壓電陶瓷具有高可靠性、高分辨率、高剛度、大出力等特點,是精密運動與定位的理想驅動元件。柔性鉸鏈機械結構具有運動平穩、無摩擦、無空回、高精度等特點,適合與壓電陶瓷組成分辨率高,頻響高的精度運動與定位系統。
同時柔性鉸鏈機構還可以提供適當的預緊,避免壓電陶瓷承受拉力,提高系統的使用壽命。以下是一些壓電陶瓷驅動、柔性鉸鏈機構傳動相結合的典型例子。
高精密壓電納米定位臺
壓電納米定位臺采用壓電陶瓷驅動、柔性鉸鏈機構進行位移放大的解決方案,可實現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運動,具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點。位移行程最大可達1.1mm,分辨率可達納米級且具有不錯的可靠性。適用于干涉、顯微、精密加工等領域。
高精密機械加工
由壓電陶瓷元件、柔性鉸鏈機構和閉環傳感器組成的壓電微定位快刀伺服系統,利用其自身所具有的高剛度、高精度等特點,驅動刀具在運動方向快速微進給,實現工件或結構的精密加工。壓電快速刀具定位臺行程可達118μm,分辨率達納米級。
高精密壓電線夾
芯明天公司根據全自動引線鍵合機的要求,設計一款壓電引線線夾,通過柔性鉸鏈機構將壓電陶瓷的位移放大,使其能夠夾持金線進行自由穿行移動。該線夾位移可達70μm,響應時間在毫秒量級。lw
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