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電子發燒友網>今日頭條>均勻性由光激發氟刻蝕初始階段的表面形貌決定

均勻性由光激發氟刻蝕初始階段的表面形貌決定

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白光干涉儀測二維形貌怎么測

白光干涉儀利用白光干涉原理,通過測量光的相位變化來獲取物體表面形貌信息。在工業制造、科學研究等領域,被廣泛用于測量精密器件的形貌表面缺陷檢測等方面。白光干涉儀通過對干涉條紋進行圖像處理,可以獲得
2023-07-21 11:05:48418

白光干涉儀測三維形貌怎么測

白光干涉儀測量的結果通常以二維形貌圖或三維形貌圖的形式展示。二維形貌圖是對干涉條紋進行圖像處理得到的,顯示出被測物體表面的高低起伏。而三維形貌圖則是在二維圖像的基礎上,進一步還原出物體表面的立體形貌
2023-07-21 11:03:00522

干法刻蝕工藝介紹 硅的深溝槽干法刻蝕工藝方法

第一種是間歇式刻蝕方法(BOSCH),即多次交替循環刻蝕和淀積工藝,刻蝕工藝使用的是SF6氣體,淀積工藝使用的是C4F8氣體
2023-07-14 09:54:463214

NightN光學表面形貌測試儀HION

NightN光學表面形貌測試儀HION產品介紹:光學測試儀HION用于光學表面測試。該技術基于 Shack-Hartmann 方法。激光束從被測光學表面反射并進入 Shack-Hartmann 波前
2023-06-29 14:12:45

淺談半導體制造中的刻蝕工藝

在上一篇文章,我們介紹了光刻工藝,即利用光罩(掩膜)把設計好的電路圖形繪制在涂覆了光刻膠的晶圓表面上。下一步,將在晶圓上進行刻蝕工藝,以去除不必要的材料,只保留所需的圖形。
2023-06-28 10:04:58843

華秋干貨鋪:PCB板表面如何處理提高可靠設計

PCB板為什么要做表面處理? 由于PCB上的銅層很容易被氧化,因此生成的銅氧化層會嚴重降低焊接質量,從而降低最終產品的可靠和有效,為了避免這種情況的發生,需要對PCB進行表面處理。 常見的表面
2023-06-25 11:17:44

PCB板表面如何處理提高可靠設計

PCB板為什么要做表面處理? 由于PCB上的銅層很容易被氧化,因此生成的銅氧化層會嚴重降低焊接質量,從而降低最終產品的可靠和有效,為了避免這種情況的發生,需要對PCB進行表面處理。 常見的表面
2023-06-25 10:37:54

白光干涉儀(光學3D表面輪廓儀)能測什么?應用案例介紹

白光干涉儀是以白光干涉技術原理,對各種精密器件表面進行納米級測量的光學3D表面輪廓測量儀,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸
2023-06-16 11:53:051106

半導體前端工藝:刻蝕——有選擇性地刻蝕材料,以創建所需圖形

在半導體制程工藝中,有很多不同名稱的用于移除多余材料的工藝,如“清洗”、“刻蝕”等。如果說“清洗”工藝是把整張晶圓上多余的不純物去除掉,“刻蝕”工藝則是在光刻膠的幫助下有選擇性地移除不需要的材料,從而創建所需的微細圖案。半導體“刻蝕”工藝所采用的氣體和設備,在其他類似工藝中也很常見。
2023-06-15 17:51:571177

重點闡述濕法刻蝕

光刻工藝后,在硅片或晶圓上形成了光刻膠的圖形,下一步就是刻蝕
2023-06-08 10:52:353319

晶片濕法刻蝕方法

刻蝕硅,硅的均勻剝離,同時帶走表面顆粒。隨著器件尺寸縮減會引入很多新材料(如高介電常數和金屬柵極),那么在后柵極制程,多晶硅的去除常用氫氧化氨或四甲基羥胺(TMAH)溶液,制程關鍵是控制溶液的溫度和濃度,以調整刻蝕對多晶硅和其他材料的選擇比。
2023-06-05 15:10:011597

載體晶圓對蝕刻速率、選擇性、形貌的影響

等離子體蝕刻是氮化鎵器件制造的一個必要步驟,然而,載體材料的選擇可能會實質上改變蝕刻特性。在小型單個芯片上制造氮化鎵(GaN)設備,通常會導致晶圓的成本上升。在本研究中,英思特通過鋁基和硅基載流子來研究蝕刻過程中蝕刻速率、選擇性、形貌表面鈍化的影響。
2023-05-30 15:19:54452

金屬濕法刻蝕

但是,HCl為基體的刻蝕溶液,會嚴重地侵蝕Ni(Pt)Si或Ni(Pt)SiGe,使金屬硅化物阻值升高。這就要求有一種刻蝕劑是無氯基體,而且對Ni(Pt)Si或Ni(Pt)SiGe無傷害、對金屬選擇性又高。這就是目前常用的高溫硫酸和雙氧水混合液
2023-05-29 10:48:271461

白光干涉儀可以測曲面粗糙度嗎?

白光干涉儀又叫做非接觸式光學3D表面輪廓儀,是以白光干涉掃描技術為基礎研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。它以白光干涉技術為原理,光源發出的經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束,一束經被
2023-05-23 13:58:04

白光干涉儀(光學3D表面輪廓儀)與臺階儀的區別

表面形貌即為表面微觀幾何形態,不僅對接觸零件的機械和物理特性起著決定作用,而且對一些非接觸零件的光學和外部特性影響也很大。所以對表面形貌的精準測量能正確地識別出加工過程的變化和缺陷,對研究表面幾何
2023-05-19 16:52:10411

PTFE表面等離子改性的原理 引入活性基團 提高粘附性

PTFE表面等離子改性是一種有效的技術手段,可以改變PTFE表面的性質,增加其在各個領域的應用。通過引入親水基團、改善表面形貌、形成致密的氟化物膜等方式,可以提高PTFE表面的粘附性、潤濕性、抗腐蝕性、耐磨性、生物相容性和電性能。
2023-05-19 10:45:39628

PCB表面成型的介紹和比較

決定PCB表面成型的參考之一。當然,這些項目永遠不可能是具有同等重要的平均重要。然后,在你準備好依賴這個列表并考慮你具體的產品情況之前,應該澄清每個項目的重要程度。   ENIG和ENEPIG
2023-04-24 16:07:02

PCB印制線路該如何選擇表面處理

形成的鍍層更一致、更均勻,但是缺少如ENIG中鎳層提供的保護和持久。雖然它的表面處理工藝比ENIG更簡單,而且比ENIG更劃算,但是它不適合在電路制造商那里長期儲存。4、化學沉錫化學沉錫工藝通過一個
2023-04-19 11:53:15

半導體行業之刻蝕工藝介紹

壓力主要控制刻蝕均勻性和刻蝕輪廓,同時也能影響刻蝕速率和選擇性。改變壓力會改變電子和離子的平均自由程(MFP),進而影響等離子體和刻蝕速率的均勻性。
2023-04-17 10:36:431922

為什么電流互感器的二次測電流一次側電流決定呢?

為什么電流互感器的二次測電流一次側電流決定呢?
2023-04-13 10:47:57

一種用于先進封裝的圓臺硅通孔的刻蝕方法

%) 的圓臺硅通孔刻蝕方法被研究探索出來。該方法通過調節 下電極功率 (≤30 W),獲得了側壁角度可調 (70°~88°)、通孔底部開口尺寸小于光刻定義特征尺寸 的圓臺硅通孔結構。這一方法有望向三維集成電路領域推廣,有助于在封裝階段延續摩爾定律。
2023-04-12 14:35:411569

DPC陶瓷基板表面研磨技術

在DPC陶瓷基板制備過程中,由于電鍍電流分布不均勻,導致基板表面電鍍銅層厚度不均勻(厚度差可超過100μm),表面研磨是控制電鍍銅層厚度,提高銅層厚度均勻性的關鍵工藝,直接影響陶瓷基板的性能和器件封裝質量。
2023-04-12 11:25:121592

半導體行業之刻蝕工藝介紹

金屬刻蝕具有良好的輪廓控制、殘余物控制,防止金屬腐蝕很重要。金屬刻蝕時鋁中如果 有少量銅就會引起殘余物問題,因為Cu Cl2的揮發性極低且會停留在晶圓表面
2023-04-10 09:40:542330

半導體行業之刻蝕工藝技術

DRAM柵工藝中,在多晶硅上使用鈣金屬硅化物以減少局部連線的電阻。這種金屬硅化物和多晶硅的堆疊薄膜刻蝕需要增加一道工藝刻蝕W或WSi2,一般先使用氟元素刻蝕鈞金屬硅化合物層,然后再使用氯元素刻蝕多晶硅。
2023-04-07 09:48:162198

開關電源功率是開關管的最大電流決定嗎?

開關電源功率是開關管的最大電流決定嗎?例如5v1a的電源,開關管選多大的電流,這個電流是如何算出來的?謝謝
2023-04-04 16:56:04

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