 機EL，從玻璃基板上剝離聚酰亞胺膜。移動產品用與電視用不同，功耗必須要低，因此只能使用可以形成COMS電路的LTPS TFT。這些都是基于無機半導體的TFT，可以彎曲的半徑存在限制。

　　5. JOLED的戰略

　　下面來介紹匯集日本的最尖端有機EL技術（索尼和松下），于2015年1月5日誕生的“JOLED”公司的技術。JOLED將利用下面的技術，確立OLED的優勢地位。

　　5.1 有機EL印刷技術（Printed OLED）

　　這項技術采用無需RGB真空鍍膜的印刷方式。這種方式是通過在空氣中印刷材料形成發光層（EL層），“無需真空環境”、“無需掩模”，制造工藝需要的投資少，維護簡單。而且容易支持面板的大型化。因為只需要在需要的位置涂布需要的分量，所以材料的損耗少。

　　但是，這樣制作出來的有機EL，是否具有與蒸鍍法相同的特性和壽命？印刷方式能夠實現多高的清晰度？在思考有機EL的應用時，這些是非常重要的課題。通過在中型TFT液晶中應用，4K、8K的高清晰度面板正在開發或已經投入了實用。

　　5.2 氧化物半導體技術

　　這項技術采用索尼開發的自對準型頂柵構造，使用5枚掩模制作TFT。利用自主開發的金屬反應，降低了TFT電極部分的電阻。這項技術確保了TFT的高穩定性。還將通過組合自主開發的補償電路技術，在中型以上尺寸充分發揮有機EL的性能，爭取實現高清晰度、低成本的顯示器。

　　不 過，氧化物半導體的真空鍍膜（濺射）與非晶Si（a-Si）鍍膜使用的等離子CVD相比，裝置的開工率和成品率存在課題。而且，以IGZO為代表的氧化物 半導體為多元材料（例如四元），不容易以均勻的成分和厚度，在大面積基板上制作。從綠色工藝的觀點出發，筆者衷心希望開發出涂布型的氧化物半導體TFT技 術，并將其投入實用。

　　5.3 柔性面板

　　JOLED正在利用在玻璃基板上成膜并轉印至薄膜的技術，開發柔性面板。但是，柔性顯示器的實現，關鍵在于利用卷對卷（R2R）方式進行生產，而非單張方式。重要的是以有別于現有廠商的技術，提供用戶需要的柔性顯示器。

　　6. 結語

　　有 機EL具有液晶難以實現的顯示特性，所以它一直被看作是柔性顯示器的主流。本欄目比較了二者的器件構造及成本構成。在明確大型有機EL電視存在的量產課題 的同時，介紹了當前的柔性有機EL。這些有機EL現在采用的生產方式，與綠色工藝還相去甚遠，換言之，日本廠商還有機會扳回劣勢。筆者這次介紹的都是“日 本發明”的技術，希望這些新技術能夠引領世界的顯示器產業和學會不斷向前發展。（特約撰稿人：鵜飼育弘，Ukai Display Device Institute代表）技術在線