一般來說，污物的量包括種類、形狀、尺寸、數(shù)量、重量等衡量指標;具體用何種指標取決于不同污物對產(chǎn)品質(zhì)量的影響程度和清潔度控制精度的要求。產(chǎn)品是由零件經(jīng)過設(shè)備加工裝配而成，所以清潔度分為零件清潔度和產(chǎn)品清潔度。產(chǎn)品的清潔度與零件的清潔度有直接的關(guān)系，同時還與生產(chǎn)工藝過程、潔凈車間環(huán)境、生產(chǎn)設(shè)備及人員有密切關(guān)系。
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　　清潔度：清潔度表示零件或產(chǎn)品在清洗后在其表面上殘留的污物的量。一般來說，污物的量包括種類、形狀、尺寸、數(shù)量、重量等衡量指標;具體用何種指標取決于不同污物對產(chǎn)品質(zhì)量的影響程度和清潔度控制精度的要求。產(chǎn)品是由零件經(jīng)過設(shè)備加工裝配而成，所以清潔度分為零件清潔度和產(chǎn)品清潔度。產(chǎn)品的清潔度與零件的清潔度有直接的關(guān)系，同時還與生產(chǎn)工藝過程、潔凈車間環(huán)境、生產(chǎn)設(shè)備及人員有密切關(guān)系。

　　純凈度(潔凈度)潔凈度的理解：潔凈度指潔凈空氣中空氣含塵(包括微生物)量多少的程度。
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　　生產(chǎn)環(huán)境潔凈：半導體器件生產(chǎn)環(huán)境要求很嚴，要求恒溫、恒濕，按單位體積中規(guī)定的尺寸灰塵粒子為標準分成潔凈度的等級。一般分為10級、100級、1000級、10000級、100000級。
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　　檢測(顆粒測試儀)
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　　1)浮游粒子潔凈度的檢測(顆粒測試儀)

　　采樣：任何潔凈區(qū)的取樣點不少于2個，除受潔凈區(qū)劃內(nèi)的設(shè)備限制外，取樣點應在整個潔凈區(qū)均勻分布，每個選定的取樣點應至少取樣一次。在一個區(qū)內(nèi)總共應最少取樣5次，每個取樣點取樣應多于一次，而不同的取樣點取樣次可以不同。
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　　2)取樣量度和取樣時間：取樣量不少于0.00283立方米(合0.1立方英尺)，并且計算所得取樣量結(jié)果不得四舍五入。取樣時間可以用取樣量除以取樣速率來計算。
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　　潔凈度潔凈室達到潔凈度要求的必要條件：
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　　一、送風潔凈度
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　　要保證送風潔凈度符合要求，關(guān)鍵是凈化系統(tǒng)末級過濾器的性能和安裝。凈化系統(tǒng)末級過濾器一般采用高效過濾器或亞高效過濾器。按我國標準規(guī)定，高效過濾器效率分四檔：A類為≥99.9%，B類為≥99.9%，C類為≥99.999%，D類為(對≥0.1μ m粒子)≥99.999%(亦稱超高效過濾器);亞高效過濾器為(對≥0.5μm粒子)95~99.9%。效率越高，過濾器的價格也越貴。100萬級可選用高中效過濾器;低于1萬級可選用亞高效或A類高效過濾器;1萬~100級選用B類過濾器;100~1級選用C類過濾器。

　　二、氣流組織

　　1) 垂直單向流：只適用于4m以上高大潔凈室，對于相對兩側(cè)格柵的板和相對兩側(cè)墻下部均勻布置回風口的回風方式僅適用兩側(cè)凈間距小于6m的潔凈室;單側(cè)墻下部布回風口僅適用對墻間距較小(如≤<2~3m)的潔凈室。
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　　2) 水平單向流：僅適用于同一房間工藝過程有不同潔凈度要求的潔凈室;送風墻局部布高效過濾器較滿布水平送可減少高效過濾器用量，節(jié)約初投資，但局部區(qū)域有渦流。
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　　3) 亂流型氣流：高效過濾器風口頂送具有系統(tǒng)簡單、高效過濾器后無管道、潔凈氣流直接送達工作區(qū)等優(yōu)點，但潔凈氣流擴散緩慢，工作區(qū)氣流較均勻;不過當均勻地布置多個風口或采用帶擴散板地高效過濾器風口時，也可使得工作區(qū)氣流較均勻;但在系統(tǒng)非連續(xù)運行地情況下，擴散板易積塵。
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　　三、送風量或風速

　　100萬級潔凈室的通風量是按高中效凈化系統(tǒng)考慮，其余均按高效凈化系統(tǒng)考慮;當10萬級潔凈室高效過濾器集中布置在機房或系統(tǒng)末端采用亞高效過濾器時，可適當提高換氣次數(shù)10-20%。
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　　四、靜壓差

　　我國潔凈室建設(shè)初期由于圍護結(jié)構(gòu)密閉性較差，要維持≥5Pa的正壓就要2~6次/h送風量;目前維護結(jié)構(gòu)密閉性已大為提高，維持同樣的正壓只要1~2次/h送風量;維持≥10Pa也只要2~3次/h送風量。我國設(shè)計規(guī)范規(guī)定：不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的靜壓差應不小于0.5mmH20(~5Pa)，潔凈區(qū)與室外的靜壓差應不小于1.0mmH20(~l0Pa)。
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　　例如某公司車間擴散間是1萬級，其它區(qū)域是潔凈度以每立方米(或叫每立方英尺)空氣中的最大允許粒子來確定。等級名稱為每立方米空氣中大于等于0.5微米的最大允許粒子數(shù)的常用對數(shù)值(以10為底)，(英制單位是等級名稱為每立方英尺空氣中大于等于0.5微米的最大允許粒子數(shù))。潔凈技術(shù)是關(guān)鍵子系統(tǒng)(包括半導體和平面顯示器工業(yè)中的流體和氣體配給系統(tǒng))的最大供應商之一。該公司的技術(shù)副總裁兼技術(shù)總監(jiān)Sowmya Krishnan博士說，該公司在全球四分之一的工廠都建了這些系統(tǒng)，每個系統(tǒng)都擁有幾千平方英尺的潔凈室。潔凈等級在1級(ISO 3級)到1000級(ISO 6級)之間，真正地實現(xiàn)無污染、無粉塵的系統(tǒng)生產(chǎn)。

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