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硝酸濃度對多孔氧化鋅薄膜刻蝕工藝能的影響

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微弧氧化工藝是什么?微弧氧化技術(shù)工藝流程及參數(shù)要求

微弧氧化技術(shù)工藝流程 主要包含三部分:鋁基材料的前處理,微弧氧化,后處理三部分 其工藝流程如下:鋁基工件→化學(xué)除油→清洗→微弧氧化→清洗→后處理→成品檢驗(yàn)。
2023-09-01 10:50:341235

干法刻蝕工藝制程中的分類介紹(干法刻蝕關(guān)鍵因素研究)

濕法刻蝕由于精度較差,只適用于很粗糙的制程,但它還是有優(yōu)點(diǎn)的,比如價格便宜,適合批量處理,酸槽里可以一次浸泡25張硅片,所以有些高校和實(shí)驗(yàn)室,還在用濕法做器件,芯片廠里也會用濕法刻蝕來顯露表面缺陷(defect),腐蝕背面多晶硅。
2023-08-28 09:47:44890

光伏刻蝕工藝流程 光刻蝕刻加工原理是什么

刻蝕(Photolithography)是一種在微電子和光電子制造中常用的加工技術(shù),用于制造微細(xì)結(jié)構(gòu)和芯片元件。它的基本原理是利用光的化學(xué)和物理作用,通過光罩的設(shè)計和控制,將光影投射到光敏材料上,形成所需的圖案。
2023-08-24 15:57:422270

地下車庫一氧化濃度為多少時啟動一氧化碳監(jiān)測系統(tǒng)

關(guān)鍵詞:地下車庫、一氧化碳、一氧化碳監(jiān)測系統(tǒng) 安裝地下車庫一氧化碳監(jiān)測的目的:一氧化濃度超標(biāo)情況下保證地下停車場內(nèi)一氧化濃度低于危害水平,屬于安全考慮,能保證空氣質(zhì)量。 車庫一氧化濃度探測器
2023-08-24 10:40:00336

氧化氮在工業(yè)廢氣檢測的重要性

氧化氮,化學(xué)式為NO2,一種棕紅色氣體。在常溫下(0~21.5℃)二氧化氮與四氧化二氮混合而共存。有毒、有刺激性。溶于濃硝酸中而生成發(fā)煙硝酸。能疊合成四氧化二氮。與水作用生成硝酸和一氧化
2023-08-18 11:14:59290

刻蝕工藝主要分為哪幾種類型 刻蝕的目的是什么?

PVP可以在刻蝕過程中形成一層保護(hù)性的膜,降低刻蝕劑對所需刻蝕材料的腐蝕作用。它可以填充材料表面的裂縫、孔洞和微小空隙,并防止刻蝕劑侵入。這樣可以減少不需要的蝕刻或損傷,提高刻蝕的選擇性。
2023-08-17 15:39:392855

半導(dǎo)體前端工藝:沉積——“更小、更多”,微細(xì)化的關(guān)鍵

在半導(dǎo)體制程中,移除殘余材料的“減法工藝”不止“刻蝕”一種,引入其他材料的“加法工藝”也非“沉積”一種。比如,光刻工藝中的光刻膠涂敷,其實(shí)也是在基底上形成各種薄膜;又如氧化工藝中晶圓(硅)氧化,也需要在基底表面添加各種新材料。那為什么唯獨(dú)要強(qiáng)調(diào)“沉積”工藝呢?
2023-08-17 15:33:27370

地下車庫一氧化濃度監(jiān)控系統(tǒng)簡介

關(guān)鍵詞:車庫一氧化濃度監(jiān)控系統(tǒng)、原理 車庫一氧化濃度監(jiān)控系統(tǒng)主要由CO探測器,CO控制器,CO監(jiān)控主機(jī)組成。 車庫一氧化濃度監(jiān)控系統(tǒng)通過CO探測器實(shí)時監(jiān)控區(qū)域內(nèi)的一氧化濃度,當(dāng)濃度超過CO
2023-08-15 17:18:07547

插件壓敏電阻FNR-07K391

K 系列壓敏電阻器氧化鋅壓敏電阻器是以氧化鋅為主要材料制造的半導(dǎo)體無極性電子陶瓷元件。當(dāng)施加在壓敏電 阻器兩端的電壓達(dá)到某一閥值時,壓敏電阻器的電阻值迅猛變小,從而在電子(電力)線路
2023-08-12 16:12:23

半導(dǎo)體前端工藝刻蝕工藝

在半導(dǎo)體前端工藝第三篇中,我們了解了如何制作“餅干模具”。本期,我們就來講講如何采用這個“餅干模具”印出我們想要的“餅干”。這一步驟的重點(diǎn),在于如何移除不需要的材料,即“刻蝕(Etching)工藝”。
2023-08-10 15:06:10506

氧化鋅避雷器的發(fā)展

在電力系統(tǒng)中,保護(hù)設(shè)備免受雷電沖擊和過電壓的影響至關(guān)重要。氧化鋅避雷器作為一種先進(jìn)的過電壓保護(hù)設(shè)備,經(jīng)歷了漫長的發(fā)展過程,并在不斷地進(jìn)步和完善。 氧化鋅避雷器的發(fā)展可以追溯到19世紀(jì)末期,當(dāng)時
2023-08-09 14:27:41301

避雷器在線檢測儀

 一、產(chǎn)品簡介避雷器在線檢測儀用于氧化鋅[MOA]泄漏電流的測量分析。主要是用于測量阻性電流,3~7次諧波電流,從而分析氧化鋅老化和受潮的程度。是檢測氧化鋅避雷器運(yùn)行中的各項(xiàng)交流電氣參數(shù)
2023-08-09 10:49:13

氧化鋅避雷器測試儀(直流)

 一、產(chǎn)品簡介HM6020氧化鋅避雷器測試儀是專門用于檢測10kV及以下電力系統(tǒng)用無間隙氧化鋅避雷器MOA閥電間接觸不良的內(nèi)部缺陷,測量MOA的直流參考電壓(U1mA)和0.75 U1mA
2023-08-08 11:01:16

氧化鋅避雷器的用途

氧化鋅避雷器是一種用于保護(hù)電氣設(shè)備免受電壓過載損害的裝置。其工作原理是基于氧化鋅的電阻特性,在高壓下阻值迅速增加,從而限制電流,使電氣設(shè)備免受過度電壓的損害。以下將詳細(xì)介紹氧化鋅避雷器的用途
2023-08-07 15:43:24723

氧化鋅避雷器測試儀

 一、產(chǎn)品簡介HM6010氧化鋅避雷器測試儀以先進(jìn)的微型計算機(jī)為控制部件,全智能操作,具有抗干擾能力強(qiáng),測量準(zhǔn)確可靠,功能強(qiáng)大,操作方便等優(yōu)點(diǎn),是現(xiàn)場和實(shí)驗(yàn)室檢測氧化鋅避雷器各項(xiàng)交流電
2023-08-07 11:25:59

刻蝕分為哪兩種方式 刻蝕的目的和原理

刻蝕(Etching)的目的是在材料表面上刻出所需的圖案和結(jié)構(gòu)。刻蝕的原理是利用化學(xué)反應(yīng)或物理過程,通過移除材料表面的原子或分子,使材料發(fā)生形貌變化。
2023-08-01 16:33:383908

比肩國際大廠,刻蝕設(shè)備會是率先實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代的嗎?

電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/周凱揚(yáng))在半導(dǎo)體制造的各路工序中,尤其是前道工序中,技術(shù)難度最大的主要三大流程當(dāng)屬光刻、刻蝕薄膜沉積了。這三大工藝的先進(jìn)程度直接決定了晶圓廠所能實(shí)現(xiàn)的最高工藝節(jié)點(diǎn),所用產(chǎn)品
2023-07-30 03:24:481556

北方華創(chuàng)發(fā)布首臺國產(chǎn)12英寸晶邊刻蝕機(jī)

據(jù)介紹,在器件制造過程中,由于薄膜沉積、光刻、刻蝕和化學(xué)機(jī)械拋光等工藝步驟的大幅增長,在晶圓的邊緣造成了不可避免的副產(chǎn)物及殘留物堆積,這些晶邊沉積的副產(chǎn)物及殘留物驟增導(dǎo)致的缺陷風(fēng)險成為產(chǎn)品良率的嚴(yán)重威脅。
2023-07-19 15:02:26607

cmp是什么意思 cmp工藝原理

CMP 主要負(fù)責(zé)對晶圓表面實(shí)現(xiàn)平坦化。晶圓制造前道加工環(huán)節(jié)主要包括7個相互獨(dú)立的工藝流程:光刻、刻蝕薄膜生長、擴(kuò)散、離子注入、化學(xué)機(jī)械拋光、金屬化 CMP 則主要用于銜接不同薄膜工藝,其中根據(jù)工藝
2023-07-18 11:48:183030

吸氧腐蝕控制中的氧濃度監(jiān)測

氧腐蝕的發(fā)生,我們可以采取一些措施,如涂覆防腐涂料、使用不易氧化的金屬材料、控制氧氣濃度等。下面工采網(wǎng)小編通過本文看看氧腐蝕控制氧氣濃度的應(yīng)用解決方案。 吸氧腐蝕控制是一種常見的腐蝕控制方法,在實(shí)際應(yīng)用中,吸
2023-07-18 11:29:14305

干法刻蝕工藝介紹 硅的深溝槽干法刻蝕工藝方法

第一種是間歇式刻蝕方法(BOSCH),即多次交替循環(huán)刻蝕和淀積工藝刻蝕工藝使用的是SF6氣體,淀積工藝使用的是C4F8氣體
2023-07-14 09:54:463213

地下車庫為什么一定要安裝一氧化濃度監(jiān)控系統(tǒng)

關(guān)鍵詞:地下車庫、安裝、一氧化濃度監(jiān)控系統(tǒng) 地下車庫是封閉或者半封閉的建筑,由于汽車的尾氣排放,加上空氣流通不流通,就會 一氧化碳等有害氣體,這些氣體對人體組織缺氧,心臟和大腦的影響顯著。地下
2023-07-03 11:43:59559

半導(dǎo)體前端工藝:沉積——“更小、更多”,微細(xì)化的關(guān)鍵(上)

在半導(dǎo)體制程中,移除殘余材料的“減法工藝”不止“刻蝕”一種,引入其他材料的“加法工藝”也非“沉積”一種。比如,光刻工藝中的光刻膠涂敷,其實(shí)也是在基底上形成各種薄膜;又如氧化工藝中晶圓(硅)氧化,也需要在基底表面添加各種新材料。那為什么唯獨(dú)要強(qiáng)調(diào)“沉積”工藝呢?
2023-06-29 16:58:37404

淺談半導(dǎo)體制造中的刻蝕工藝

在上一篇文章,我們介紹了光刻工藝,即利用光罩(掩膜)把設(shè)計好的電路圖形繪制在涂覆了光刻膠的晶圓表面上。下一步,將在晶圓上進(jìn)行刻蝕工藝,以去除不必要的材料,只保留所需的圖形。
2023-06-28 10:04:58843

半導(dǎo)體圖案化工藝流程之刻蝕(一)

圖案化工藝包括曝光(Exposure)、顯影(Develope)、刻蝕(Etching)和離子注入等流程。其中,刻蝕工藝是光刻(Photo)工藝的下一步,用于去除光刻膠(Photo Resist
2023-06-26 09:20:10816

半導(dǎo)體前端工藝刻蝕——有選擇性地刻蝕材料,以創(chuàng)建所需圖形

在半導(dǎo)體制程工藝中,有很多不同名稱的用于移除多余材料的工藝,如“清洗”、“刻蝕”等。如果說“清洗”工藝是把整張晶圓上多余的不純物去除掉,“刻蝕工藝則是在光刻膠的幫助下有選擇性地移除不需要的材料,從而創(chuàng)建所需的微細(xì)圖案。半導(dǎo)體“刻蝕工藝所采用的氣體和設(shè)備,在其他類似工藝中也很常見。
2023-06-15 17:51:571177

地下車庫一氧化濃度監(jiān)控系統(tǒng)——一氧化濃度探測器接線方式

關(guān)鍵詞:地下車庫、一氧化濃度監(jiān)控系統(tǒng)、一氧化碳探測器、接線 地下車庫一氧化碳的產(chǎn)生主要源自于汽車發(fā)動機(jī),由于燃燒不充分會產(chǎn)生大量的尾氣,車庫屬于密閉環(huán)境空氣流通不好,車輛尾氣不易排出,尾氣中含有
2023-06-13 15:09:181942

芯片制造中人類科技之巔的設(shè)備---***

光刻機(jī)是芯片制造中最復(fù)雜、最昂貴的設(shè)備。芯片制造可以包括多個工藝,如初步氧化、涂光刻膠、曝光、顯影、刻蝕、離子注入。這個過程需要用到的設(shè)備種類繁多,包括氧化爐、涂膠顯影機(jī)、光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、刻蝕
2023-06-12 10:13:334452

地下車庫設(shè)計一氧化濃度監(jiān)控系統(tǒng)真的能起到節(jié)能的作用嗎

關(guān)鍵詞:地下車庫、一氧化濃度監(jiān)控系統(tǒng)、節(jié)能 在車庫CO濃度監(jiān)控系統(tǒng)還沒有設(shè)計出來并推廣之前,在業(yè)內(nèi)普諞的調(diào)節(jié)車庫CO濃度的方式是定時開啟排風(fēng)機(jī)。這種方式在高峰期確實(shí)能有效的降低CO濃度,但是高峰期
2023-06-09 15:24:48202

重點(diǎn)闡述濕法刻蝕

光刻工藝后,在硅片或晶圓上形成了光刻膠的圖形,下一步就是刻蝕
2023-06-08 10:52:353318

晶片濕法刻蝕方法

刻蝕硅,硅的均勻剝離,同時帶走表面顆粒。隨著器件尺寸縮減會引入很多新材料(如高介電常數(shù)和金屬柵極),那么在后柵極制程,多晶硅的去除常用氫氧化氨或四甲基羥胺(TMAH)溶液,制程關(guān)鍵是控制溶液的溫度和濃度,以調(diào)整刻蝕對多晶硅和其他材料的選擇比。
2023-06-05 15:10:011597

薄膜電容的原理工藝 薄膜電容和電解電容的區(qū)別

薄膜電容是指將金屬膜或半導(dǎo)體薄膜沉積在絕緣基板上,然后制成電容器。這種電容器具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、重量輕、可靠性高等特點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于電子設(shè)備領(lǐng)域。本文將從薄膜電容的基本原理、制備工藝、應(yīng)用領(lǐng)域等方面進(jìn)行介紹。
2023-05-31 14:24:552880

半導(dǎo)體工藝裝備現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢

集成電路前道工藝及對應(yīng)設(shè)備主要分八大類,包括光刻(光刻機(jī))、刻蝕刻蝕機(jī))、薄膜生長(PVD-物理氣相沉積、CVD-化學(xué)氣相沉積等薄膜設(shè)備)、擴(kuò)散(擴(kuò)散爐)、離子注入(離子注入機(jī))、平坦化(CMP設(shè)備)、金屬化(ECD設(shè)備)、濕法工藝(濕法工藝設(shè)備)等。
2023-05-30 10:47:121131

基于PVD 薄膜沉積工藝

。 PVD 沉積工藝在半導(dǎo)體制造中用于為各種邏輯器件和存儲器件制作超薄、超純金屬和過渡金屬氮化物薄膜。最常見的 PVD 應(yīng)用是鋁板和焊盤金屬化、鈦和氮化鈦襯墊層、阻擋層沉積和用于互連金屬化的銅阻擋層種子沉積。 PVD 薄膜沉積工藝需要一個高真空的平臺,在
2023-05-26 16:36:511749

基于工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的氧化鋅揮發(fā)窯在線監(jiān)測系統(tǒng)

氧化鋅揮發(fā)窯是化工行業(yè)中廣泛應(yīng)用的生產(chǎn)設(shè)備,作為一種高溫下運(yùn)行的大型設(shè)備,保證設(shè)備安穩(wěn)定全運(yùn)行、節(jié)能減排十分重要。 通過傳感器與工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的結(jié)合,物通博聯(lián)推出一套氧化鋅揮發(fā)窯在線監(jiān)測系統(tǒng),可以連接
2023-05-22 10:40:28227

壓敏電阻(MOV)的參數(shù)及工作原理

MOV(Metal Oxide Varistors)即金屬氧化物壓敏電阻,以氧化鋅為主體,摻雜多種金 屬氧化物,采用典型的電子陶瓷工藝制成的多晶半導(dǎo)體陶瓷元器件。
2023-05-15 12:25:543236

微波組件中的薄膜陶瓷電路板

薄膜陶瓷基板一般采用磁控濺射、真空蒸鍍等工藝直接在陶瓷基片表面沉積金屬層。通過光刻、顯影、刻蝕、電鍍等工藝,將金屬層圖形化制備成特定的線路及膜層厚度。通常,薄膜陶瓷基板表面金屬層厚度較小 (一般小于 4μm)。薄膜陶瓷基板可制備高精密圖形 (線寬/線距小于 10 μm、精度±1μm)。
2023-05-15 10:18:56591

導(dǎo)熱基礎(chǔ)材料導(dǎo)熱填料填充硅脂導(dǎo)熱工藝

導(dǎo)熱填料顧名思義就是添加在基體材料中用來增加材料導(dǎo)熱系數(shù)的填料,常用的導(dǎo)熱填料有氧化鋁、氧化鎂、氧化鋅、氮化鋁、氮化硼、碳化硅等;其中,尤以微米級氧化鋁、硅微粉為主體,納米氧化鋁,氮化物做為高導(dǎo)熱
2023-05-05 14:04:03984

半導(dǎo)體圖案化工藝流程之刻蝕簡析

圖案化工藝包括曝光(Exposure)、顯影(Develope)、刻蝕(Etching)和離子注入等流程。
2023-04-28 11:24:271073

金屬布線的工藝為半導(dǎo)體注入生命的連接

經(jīng)過氧化、光刻、刻蝕、沉積等工藝,晶圓表面會形成各種半導(dǎo)體元件。半導(dǎo)體制造商會讓晶圓表面布滿晶體管和電容(Capacitor);
2023-04-28 10:04:52532

半導(dǎo)體工藝之金屬布線工藝介紹

本篇要講的金屬布線工藝,與前面提到的光刻、刻蝕、沉積等獨(dú)立的工藝不同。在半導(dǎo)體制程中,光刻、刻蝕工藝,其實(shí)是為了金屬布線才進(jìn)行的。在金屬布線過程中,會采用很多與之前的電子元器件層性質(zhì)不同的配線材料(金屬)。
2023-04-25 10:38:49986

《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》金屬氧化物半導(dǎo)體的制造

書籍:《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》 文章:金屬氧化物半導(dǎo)體的制造 編號:JFKJ-21-207 作者:炬豐科技 概述 CMOS制造工藝概述 ? CMOS制造工藝流程 ? 設(shè)計規(guī)則 ? 互補(bǔ)金屬氧化
2023-04-20 11:16:00247

半導(dǎo)體行業(yè)之刻蝕工藝介紹

壓力主要控制刻蝕均勻性和刻蝕輪廓,同時也能影響刻蝕速率和選擇性。改變壓力會改變電子和離子的平均自由程(MFP),進(jìn)而影響等離子體和刻蝕速率的均勻性。
2023-04-17 10:36:431922

多孔氮化硅陶瓷天線罩材料制備及性能研究

近日,上海玻璃鋼研究院有限公司的高級工程師趙中堅(jiān)沿著該思路,以純纖維狀α-Si3N4粉為主要原料,通過添加一定比例氧化物燒結(jié)助劑,經(jīng)冷等靜壓成型和氣氛保護(hù)無壓燒結(jié)工藝燒結(jié)制備出了能充分滿足高性能導(dǎo)彈天線罩使用要求的多孔氮化硅陶瓷。
2023-04-16 10:30:461274

半導(dǎo)體行業(yè)之刻蝕工藝介紹

金屬刻蝕具有良好的輪廓控制、殘余物控制,防止金屬腐蝕很重要。金屬刻蝕時鋁中如果 有少量銅就會引起殘余物問題,因?yàn)镃u Cl2的揮發(fā)性極低且會停留在晶圓表面。
2023-04-10 09:40:542330

半導(dǎo)體行業(yè)之刻蝕工藝技術(shù)

DRAM柵工藝中,在多晶硅上使用鈣金屬硅化物以減少局部連線的電阻。這種金屬硅化物和多晶硅的堆疊薄膜刻蝕需要增加一道工藝刻蝕W或WSi2,一般先使用氟元素刻蝕鈞金屬硅化合物層,然后再使用氯元素刻蝕多晶硅。
2023-04-07 09:48:162198

WERS微爾斯新材料事業(yè)部推出超高分子量聚乙烯多孔質(zhì)膜

產(chǎn)品介紹:多孔質(zhì)超高分子量聚乙烯薄膜是WERS微爾斯新材料事業(yè)部開發(fā)的特殊微孔薄膜產(chǎn)品。首先將超高分子量聚乙烯粉末制成多孔成形體、然后通過對成形體的切削制成UHMW-PE多孔質(zhì)薄膜。該產(chǎn)品不單保持
2023-03-30 13:51:48719

氧化鋅壓敏電阻的原理是什么?有何特點(diǎn)?

氧化鋅壓敏電阻以氧化鋅(ZnO)為基料,加入Bi2O3、Co2O3、MnCO3等多種金屬氧化物混合,經(jīng)過高溫?zé)Y(jié)、焊接、包封等多重工序制成的電阻器
2023-03-30 10:26:261973

單晶硅刻蝕工藝流程

FinFET三維器件也可以用體硅襯底制作,這需要更好地控制單晶硅刻蝕工藝,如CD、深度和輪廓。
2023-03-30 09:39:182459

薄膜集成電路--薄膜電阻

薄膜電阻應(yīng)用于光通訊、 射頻微波毫米波通訊,如放大、耦合、衰減、濾波等模塊電路。電阻網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用于微波集成電路中,能夠縮小電路板空間,降低元器件成本。薄膜衰減器應(yīng)用于光通訊、微波集成電路模塊,其
2023-03-28 14:19:17

電子成品組裝薄膜面板制作工藝對比

電子成品組裝薄膜面板制作工藝對比
2023-03-24 15:37:39631

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