1. 設備型號

Horiba 7021-H

2. 原理

EDS能譜儀，是一種分析物質元素的儀器，常與掃描電鏡或者透射電鏡聯用，在真空室下用電子束轟擊樣品表面，激發物質發射出特征x射線，根據特征x射線的波長，定性與半定量分析元素周期表中B-U的元素，EDS可提供樣品表面之微區定性或半定量之成份元素分析，以及特定區域之point、line scan、mapping分析。

3. 分析數據注意點

主要用于元素的定性分析；

能譜儀能夠分析原子序數大于5的元素，波譜儀可以分析原子序數從4～92之間的所有元素；

EDS的分析方式有點分析、線分析和面分析；點分析得到一點的所有元素；線分析每次對的一條線做一種元素分析，多次掃描得到所有元素的線分布；面分析對一個面內的所有元素分析，測得元素含量是測量面范圍的平均值；

EDS做微區分析時所激發的體積為10um3 左右；

EDS常常與SEM結合使用，可對目標部位進行點、線、面形貌掃描和成分分析；

檢測極限：0.1%，只能做半定量分析，精度一般在1%到5%，深度一般為1~5微米。

4. 應用領域及分析案例

（1）燈珠來料元素檢測

（2）芯片結構分析

（3）支架結構分析

（4）鋰電池材料元素分布

（5）其他方面應用

EDS能譜儀，物質元素分析，成分分析，定性定量測試，元素測試，SEM/EDS掃描電鏡，能譜分析，EDS能譜點線面mapping。

責任編輯：tzh