[技術領域]

本實用新型涉及半導體制造技術領域，具體地說是一種酸性化學品供應控制系

統。

由于半導體行業中芯片生產線的工作對象是硅晶片，而能在硅晶片上蝕刻圖形 以及清洗硅晶片上的雜質、微粒子的化學品大多是酸堿性溶液或氣體，如氫氟酸、硫酸等, 酸堿性化學品供應系統則是負責向化學品用戶端供應酸堿性化學品的系統。因此,酸堿性 化學品供應系統是半導體行業中芯片廠化學品系統中最重要的系統之一。

酸性化學品供應控制系統作為酸堿化學品供應系統的種類之一，不僅是一個基礎 系統，也是一個非常重要的系統，主要負責為整個廠區提供必要的酸性化學品，如具有腐蝕 性的化學品:H2S04, HCK HN03, HF, H30P4等，以及具有毒性的化學品：HF、HN03、Poly-Mix、 BOE等,其主要的操作過程是使用酸桶大量地接收化學品，并集中保存在供應槽中，再通過 管道將供應槽中的酸性化學品供應到需要使用此化學品的客戶端設備使用。根據目前現有 技術所使用的情況，由于無法自動判斷酸桶是否需要更換以及供應槽中化學品的量是否適 當，給整個酸性化學品供應體系的操作帶來了困難，并且，對于具有腐蝕性和毒性的酸性化 學品而言，如果此類問題不加以正確處理，帶來的不僅是生產上的損失，還有人身安全的 威脅。因此，如何能夠在最少的人工操作的前提下，使得酸性化學品供應系統穩定安全地自 動運行，是目前本行業急需解決的問題。

[實用新型內容]

本實用新型的目的就是要解決上述的不足而提供一種酸性化學品供應控制系統, 能夠自動判斷酸桶是否需要更換以及供應槽中化學品的量是否適當，實現了最少的人工操 作前提下，使得酸性化學品供應系統穩定、安全地自動運行。

為實現上述目的設計一種酸性化學品供應控制系統，包括酸桶系統和供應槽系 統,所述酸桶系統管道連接供應槽系統，所述供應槽系統管道連接化學品用戶端9,所述酸 桶系統包括酸桶1,所述供應槽系統包括供應槽2、傳感器3、泵4和氣動閥5,所述酸桶1、供 應槽2、傳感器3、泵4和氣動閥5通過PLC6連接。

所述供應槽系統還包括警報裝置7,所述警報裝置7通過PLC6連接酸桶1、供應槽

2、傳感器3、泵4和氣動閥5o

所述供應槽2上設有最低點和最高點，所述供應槽2上最低點和最高點處分別設

有液位傳感器，所述液位傳感器通過PLC6連接警報裝置7。

所述供應槽系統中設有觸摸屏8,所述觸摸屏8通過PLC6連接酸桶1、供應槽2、傳 感器3、泵4、氣動閥5和警報裝置7。

本實用新型同現有技術相比，結構新穎、簡單，由于通過PLC控制酸性化學品供應 控制系統中的氣動閥和泵，以及在供應槽上設有最低點和最高點，并在該最低點和最高點 處分別設有液位傳感器，從而能夠自動判斷酸桶是否需要更換以及自動判斷供應槽中化學 品的量是否適當，實現了以最少的人工操作為前提，使得酸性化學品供應控制系統穩定、安 全地自動運行；而且,本實用新型所述的酸性化學品供應控制系統中還設有報警裝置，并將 該報警系統通過PLC連接酸桶和供應槽，從而能夠及時發現問題并解決，保證了該酸性化 學品供應控制系統長期穩定地運行，且運行非常安全、可靠，避免了生產上的諸多損失，也 保障了現場操作人員的人身安全。

本實用新型包括：酸桶系統和供應槽系統，所述酸桶系統管道連接供 應槽系統，所述供應槽系統管道連接化學品用戶端9,所述酸桶系統包括酸桶1,所述供應 槽系統包括供應槽2、傳感器3、泵4和氣動閥5,所述酸桶1、供應槽2、傳感器3、泵4和氣 動閥5通過PLC6連接，所述供應槽系統還包括警報裝置7,所述警報裝置7通過PLC6連接 酸桶1、供應槽2、傳感器3、泵4和氣動閥5,所述供應槽2上設有最低點和最高點,所述供 應槽2上最低點和最高點處分別設有液位傳感器，所述液位傳感器通過PLC6連接警報裝置 7,所述供應槽系統中設有觸摸屏8,所述觸摸屏8通過PLC6連接酸桶1、供應槽2、傳感器 3、泵4、氣動閥5和警報裝置7。

本實用新型主要的目的是使用酸桶大量地接收化學品，并集中保存在供應槽中， 然后通過管道供應到化學品用戶端。酸桶系統主要是使用200L酸桶大批量將化學品輸送 到供應槽，供應槽系統則根據化學品用戶端的要酸情況，通過管道將化學品輸送到相應設 備。使用時，將200L酸桶放置到機臺的內部，連接好相應的接頭，然后PLC程序自動運行， 當供應槽中的化學品位置低于最低點時，則供應槽向酸桶索要酸性化學品，酸桶開始傳送, 供應槽從酸桶處接受酸性化學品；當供應槽中的化學品位置高于最高點時,則不再索要酸 性化學品，即傳送結束；當酸桶中的化學品不足時，則通過報警裝置提示操作人員做好相應 的換酸桶操作。

本實用新型并不受上述實施方式的限制，其他的任何未背離本實用新型的精神實 質與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應為等效的置換方式，都包含在本實用 新型的保護范圍之內。